基板轉(zhuǎn)移裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板轉(zhuǎn)移裝置，所述基板轉(zhuǎn)移裝置包含：托盤，基板安裝在所述托盤上；磁性轉(zhuǎn)移部分，其安置在所述托盤下方，磁性地使所述托盤懸浮并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤；導(dǎo)引單元，其導(dǎo)引所述托盤的轉(zhuǎn)移而不接觸所述托盤；以及間隙維持構(gòu)件，其設(shè)在所述磁性轉(zhuǎn)移部分與所述導(dǎo)引單元之間的至少一個區(qū)域上。
【專利說明】
基板轉(zhuǎn)移裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明是關(guān)于基板轉(zhuǎn)移裝置，且更明確而言是關(guān)于經(jīng)由無接觸方法轉(zhuǎn)移安裝了基 板的托盤(tray)的基板轉(zhuǎn)移裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 大體而言，平板顯示器件(Flat Panel Display device，簡稱:FFO)(諸如液晶顯 不器件（Liquid Crystal Display device，簡稱：LCD)、等離子體顯不面板器件（Plasma Display Panel device，簡稱：PDP)、場發(fā)射顯不器件（Field Emission Display device， 簡稱:FED)以及電致發(fā)光顯不器件（Electro luminescence Display device，簡稱：ELD)) 是藉由在基板上執(zhí)行多個制程而制造。即，在基板上，重復(fù)進(jìn)行沉積(deposition)制程、光 微影(photo lithography)制程以及蝕刻(etching)制程多次，且另外執(zhí)行清潔、附接以及切 割制程以制造平板顯示器件。
[0003] 平板顯示器件的此等制造過程是在其中準(zhǔn)備了最佳環(huán)境的多個腔室內(nèi)部執(zhí)行。為 此，設(shè)想了線內(nèi)方法，其中基板安裝于托盤(Tray)上，且所述托盤接著被垂直或傾斜豎立地 轉(zhuǎn)移以便通過所述多個腔室的內(nèi)部。
[0004] 用于轉(zhuǎn)移基板的轉(zhuǎn)移裝置可包含基板安裝在其上的托盤，及接觸所述托盤的底部 并由馬達(dá)旋轉(zhuǎn)以藉此將推力提供至所述托盤的驅(qū)動滾筒。即，現(xiàn)有技術(shù)轉(zhuǎn)移裝置藉由設(shè)在 腔室的下部部分上并接觸托盤底部的驅(qū)動滾筒的力矩轉(zhuǎn)移托盤。此等轉(zhuǎn)移裝置的實例揭露 于韓國專利申請?zhí)卦S公開案第2003-0068292號中。
[0005] 然而，存在限制，因為隨著驅(qū)動滾筒與托盤底部之間的摩擦增加而產(chǎn)生顆粒 (particle)。所述顆粒附著至經(jīng)轉(zhuǎn)移基板，藉此產(chǎn)生顯示器件中的缺陷，并根據(jù)高規(guī)格/高 效能器件的開發(fā)而引起缺陷器件。又，顆粒被引入用于在腔室內(nèi)部形成真空的真空栗中，導(dǎo) 致真空栗的故障。
[0006] (現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)）
[0007] 韓國專利申請?zhí)卦S公開案第2003-0068292號

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 所要解決的技術(shù)問題
[0009] 本發(fā)明提供由于在不接觸托盤的情況下轉(zhuǎn)移基板而能夠防止顆粒產(chǎn)生的基板轉(zhuǎn) 移裝置。
[0010] 本發(fā)明提供由于托盤在被磁性懸浮的同時進(jìn)行轉(zhuǎn)移而能夠防止顆粒產(chǎn)生的基板 轉(zhuǎn)移裝置。
[0011] 解決問題的技術(shù)手段
[0012] 根據(jù)例示性實施例，基板轉(zhuǎn)移裝置包含:托盤，基板安裝在所述托盤上;磁性轉(zhuǎn)移 單元，其安置在所述托盤下方，磁性地使所述托盤懸浮，并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤；以及導(dǎo) 引單元，其在不接觸所述托盤的情況下導(dǎo)引所述托盤的轉(zhuǎn)移。
[0013] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含轉(zhuǎn)移基底，其包含經(jīng)提供以接觸所述托盤的下側(cè)的接 觸區(qū)域以及自接觸區(qū)域兩側(cè)向下延伸的延伸區(qū)域。
[0014] 磁性轉(zhuǎn)移單元可包含:磁性懸浮部分，其安置于轉(zhuǎn)移基底的一個區(qū)域上并磁性地 使托盤懸??；以及磁性轉(zhuǎn)移部分，其安置在磁性懸浮部分下方以在一個方向中轉(zhuǎn)移由磁力 懸浮的托盤。
[0015] 磁性懸浮部分可包含：第一磁性懸浮部分，其接觸轉(zhuǎn)移基底，并包含至少一個磁 體；以及第二磁性懸浮部分，其與第一磁性懸浮部分隔開，并包含將被施加來自第一磁性懸 浮部分的吸力及斥力中的至少任一個的至少一個磁體。
[0016] 磁性轉(zhuǎn)移部分可包含:旋轉(zhuǎn)軸;磁性旋轉(zhuǎn)部分，其包含經(jīng)安置以環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸的 多個磁體;以及磁性轉(zhuǎn)移部分，其與磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開并包含多個磁體。
[0017] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含容納部分，其在內(nèi)部容納磁性旋轉(zhuǎn)部分，其中所述容 納部分的上部部分接觸第二磁性懸浮部分。
[0018] 磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個磁體可設(shè)在轉(zhuǎn)移基底的延伸區(qū)域的至少一個區(qū)域上，所 述一個區(qū)域面對磁性旋轉(zhuǎn)部分。
[0019]磁性旋轉(zhuǎn)部分的所述多個磁體可經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的磁體被交替 地安置，以便以預(yù)定角度環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸，且磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個磁體可經(jīng)提供以使得具 有彼此不同極性的磁體被交替地安置，以便具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分的角度相同的角度。
[0020] 導(dǎo)引單元可包含:第一導(dǎo)引磁體，其耦接至托盤的上部部分；以及第二導(dǎo)引磁體， 其設(shè)在腔室的上壁上以與第一導(dǎo)引磁體隔開預(yù)定距離，其中第一導(dǎo)引磁體及第二導(dǎo)引磁體 被施加吸力或斥力中的至少任一個。
[0021] 導(dǎo)引單元可進(jìn)一步包含設(shè)在托盤與腔室內(nèi)壁之間的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件。
[0022] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在延伸區(qū)域與腔室內(nèi)壁之間。
[0023] 基板轉(zhuǎn)移裝置可進(jìn)一步包含設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元與導(dǎo)引單元之間的至少一個區(qū)域 上的間隙維持構(gòu)件。
[0024] 間隙維持構(gòu)件可設(shè)在延伸區(qū)域與磁性懸浮部分之間的區(qū)域或延伸區(qū)域與轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件之間的區(qū)域中的至少一個上。
[0025] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一部分可在接近托盤的方向中及在遠(yuǎn)離托盤的方向中移動。
[0026] 當(dāng)托盤被轉(zhuǎn)移時，設(shè)在橫移腔室中的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可位于鄰近于托盤的第一位置 處，且當(dāng)托盤被返回時，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可位于遠(yuǎn)離托盤的第二位置處。
[0027]發(fā)明效果
[0028] 根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置包含:磁性轉(zhuǎn)移部分，其在托盤下方，所述磁性 轉(zhuǎn)移部分磁性地懸浮并轉(zhuǎn)移其上安裝基板的托盤；以及導(dǎo)引單元，其在托盤之上并在托盤 的側(cè)表面上，導(dǎo)引單元導(dǎo)引托盤的移動。因此，由于并未在托盤與磁性轉(zhuǎn)移部分之間產(chǎn)生摩 擦，因此不產(chǎn)生顆粒，且因此不會出現(xiàn)由顆粒引起的產(chǎn)品缺陷且不會出現(xiàn)諸如真空栗的零 件的故障。
[0029] 在根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置中，導(dǎo)引托盤的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一 部分可在接近托盤的方向上及在遠(yuǎn)離托盤的方向上移動。亦即，當(dāng)托盤被轉(zhuǎn)移時，橫移腔室 的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件接近于托盤而安置，且當(dāng)托盤被返回時，橫移腔室的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件遠(yuǎn)離托盤而 安置以允許托盤的位置被容易地移動。因此，當(dāng)在橫移腔室中移動托盤的位置時，可增加托 盤的移動裕度。
【附圖說明】
[0030]圖1是根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的正視圖。
[0031 ]圖2是說明根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。
[0032] 圖3是說明根據(jù)第一例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0033] 圖4是說明根據(jù)第一例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移部分的示意圖。 [0034]圖5是說明根據(jù)第二例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0035] 圖6是說明根據(jù)第三例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0036] 圖7是說明根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的導(dǎo)引單元的側(cè)視圖。
[0037] 圖8是說明根據(jù)第四例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0038] 圖9是說明根據(jù)第五例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0039] 圖10及圖11是說明根據(jù)第六例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0040] 下文中，將參看附圖更詳細(xì)地描述例示性實施例。然而，本發(fā)明可呈不同形式，且 不應(yīng)被理解為限于本文中所闡述的實施例。確切而言，提供此等實施例以使得本發(fā)明將為 透徹且完整的，且將向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的范疇。
[0041] 圖1是根據(jù)第一例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的正視圖，且圖2是說明根據(jù)第一例 示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的側(cè)視圖。即，自安裝基板的方向來看，圖1是正視圖，且圖2是 側(cè)視圖。又，圖3是說明根據(jù)第一例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖， 且圖4是說明根據(jù)第一例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移部分的示意圖。
[0042] 參看圖1至圖4,根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其轉(zhuǎn)移安 裝在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在所述托盤（100)下方，磁性地使所述托盤 (100)懸浮，并藉由磁力轉(zhuǎn)移所述托盤（100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在所述托盤（100) 上方以導(dǎo)引所述托盤(100)的轉(zhuǎn)移。
[0043] 托盤（100)是以中空矩形框架的形狀提供，且基板安裝在其上。即，托盤（100)可以 中空矩形框架的形狀制造，以使得具有預(yù)定長度的四個條設(shè)在上部側(cè)、下部側(cè)、左側(cè)以及右 側(cè)上，彼此隔開預(yù)定距離，且條的末端彼此接觸。又，用于可拆卸地夾持基板的多個夾具可 設(shè)在托盤（100)上。此處，基板的邊緣可按預(yù)定寬度接觸托盤（100)的四個側(cè)，且基板可藉由 夾具固定。此托盤（1〇〇)是在基板安裝于其上且所述托盤垂直地或傾斜地豎立的狀態(tài)中進(jìn) 行轉(zhuǎn)移。即，多個腔室在一個方向上連接，且在其上安裝有基板的托盤（100)移動穿過所述 多個腔室的內(nèi)部的同時，在基板上執(zhí)行諸如薄膜沉積制程的預(yù)定制程。托盤(100)所移動穿 過的所述多個腔室可包含:裝載腔室，在其中基板被安裝于托盤（100)上；以及多個沉積腔 室，在其中預(yù)定薄膜沉積于安裝在托盤（1〇〇)上的基板上；以及橫移(traverse)腔室，在其 中托盤（100)被提升且托盤（100)的位置被移動。即，基板在裝載腔室中安裝于托盤（100) 上，接著在托盤移動穿過所述多個沉積腔室的同時多個薄膜沉積于基板上，且接著在橫移 腔室中移動托盤的位置以使得托盤可朝向裝載腔室移動。此處，裝載腔室、所述多個沉積腔 室以及橫移腔室可維持真空狀態(tài)。又，基板可為用于制造包含液晶顯示器件的平板顯示器 件的各種基板，且可由包含(例如)玻璃、塑膠、薄膜或類似的材料制成。另外，接觸轉(zhuǎn)移單元 (200)的部分的轉(zhuǎn)移基底（110)可設(shè)在托盤（100)下方。轉(zhuǎn)移基底（110)可設(shè)在托盤（100)底 部的整個區(qū)域上。即，轉(zhuǎn)移基底(110)可具有與托盤(100)底部的長度相同的長度，且可連接 至托盤（100)的底部以在向下方向上具有預(yù)定厚度。此轉(zhuǎn)移基底（110)可包含具有與托盤 (100)寬度相同的寬度的第一區(qū)域(111)，及設(shè)在第一區(qū)域(111)下方并具有小于托盤(100) 寬度的寬度(例如，托盤（100)的一半寬度）的第二區(qū)域（112)。此處，磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的 部分可接觸第二區(qū)域(112)。當(dāng)然，可以各種形狀提供轉(zhuǎn)移基底(110)。
[0044] 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)磁性地使托盤（100)懸浮并轉(zhuǎn)移托盤（100)同時維持與托盤 (100)的無接觸狀態(tài)。此磁性轉(zhuǎn)移單元(200)可包含磁性地使托盤（100)懸浮的磁性懸浮部 分（210 )，及磁性轉(zhuǎn)移部分（220 )，磁性轉(zhuǎn)移部分(220)藉由被施加來自磁性懸浮部分(210) 的吸力或斥力而轉(zhuǎn)移由磁性懸浮部分(210)磁性地懸浮的托盤(100)。
[0045] 磁性懸浮部分（210)可包含經(jīng)提供以接觸轉(zhuǎn)移基底（110)的第一磁性懸浮部分 (211) ，及經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開的第二磁性懸浮部分(212)。此處，第二 磁性懸浮部分(212)可設(shè)在托盤（100)與托盤（100)轉(zhuǎn)移穿過的所述多個腔室的內(nèi)壁之間。 此處，第二磁性懸浮部分(212)可固定至托盤（100)轉(zhuǎn)移穿過的所述多個腔室的內(nèi)壁，并固 定在距腔室底部部分的預(yù)定高度處。即，其上安裝有基板的托盤(100)可經(jīng)轉(zhuǎn)移穿過串聯(lián)連 接的多個腔室，第一磁性懸浮部分(211)可耦接至在托盤（100)下方的轉(zhuǎn)移基底（110)的第 二區(qū)域（112)的兩個側(cè)表面，且第二磁性懸浮部分（212)可設(shè)在托盤（100)與腔室之間以面 對第一磁性懸浮部分(211)并可耦接至腔室的內(nèi)壁或底部表面。如圖3中所說明，第一磁性 懸浮部分(211)可包含：固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的兩個側(cè)表面的第一固定 構(gòu)件（211a)、設(shè)在第一固定構(gòu)件（21 la)的側(cè)表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個第一磁體 (211b)，以及設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個第二磁體 (211c)。即，第一及第二磁體(211b、211c)中的每一個可經(jīng)提供為單一磁體，或第一及第二 磁體(211 b、211 c)中的至少任一個可經(jīng)提供為兩個或大于兩個磁體。舉例而言，第一磁體 (211b)可經(jīng)提供為單一磁體，且第二磁體(211c)可經(jīng)提供為兩個或大于兩個磁體。第一固 定構(gòu)件(211a)可以具有預(yù)定高度及寬度的大致六面體形狀提供，且可沿轉(zhuǎn)移基底（110)的 第二區(qū)域（112)具有與第二區(qū)域(112)的長度相同的長度并具有與第二區(qū)域(112)的凹陷深 度相同的寬度。因此，第一磁性懸浮部分(211)可與轉(zhuǎn)移基底（110)共面。即，藉由第一固定 構(gòu)件(211a)及位于第一固定構(gòu)件之間的第二區(qū)域（112)界定的寬度可與轉(zhuǎn)移基底（110)的 第一區(qū)域（111)的寬度相同或與托盤(100)的寬度相同。當(dāng)然，藉由第二區(qū)域（112)及在第二 區(qū)域（112)的一側(cè)及另一側(cè)的第一磁性懸浮部分(211)界定的寬度可大于或小于轉(zhuǎn)移基底 (110)的寬度或托盤(100)的寬度。又，第一及第二磁體(211b、211c)可經(jīng)提供以嵌入于第一 固定構(gòu)件（211a)中達(dá)預(yù)定深度。即，第一及第二磁體（211b、211c)可設(shè)在第一固定構(gòu)件 (211a)中預(yù)定深度處，使得第一及第二磁體(211b、211c)的表面可與第一固定構(gòu)件(211a) 的表面共面。第一固定構(gòu)件(211a)可由諸如對由磁體產(chǎn)生的磁力不作出回應(yīng)的金屬、陶瓷、 塑膠或類似的材料形成，且可由（例如)鎢形成。第二磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供以與第一 磁性懸浮部分(211)隔開預(yù)定距離并面對第一磁性懸浮部分(211)。即，第二磁性懸浮部分 (212) 可設(shè)在腔室的內(nèi)壁側(cè)面上并與第一磁性懸浮部分(211)隔開，使得其內(nèi)表面面對第一 磁性懸浮部分(211)。此第二磁性懸浮部分(212)可包含:與第一磁性懸浮部分(211)的第一 固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離并面對其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對第一磁性懸 浮部分(211)的第一磁體(211b)及第二磁體(211c)的第三磁體及第四磁體(212b、212c)。此 處，第三及第四磁體（212b、212c)中的每一個可經(jīng)提供為單一磁體，或第三及第四磁體 (212b、212c)中的至少一個可經(jīng)提供為對應(yīng)于第一及第二磁體(211b、211c)的數(shù)目的兩個 或大于兩個磁體。舉例而言，當(dāng)提供一個第一磁體（21 lb)及兩個或大于兩個第二磁體 (211c)時，可提供一個第三磁體(212b)及兩個或大于兩個第四磁體(212c)。又，第二固定構(gòu) 件(212a)可連接至腔室的內(nèi)壁或底部表面并固定至其，并可經(jīng)提供以使得一側(cè)具有形 狀且另一側(cè)具有。? ?形狀以便與具有矩形橫截面的第一固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離。第 一磁體(211b)及第三磁體(212b)可具有彼此不同的極性且吸力可在其間起作用。然而，第 二磁體(211c)及第四磁體(212c)可具有彼此相同的極性，且斥力可在其間起作用。斥力在 第二與第四磁體(211c、212c)之間起作用，且因此托盤（100)可被懸浮。又，吸力在第一與第 三磁體(211b、212b)之間起作用，且因此可防止托盤（100)向上及向下移動。即，托盤（100) 可藉由第二與第四磁體(211c、212c)之間的斥力而被磁性地懸浮并向上移動，所述斥力可 藉由在第一與第三磁體(211b、212b)之間起作用的吸力抑制。類似于第一固定構(gòu)件(211a)， 第二固定構(gòu)件(212a)可由諸如對由磁體產(chǎn)生的磁力不作出回應(yīng)的金屬、陶瓷、塑膠或類似 的材料形成，且可由（例如）鎢形成。第一磁性懸浮部分(211)可在托盤（100)的長度方向上 (即，在托盤（100)的轉(zhuǎn)移方向上)設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)的整個區(qū)域上，且第二磁性懸浮部分 (212) 可設(shè)在托盤(100)移動穿過的整個區(qū)域上。即，由于托盤(100)通過所述多個腔室的內(nèi) 部，因此第二磁性懸浮部分（212)可設(shè)在所述多個腔室的內(nèi)壁的面對第一磁性懸浮部分 (211)的區(qū)域上。然而，第一及第二磁性懸浮部分(21U212)中的至少任一個可被提供多個， 以使得第一及第二磁性懸浮部分(211、212)中的至少任一個的該多個以預(yù)定間隔配置。舉 例而言，第二磁性懸浮部分(212)可在長度方向上設(shè)在整個區(qū)域上，且可提供多個第一磁性 懸浮部分(211)以使得所述多個第一磁性懸浮部分(211)以預(yù)定間隔配置。又，第一磁性懸 浮部分(211)的第一及第二磁體(211b、211c)以及第二磁性懸浮部分(212)的第三及第四磁 體(212b、212c)可在長度方向上設(shè)在整個區(qū)域上，且可被提供多個而按預(yù)定間隔隔開。舉例 而言，第一磁體(211b)及第二磁體(211c)可設(shè)在整個區(qū)域之上，且可以預(yù)定間隔提供第三 及第四磁體(21213、212〇)。又，用于維持第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之間的間隙的 間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在第一磁性懸浮部分(211)與第二磁性懸浮部分(212)之間。即，由 于吸力在彼此面對的第一與第三磁體(211b、212b)之間起作用，因此第一與第二磁性懸浮 部分(21U212)之間的間隙減少或第一及第三磁體(211b、212b)可彼此附著。可藉由提供間 隙維持構(gòu)件(213)而維持第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之間的間隙。此間隙維持構(gòu)件 (213) 可設(shè)在第一及第三磁體(211b、212b)下方的區(qū)域上。即，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在第 一磁性懸浮部分(211)的外表面與第二磁性懸浮部分(212)的內(nèi)表面之間。又，間隙維持構(gòu) 件(213)可設(shè)在第一與第二磁性懸浮部分(21U212)之間在長度方向上的整個區(qū)域上，且可 以預(yù)定間隔提供多個間隙維持構(gòu)件(213)。
[0046]磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可包含:經(jīng)提供以與轉(zhuǎn)移基底（110)的底面隔開預(yù)定距離的磁 性旋轉(zhuǎn)部分(221)，及設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)下方以與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開預(yù)定距離的磁 性轉(zhuǎn)移部分(222)。磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可經(jīng)提供以與轉(zhuǎn)移基底（110)的底面隔開預(yù)定距離。 此處，磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)可具有與托盤（100)寬度相同的寬度，且可具有大于或小于托盤 (100)寬度的寬度。如圖3及圖4中所說明，此磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可包含旋轉(zhuǎn)軸(221 a)及形 成于旋轉(zhuǎn)軸(221a)的表面上的多個第五磁體(221b)。旋轉(zhuǎn)軸(221a)可具有大致圓形條的形 狀并藉由旋轉(zhuǎn)馬達(dá)(未圖示)在一個或另一個方向上旋轉(zhuǎn)。又，所述多個第五磁體(221b)可 以按預(yù)定角度環(huán)繞軸的形狀設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸（221a)的表面上，且舉例而言，可具有螺紋形狀。 即，可在旋轉(zhuǎn)軸(221a)上提供多個所述第五磁體(221b)(如圖4中所說明）以按角度(例如， 45°)環(huán)繞軸。此處，所述多個第五磁體（221b)可經(jīng)提供以使得S極及N極在按角度（例如， 45°)環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸的同時被交替地提供。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在轉(zhuǎn)移基底(110)下方。即， 磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在磁性懸浮部分(210)之間的轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)下 方。在此磁性轉(zhuǎn)移部分(222)中，具有彼此不同極性的磁體可交替地安置。即，如圖4中所說 明，磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可包含固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的底面的第三固定 構(gòu)件(222a)，及設(shè)在第三固定構(gòu)件(222a)的一個表面上的多個第六磁體(222b)，其中極性 彼此不同，即，S極及N極可被交替地提供至所述多個第六磁體(222b)。此處，可提供磁性轉(zhuǎn) 移部分（222)的多個第六磁體（222b)以具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的所述多個第五磁體 (221b)的角度相同的角度(例如，45° )。因此，由于歸因于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)的極性 及磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的極性彼此不同或相同，且吸力或斥力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部 分(222)根據(jù)磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)在一個方向上移動。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn) 轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的線性運動以移動磁性懸浮的托盤(100)。
[0047] 導(dǎo)引單元（300)可包含耦接至托盤（100)的上部部分的第一導(dǎo)引磁體(310)，及設(shè) 在腔室的上壁上以與第一導(dǎo)引磁體(310)隔開預(yù)定距離的第二導(dǎo)引磁體(320)。此處，第一 及第二導(dǎo)引磁體(310、320)可具有相同的極性以使得斥力在其間起作用，或可具有彼此不 同的極性以使得吸力在其間起作用。又，可以各種形狀提供第一及第二導(dǎo)引磁體（310、 320)。舉例而言，可以直線形狀彼此面對地提供第一及第二導(dǎo)引磁體(310、320)。又，第一導(dǎo) 引磁體(310)可以圓形條形狀提供，且第二導(dǎo)引磁體(320)可具有例如以"η"形狀彎曲的橫 截面以自導(dǎo)引磁體(310)上方環(huán)繞第一導(dǎo)引磁體(310)。即，第二導(dǎo)引磁體(320)可經(jīng)提供以 環(huán)繞第一導(dǎo)引磁體(310)同時與第一導(dǎo)引磁體(310)隔開預(yù)定距離。因此，托盤（100)的上部 末端經(jīng)導(dǎo)引以使得托盤(100)在被轉(zhuǎn)移的同時不落下，這是因為第二導(dǎo)引磁體(320)在第一 導(dǎo)引磁體(310)兩側(cè)對第一導(dǎo)引磁體(310)施加推力或拉力。
[0048] 其中組合鐵芯及線圈的電磁體、永久磁體或電磁體與永久磁體的組合可用作例示 性實施例的磁體。
[0049] 如上文所描述，根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置具備安置在托盤（100)下方并 磁性地懸浮及轉(zhuǎn)移托盤（100)的磁體轉(zhuǎn)移單元(200)，及安置在托盤（100)之上并導(dǎo)引托盤 (100)的導(dǎo)引單元(300)。又，磁體轉(zhuǎn)移單元(200)包含磁性地使托盤（100)懸浮的磁性懸浮 部分(210 )，及歸因于磁力將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成線性運動以轉(zhuǎn)移磁性懸浮的托盤(100)的磁性轉(zhuǎn)移 部分(220)。因此，根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置藉由磁性懸浮部分(210)磁性地使托 盤（100)懸浮，且接著磁性旋轉(zhuǎn)部分(220)在一個方向上旋轉(zhuǎn)以在一個方向上轉(zhuǎn)移磁性懸浮 的托盤(100)。在此例示性實施例中，由于并未在托盤(100)與磁性轉(zhuǎn)移單元(200)之間產(chǎn)生 摩擦，因此不產(chǎn)生顆粒。因此，并未產(chǎn)生歸因于顆粒的產(chǎn)品缺陷，且不發(fā)生諸如真空栗的零 件的故障。
[0050] 根據(jù)例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可經(jīng)由在托盤（100)下方磁性地使托盤（100) 懸浮及藉由使用磁力轉(zhuǎn)移托盤（100)的各種方法來實施。即，在托盤（100)下方的結(jié)構(gòu)可以 不同方式受到修改。此另一例示性實例是在圖5及圖6中說明。圖5是說明根據(jù)第二例示性實 施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖，且將藉由使用此圖5在下文描述第二例示 性實施例。
[0051] 參看圖5,根據(jù)第二例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤 (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在托盤（100)之上以導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移。此處，將不 描述或簡單地描述與第一例示性實施例相同的組態(tài)。
[0052] 轉(zhuǎn)移基底（110)設(shè)在托盤(100)下方，且轉(zhuǎn)移基底（110)可包含具有與托盤(100)寬 度相同的寬度的第一區(qū)域（111)、安置在第一區(qū)域（111)下方并具有小于第一區(qū)域（111)寬 度的第二區(qū)域（112)，以及設(shè)在第二區(qū)域（112)下方以環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(222)的第三區(qū)域 (113)。第三區(qū)域(113)可包含自第二區(qū)域（112)向下延伸的延伸部分、水平地設(shè)在延伸部分 下方的水平部分（113a)，以及自水平部分（113a)的兩側(cè)向下延伸的垂直部分（113b、113c)。 此處，水平部分（113a)經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的寬度的寬度且垂直部分 (113b、113c)經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的高度的高度。因此，水平部分（113a) 以及在水平部分兩側(cè)的垂直部分（113b、113c)經(jīng)提供以環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的上部部 分及側(cè)部分。
[0053]此磁性轉(zhuǎn)移單元（200)可包含磁性地使托盤（100)懸浮的磁性懸浮部分(210 )，及 藉由允許吸力或斥力在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與磁性懸浮部分(210)之間起作用而轉(zhuǎn)移藉由 磁性懸浮部分(210)磁性懸浮的托盤（100)的磁性轉(zhuǎn)移部分(220)。磁性懸浮部分(210)可包 含設(shè)在轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)上的第一磁性懸浮部分(211)、經(jīng)提供以與第一磁 性懸浮部分（211)隔開的第二磁性懸浮部分（212)、用于維持第一與第二磁性懸浮部分 (211、212)之間的間隙的間隙維持構(gòu)件(213)，以及支撐第二磁性懸浮部分(212)的支撐構(gòu) 件(214)。第一磁性懸浮部分(211)可包含：固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的側(cè)表 面及底部表面的第一固定構(gòu)件(211a)、設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的側(cè)表面的預(yù)定區(qū)域上的 至少一個第一磁體(211b)，以及設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上的至少 一個第二磁體(211c)。第一固定構(gòu)件(211a)可經(jīng)提供以具有具有形狀的一個側(cè)面及具 有?形狀的另一側(cè)面。此處，第一固定構(gòu)件(211a)可經(jīng)提供以自轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū) 域（111)突出。即，藉由第一固定構(gòu)件(211a)及在第一固定構(gòu)件之間的第二區(qū)域（112)所界 定的寬度可大于轉(zhuǎn)移基底(110)的第一區(qū)域(111)的寬度或托盤(100)的寬度。又，第一及第 二磁體(211b、211c)中的每一個可經(jīng)提供為單一磁體，或第一及第二磁體(21 lb、211 c)中的 至少任一個可以兩個或大于兩個磁體提供。舉例而言，第一磁體(21 lb)可經(jīng)提供為單一磁 體，且第二磁體(211 c)可經(jīng)提供為兩個或大于兩個磁體。第二磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供 以與第一磁性懸浮部分(211)隔開預(yù)定距離以面對第一磁性懸浮部分(211)。此第二磁性懸 浮部分(212)可包含與第一磁性懸浮部分(211)的第一固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離并面 向其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對第一磁性懸浮部分(211)的第一磁體(211b)及 第二磁體（211c)的第三及第四磁體(21213、212(：)。此處，第三及第四磁體(21213、212(3)中的 每一個可以單一磁體提供，或第三及第四磁體(212b、212c)中的至少一個可以對應(yīng)于第一 及第二磁體(211b、211c)的數(shù)目的兩個或大于兩個磁體提供。舉例而言，當(dāng)提供一個第一磁 體(211 b)以及兩個或大于兩個第二磁體(211 c)時，可提供一個第三磁體(212b)及兩個或大 于兩個第四磁體(212c)。又，第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提供以具有具有"I·"形狀的一個側(cè)面 及具有形狀的另一側(cè)面以便與第一固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離。支撐構(gòu)件(214)可設(shè) 在第二磁性懸浮部分(212)下方以支撐第二磁性懸浮部分(212)。即，支撐構(gòu)件(214)可設(shè)在 第二磁性懸浮部分(212)的水平部分與腔室底部之間以支撐第二磁性懸浮部分(212)的水 平部分。支撐構(gòu)件(214)支撐第二磁性懸浮部分(212)的水平部分，且因此第二磁性懸浮部 分(212)可被更穩(wěn)定地支撐。即，第二磁性懸浮部分(212)的垂直部分是藉由腔室的內(nèi)壁固 定且第二磁性懸浮部分(212)的水平部分是藉由支撐構(gòu)件(214)支撐，且因此第二磁性懸浮 部分(212)可被更穩(wěn)定地實施。轉(zhuǎn)移基底（110)的一部分及磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可設(shè)在支撐 構(gòu)件(214)的內(nèi)部。即，轉(zhuǎn)移基底（110)的第三區(qū)域(113)可設(shè)在支撐構(gòu)件(214)的內(nèi)部，且磁 性轉(zhuǎn)移部分(220)可設(shè)在第三區(qū)域(113)的內(nèi)部。
[0054] 磁性轉(zhuǎn)移部分(220)可包含磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)及與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開預(yù)定 距離的磁性轉(zhuǎn)移部分（222)。磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)可設(shè)在水平部分（113a)以及垂直部分 (113b、113c)的內(nèi)部以與其隔開預(yù)定距離。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可設(shè)在水平部分（113a)以及 垂直部分（113b、113c)的至少一個區(qū)域上。類似于例示性實施例，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)包含 旋轉(zhuǎn)軸（221a)，以及經(jīng)提供以按預(yù)定角度環(huán)繞旋轉(zhuǎn)軸（221a)的表面的多個第五磁體 (221b)。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可經(jīng)提供至垂直部分（113b、113c)。即，磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可 經(jīng)提供至磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)的兩側(cè)。當(dāng)然，磁性轉(zhuǎn)移部分（222)可經(jīng)提供至水平部分 (113a)，且經(jīng)提供至水平部分（113a)以及垂直部分（113b、113c)兩個。此磁性轉(zhuǎn)移部分 (222)可具備預(yù)定固定構(gòu)件，且S極及N極可交替地設(shè)在固定構(gòu)件上。此處，磁性轉(zhuǎn)移部分 (222)可經(jīng)提供以具有與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的所述多個第五磁體(221b)的角度相同的角 度(例如45° )。因此，由于歸因于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)的極性及磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的 極性彼此相同，且吸力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部分(222)根據(jù)磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋 轉(zhuǎn)在一個方向上移動。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的線性運 動以移動磁性懸浮的托盤(100)。
[0055]圖6是說明根據(jù)第三例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。 [0056]參看圖6,根據(jù)第三例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤 (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其安置在托盤（100)之上以導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移。此處，在第 三例示性實施例中，磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的磁性懸浮部分(210)的結(jié)構(gòu)不同于使用圖5描述 的第二例示性實施例的結(jié)構(gòu)，且此將主要利用另一例示性實施例而描述如下。
[0057]磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的磁性懸浮部分(210)可包含:第一磁性懸浮部分(211 )，其設(shè) 在轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)上;第二磁性懸浮部分(212)，其經(jīng)提供以與第一磁性懸 浮部分(211)隔開;間隙維持構(gòu)件(213)，其用于維持第一與第二磁性懸浮部分(21U212)之 間的間隙；以及支撐構(gòu)件(214)，其支撐第二磁性懸浮部分(212)。第一磁性懸浮部分(211) 可包含:第一固定構(gòu)件(211a)，其固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第二區(qū)域（112)的側(cè)表面及底部 表面，并具有具有" 形狀的一個側(cè)面及具有。d，，_形狀的另一側(cè)面；至少一個第一磁體 (211b)，其設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的上表面的預(yù)定區(qū)域上；以及至少一個第二磁體 (211c)，其設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的底部表面的預(yù)定區(qū)域上。即，盡管第一磁體(211b)在 第一及第二例示性實施例中設(shè)在第一固定構(gòu)件(21 la)的側(cè)表面上，但在第三實施例中第一 磁體(211b)可設(shè)在第一固定構(gòu)件（211a)的上表面上。此處，第一磁體(211b)可設(shè)在第一固 定構(gòu)件(211a)的上表面上同時與轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域（111)的側(cè)表面隔開。又，第二 磁性懸浮部分(212)可經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開預(yù)定距離以面對第一磁性 懸浮部分(211)。此第二磁性懸浮部分(212)可包含與第一磁性懸浮部分(211)的第一固定 構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離并面對其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及分別面對第一磁性懸浮部 分(211)的第一磁體(211b)及第二磁體(211c)的第三及第四磁體(212b、212c)。此處，第二 固定構(gòu)件(212a)可與第一固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定距離并面對其，且可經(jīng)提供以具有具有 "Π "形狀的一個側(cè)面及具有"二"形狀的另一側(cè)面以便面對第一固定構(gòu)件(211a)的上表面。 第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提供以具有短上部側(cè)面及長下部側(cè)面，并在其整個區(qū)域之內(nèi)與第 一固定構(gòu)件（211a)隔開相同距離。此處，第一磁體(211b)及第三磁體(212b)彼此可具有不 同極性，且吸力可藉此起作用。第二磁體(211c)及第四磁體(212c)彼此可具有相同極性，且 斥力可藉此起作用。又，在其之間吸力起作用的磁體可進(jìn)一步設(shè)在第一固定構(gòu)件(211a)的 側(cè)表面及第二固定構(gòu)件(212a)的側(cè)表面上。
[0058] 圖7是說明根據(jù)例示性實施例的導(dǎo)引單元(300)的側(cè)視圖。
[0059] 參看圖7,根據(jù)例示性實施例的導(dǎo)引單元(300)可包含:第一板(311)，其耦接至托 盤（100)的上部;第一導(dǎo)引磁體(310)，其設(shè)在第一板(311)上;第二板(321)，其固定至腔室 的上壁；第二導(dǎo)引磁體（320)，其與第一導(dǎo)引磁體（310)隔開預(yù)定距離并設(shè)在第二板（321) 上；側(cè)板（330)，其自第二板(321)的側(cè)表面向下延伸；第三導(dǎo)引磁體(340)，其設(shè)在第一板 (311)的側(cè)表面上;第四導(dǎo)引磁體(350)，其與第三導(dǎo)引磁體(340)隔開預(yù)定距離并面對第三 導(dǎo)引磁體(340)且設(shè)在側(cè)板(330)上；以及第二間隙維持構(gòu)件(360)，其設(shè)在側(cè)板(330)的預(yù) 定區(qū)域上以維持側(cè)板(330)與導(dǎo)引磁體(310、320、340、350)之間的間隙。此處，第三及第四 導(dǎo)引磁體（340、350)可設(shè)在第二導(dǎo)引磁體（320)之上的第二板（321)與面對第二板的側(cè)板 (330)之間，且可設(shè)在第一板(311)與面對第一板的側(cè)板(330)之間及第二板(321)與面對第 二板的側(cè)板(330)之間的兩個區(qū)域上。又，第一及第二導(dǎo)引磁體(310、320)可具有相同極性 以使得斥力在其間起作用，或可具有彼此不同的極性以使得吸力在其間起作用。又，第三及 第四導(dǎo)引磁體(340、350)可具有相同極性以使得斥力在其間起作用。因此，托盤（100)的上 部末端部分可藉由第一與第二導(dǎo)引磁體（310、320)之間的吸力及第三與第四導(dǎo)引磁體 (340、350)之間的斥力而轉(zhuǎn)移同時被導(dǎo)引而不落下。即，由于斥力是由第三及第四導(dǎo)引磁體 (340、350)自側(cè)表面施加，因此與使用第一及第二導(dǎo)引磁體（310、320)的狀況相比，托盤 (100)的垂直姿勢轉(zhuǎn)移可更容易執(zhí)行。又，由于進(jìn)一步提供第二間隙維持構(gòu)件(360)，因此托 盤(100)的搖動寬度可被均勻地維持，且因此托盤(100)的垂直姿勢轉(zhuǎn)移可更容易執(zhí)行。
[0060] 導(dǎo)引托盤(100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可進(jìn)一步設(shè)在托盤（100)下方。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可 經(jīng)提供以與托盤（100)隔開預(yù)定距離，其中托盤（100)安置在其間。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在托盤 (100)與腔室的內(nèi)壁之間。即，兩個轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可經(jīng)提供以在腔室的側(cè)表面與托盤（100)之 間與托盤（100)隔開預(yù)定距離。舉例而言，在圖3、圖5,以及圖6中，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在磁性懸 浮部分(210)的外部。即，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可設(shè)在磁性懸浮部分(210)的第二磁性懸浮部分(212) 與腔室的內(nèi)壁之間。當(dāng)轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件設(shè)在第二磁性懸浮部分(212)與腔室的內(nèi)壁之間時，可自 腔室的底部表面固定第二磁性懸浮部分(212)。將在下文使用圖8及圖9描述具備此轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件的基板轉(zhuǎn)移裝置。
[0061 ]圖8是說明根據(jù)第四例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0062] 參看圖8,根據(jù)第四例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤 (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其用于導(dǎo)引托盤（100)。導(dǎo)引單元(300)可設(shè)在托盤（100)之上 及下方。圖7中描述及說明的組態(tài)可設(shè)在托盤（100)之上，且用于導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn) 移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在托盤(100)下方。此處，在第四例示性實施例中，與第一至第三例示性 實施例中的組態(tài)相同的組態(tài)將被簡單描述或?qū)⒉槐幻枋觥?br>[0063] 轉(zhuǎn)移基底（110)設(shè)在托盤(100)下方，且轉(zhuǎn)移基底（100)可包含:第一區(qū)域（111)，其 具有與托盤(1〇〇)寬度相同的寬度；以及延伸區(qū)域(114)，其設(shè)在第一區(qū)域(111)的側(cè)表面上 并環(huán)繞磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)。即，延伸區(qū)域(114)可經(jīng)提供以自第一區(qū)域(111)的側(cè)表面向下 延伸。此處，延伸區(qū)域(114)可經(jīng)提供以具有大于磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的寬度的寬度，以便與 磁性旋轉(zhuǎn)部分（221)隔開預(yù)定距離?？梢跃哂蓄A(yù)定寬度及長度的板形狀提供此延伸區(qū)域 (114)。又，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部的預(yù)定區(qū)域上。即，在使用圖6描 述的第三例示性實施例中，間隙維持構(gòu)件(213)設(shè)在第一與第二磁性懸浮部分(211、212)之 間以維持在第一磁性懸浮部分(211)與第二磁性懸浮部分(212)之間的間隙。在第四例示性 實施例中，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部 分(220)之間。當(dāng)然，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移部分(220)的一個區(qū)域上。即，間隙 維持構(gòu)件(213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部分(220)之間，或經(jīng)提供以固定至磁性 轉(zhuǎn)移部分(220)的預(yù)定區(qū)域。至少一個第七磁體（115)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)的至少一個區(qū) 域上，即設(shè)在延伸區(qū)域的外部區(qū)域上。
[0064] 磁性轉(zhuǎn)移單元（200)可包含磁性懸浮托盤（100)的磁性懸浮部分(210 )，及藉由允 許吸力或斥力在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與磁性懸浮部分(210)之間起作用而轉(zhuǎn)移由磁性懸浮 部分(210)磁性懸浮的托盤（100)的磁性轉(zhuǎn)移部分(220)。磁性懸浮部分(210)可包含經(jīng)提供 以固定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域（111)的第一磁性懸浮部分(211)，以及經(jīng)提供以與第 一磁性懸浮部分（211)隔開的第二磁性懸浮部分(212)。第一磁性懸浮部分(211)可包含固 定至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域(111)的下表面的第一固定構(gòu)件(211a)，以及設(shè)在第一固定 構(gòu)件(211a)的下表面的預(yù)定區(qū)域上的至少一個第一磁體(211b)。其上部部分固定至第一區(qū) 域(111)的下部部分的第一固定構(gòu)件(211a)以及其底部表面可為水平的。此處，可提供大于 第一區(qū)域（111)的寬度的第一固定構(gòu)件(211a)的寬度。由于第一固定構(gòu)件(211a)經(jīng)提供以 具有大于第一區(qū)域（111)的寬度的寬度，因此接觸第一固定構(gòu)件(211a)的側(cè)表面的延伸區(qū) 域（114)可經(jīng)提供以具有大于第一區(qū)域111寬度的寬度。又，至少一個第一磁體211b可設(shè)在 第一固定構(gòu)件(211a)下方，例如可提供三個磁體同時維持其間的相同間隔。第二磁性懸浮 部分（212)可經(jīng)提供以與第一磁性懸浮部分(211)隔開預(yù)定距離以面對第一磁性懸浮部分 (211)。此第二磁性懸浮部分（212)可包含與第一磁性懸浮部分（211)的第一固定構(gòu)件 (211a)隔開預(yù)定距離并面對其的第二固定構(gòu)件(212a)，以及面對第一磁性懸浮部分(211) 的至少一個第一磁體(21 lb)的至少一個第三磁體(212b)。又，第二固定構(gòu)件(212a)可經(jīng)提 供以具有與第一固定構(gòu)件(211a)的形狀相同的形狀，以便與第一固定構(gòu)件(211a)隔開預(yù)定 距離。舉例而言，第一及第二固定構(gòu)件(211a、212a)可具有矩形橫截面形狀。此處，第二磁性 懸浮部分(212)的第二固定構(gòu)件(212a)可固定至磁性轉(zhuǎn)移部分(220)的一個區(qū)域。
[0065] 磁性轉(zhuǎn)移部分（220)可包含磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)、與磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)隔開預(yù)定 距離的磁性轉(zhuǎn)移部分(222)，以及其中容納磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的容納構(gòu)件(223)。容納構(gòu)件 (223)在內(nèi)部容納磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)，且其下部部分可固定至腔室底部。此處，容納構(gòu)件 (223)可經(jīng)提供以具有中空形狀以使得磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)可以可旋轉(zhuǎn)方式容納于其中。 又，可提供容納構(gòu)件(223)以使得在其側(cè)表面曝露磁性轉(zhuǎn)移部分(222)的至少一部分。又，第 二磁性懸浮部分(212)可設(shè)在容納構(gòu)件(223)的上表面上。即，第二磁性懸浮部分(212)的第 二固定構(gòu)件(212a)可固定至容納構(gòu)件(223)的上部部分。磁性轉(zhuǎn)移部分(222)可包含至少一 個磁體，且可設(shè)在面對磁性旋轉(zhuǎn)部分(221)的延伸區(qū)域（114)上。即，延伸區(qū)域（114)可設(shè)在 容納構(gòu)件(223)外部以與容納構(gòu)件(223)隔開預(yù)定距離，且包含至少一個磁體的磁性轉(zhuǎn)移部 分（222)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)內(nèi)部以便面對容納于容納構(gòu)件（223)中的磁性旋轉(zhuǎn)部分 (221) 〇
[0066] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室之間。即，導(dǎo)引單元(300)可在 托盤（100)的上及下方導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在托盤（100)下方以自 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的側(cè)表面導(dǎo)引磁性轉(zhuǎn)移單元(200)的轉(zhuǎn)移。此轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可設(shè)在 磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室的內(nèi)表面之間，且可具有預(yù)定寬度及高度。又，至少一個磁體設(shè) 在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)的內(nèi)部側(cè)面上的預(yù)定區(qū)域上。即，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可包含在高度方向 上設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與腔室之間的垂直板(371)，以及設(shè)在垂直板(371)的預(yù)定區(qū)域 上的至少一個第八磁體(372)。垂直板(371)可經(jīng)提供以具有例如第一磁性懸浮部分（211) 的高度。即，垂直板(371)可經(jīng)提供以具有直至轉(zhuǎn)移基底（110)的第一區(qū)域(111)與第一磁性 懸浮部分（211)的第一固定構(gòu)件（211a)之間的邊界表面的高度。又，至少一個第八磁體 (372)經(jīng)提供至垂直板(371)。第八磁體(372)可經(jīng)提供以面對設(shè)在延伸區(qū)域（114)上的第七 磁體（115)。此處，延伸區(qū)域（114)的第七磁體（115)及垂直板(371)的第八磁體(372)可具有 彼此不同的極性或相同的極性，且吸力或斥力可藉此起作用。在沉積腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件(370)可為固定的，且在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)可在接近托盤（100)或遠(yuǎn)離托 盤(100)的方向上移動。此處，在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件可使用磁性懸浮而無接觸地移 動。即，與使用圖4描述的磁性轉(zhuǎn)移部分中的原理相同的原理可應(yīng)用于橫移腔室的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件(370)。舉例而言，具備旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)及設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸的表面上的多個磁體(未圖示)的磁 性旋轉(zhuǎn)部分(未圖示)可設(shè)在垂直板(371)下方以與垂直板(371)隔開，且具有彼此不同極性 的磁體可以預(yù)定間隔設(shè)在垂直板(371)的下表面上以與磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開。因此，歸因于在 垂直板(371)下方的磁性旋轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)的極性與在磁性旋轉(zhuǎn)部分之上的磁性轉(zhuǎn)移部分的 極性可彼此不同或彼此相同。由于吸力或斥力藉此起作用，因此磁性轉(zhuǎn)移部分根據(jù)磁性旋 轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)在一個或另一個方向上移動。即，磁性旋轉(zhuǎn)部分的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為磁性轉(zhuǎn)移部分 的線性運動，且因此移動磁性懸浮的垂直板(371)。
[0067] 圖9是說明根據(jù)第五例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置的磁性轉(zhuǎn)移單元的側(cè)視圖。
[0068] 參看圖9,根據(jù)第五例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其轉(zhuǎn)移安裝 在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元（200)，其安置在托盤（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn)移托盤 (100);以及導(dǎo)引單元(300)，其用于導(dǎo)引托盤（100)。導(dǎo)引單元(300)可設(shè)在托盤（100)的上 及下方。圖7中描述及說明的組態(tài)可設(shè)在托盤（100)之上，且導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移導(dǎo) 引件(370)可設(shè)在托盤（100)下方。此處，在第五例示性實施例中，間隙維持構(gòu)件(213)的安 置位置不同于使用圖8描述的第四例示性實施例的安置位置。即，除間隙維持構(gòu)件(213)設(shè) 在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)與延伸區(qū)域(114)之間的差異以外，根據(jù)第五例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移 裝置具有與根據(jù)第四例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置完全相同的組態(tài)。間隙維持構(gòu)件(213) 可設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)與延伸區(qū)域（114)之間的延伸區(qū)域（114)上或設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件 (370)的預(yù)定區(qū)域上。舉例而言，間隙維持構(gòu)件（213)可設(shè)在延伸區(qū)域（114)的第七磁體 (115)下方。因此，間隙維持構(gòu)件(213)可設(shè)在磁性轉(zhuǎn)移單元(200)與轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)之間， 且因此即使當(dāng)磁性轉(zhuǎn)移單元(200)搖動時仍可在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)內(nèi)部轉(zhuǎn)移磁性轉(zhuǎn)移單元 (200)。當(dāng)然，間隙維持構(gòu)件(213)可不僅設(shè)在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)與延伸區(qū)域(114)之間，而且 可設(shè)在延伸區(qū)域（114)與磁性轉(zhuǎn)移部分(220)之間。即，至少兩個或大于兩個間隙維持構(gòu)件 (213)可設(shè)在至少兩個或大于兩個區(qū)域上。
[0069] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)的至少一部分可在一個方向上或在與所述一個方向相反的另一 方向上移動。舉例而言，在沉積腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件為固定的，且在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移 導(dǎo)引件可為可移動的。即，當(dāng)托盤（100)自沉積腔室轉(zhuǎn)移時，設(shè)在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引 件藉由維持距托盤（100)的第一間隙而導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移，且當(dāng)托盤（100)的轉(zhuǎn)移完成 且托盤朝向裝載腔室返回時，設(shè)在橫移腔室內(nèi)部的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件朝向腔室的內(nèi)壁移動并維持 距托盤（100)的大于第一間隙的第二間隙。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件在橫移腔室內(nèi)部移動，且因此當(dāng)托盤 (100)的位置移動時托盤100的移動裕度可得以增加。即，托盤（100)可脫離磁性力的作用， 且因此有可能實現(xiàn)容易的橫移（即，改道(lane change))。將在下文使用圖10及圖11描述此 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)在其中移動的基板轉(zhuǎn)移裝置。
[0070] 參看圖10及圖11，根據(jù)第六例示性實施例的基板轉(zhuǎn)移裝置可包含:托盤（100)，其 轉(zhuǎn)移安裝在其上的基板;磁性轉(zhuǎn)移單元(200)，其安置在托盤（100)下方以藉由磁性懸浮轉(zhuǎn) 移托盤（100);以及導(dǎo)引單元(300)，其包含安置在托盤（100)下方以導(dǎo)引托盤（100)的轉(zhuǎn)移 的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)。轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)可在彼此相反的一個方向及另一方向上移動，且可 在接近托盤（100)的方向上及在遠(yuǎn)離托盤（100)的方向上移動。此可移動轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370) 可至少設(shè)在橫移腔室內(nèi)部。
[0071] 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件（370)可包含垂直板(371a)及水平板(371b)，且垂直板(371a)可設(shè)在 水平板（371b)之上。即，可自水平板（371b)的預(yù)定區(qū)域在向上方向上垂直地提供垂直板 (371a)。又，在垂直板(371a)中，可提供至少一個第八磁體(372)以便面對設(shè)在托盤（100)的 延伸區(qū)域（114)上的第七磁體（115)。水平板(371b)可設(shè)在垂直板(371a)下方并可被水平地 提供。此處，可移動部分(395)可設(shè)在水平板(371b)下方。可移動部分(395)可經(jīng)提供以使得 其下部區(qū)域的至少一部分圍繞導(dǎo)軌(390)，且可沿著導(dǎo)軌(390)在彼此相反的一個及另一個 方向上移動。當(dāng)可移動部分（395)移動時，位于其上方的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(370)移動。支撐部分 (380)設(shè)在導(dǎo)軌（390)下方。支撐部分（380)支撐導(dǎo)軌（390)及在導(dǎo)軌之上的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件 (370)。又，用于驅(qū)動可移動部分(395)的驅(qū)動單元(未圖示）可設(shè)在支撐部分(380)內(nèi)部。驅(qū) 動單元包含汽缸、馬達(dá)或類似的，且在如圖10中所說明接近托盤(100)的一個方向上及在如 圖11中所說明遠(yuǎn)離托盤（100)的另一個方向上移動可移動部分(395)。此處，當(dāng)自沉積腔室 轉(zhuǎn)移托盤(100)時，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)位于接近托盤（100)的第一位置處。在執(zhí)行改道(即，橫 移以使托盤（100)朝向裝載腔室返回）的情況下，可移動部分(395)由驅(qū)動單元驅(qū)動以使得 轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)在遠(yuǎn)離托盤（100)的方向上移動以位于第二位置處。在轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371) 移動之后，托盤（100)被提升，且接著朝向裝載腔室返回。接著，轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件(371)再次被移 動至第一位置。
[0072] 如上文所描述，已關(guān)于上述實施例特定地描述本發(fā)明的技術(shù)思想，但應(yīng)注意前述 實施例僅經(jīng)提供用于說明而不限制本發(fā)明?？商峁└鞣N實施例以允許本領(lǐng)域技術(shù)人員理解 本發(fā)明的范疇，但本發(fā)明不限于此。
【主權(quán)項】
1. 一種基板轉(zhuǎn)移裝置，包括： 托盤，基板安裝在所述托盤上； 磁性轉(zhuǎn)移單元，其安置在所述托盤下方，并經(jīng)組態(tài)以磁性地使所述托盤懸浮并藉由磁 力轉(zhuǎn)移所述托盤；以及 導(dǎo)引單元，其經(jīng)組態(tài)以導(dǎo)引所述托盤的所述轉(zhuǎn)移而不接觸所述托盤。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括轉(zhuǎn)移基底，所述轉(zhuǎn)移基底包含經(jīng) 提供以接觸所述托盤的下部側(cè)面的接觸區(qū)域，以及自所述接觸區(qū)域的兩側(cè)向下延伸的延伸 區(qū)域。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移單元包括： 磁性懸浮部分，其安置于所述轉(zhuǎn)移基底的一個區(qū)域上以磁性地使所述托盤懸?。灰约?磁性轉(zhuǎn)移部分，其安置在所述磁性懸浮部分下方以在一個方向上轉(zhuǎn)移藉由磁力懸浮的 所述托盤。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性懸浮部分包括： 第一磁性懸浮部分，其經(jīng)組態(tài)以接觸所述轉(zhuǎn)移基底，并包括至少一個磁體；以及 第二磁性懸浮部分，其與所述第一磁性懸浮部分隔開，并包含將被施加來自所述第一 磁性懸浮部分的吸力及斥力中的至少任一個的至少一個磁體。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移部分包括： 旋轉(zhuǎn)軸； 磁性旋轉(zhuǎn)部分，其包含經(jīng)安置以環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸的多個磁體；以及 磁性轉(zhuǎn)移部分，其與所述磁性旋轉(zhuǎn)部分隔開，并包含多個磁體。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括經(jīng)組態(tài)以在內(nèi)部容納所述磁性 旋轉(zhuǎn)部分的容納部分，其中所述容納部分的上部部分接觸所述第二磁性懸浮部分。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個磁體設(shè)在 所述轉(zhuǎn)移基底的所述延伸區(qū)域的至少一個區(qū)域上，所述一個區(qū)域面對所述磁性旋轉(zhuǎn)部分。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中 所述磁性旋轉(zhuǎn)部分的所述多個磁體經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的所述磁體被交 替地安置以便以預(yù)定角度環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸，且 所述磁性轉(zhuǎn)移部分的所述多個磁體經(jīng)提供以使得具有彼此不同極性的所述磁體被交 替地安置以便具有與所述磁性旋轉(zhuǎn)部分的角度相同的角度。9. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述導(dǎo)引單元包括： 第一導(dǎo)引磁體，其耦接至所述托盤的上部部分；以及 第二導(dǎo)引磁體，其設(shè)在腔室的上壁上以與所述第一導(dǎo)引磁體隔開預(yù)定距離， 其中所述第一導(dǎo)引磁體及所述第二導(dǎo)引磁體被施加吸力或斥力中的至少任一個。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述導(dǎo)引單元進(jìn)一步包括設(shè)在所述托盤 與所述腔室的內(nèi)壁之間的轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件。11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件設(shè)在所述延伸區(qū)域與 所述腔室的所述內(nèi)壁之間。12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其進(jìn)一步包括設(shè)在所述磁性轉(zhuǎn)移單元與所 述導(dǎo)引單元之間的至少一個區(qū)域上的間隙維持構(gòu)件。13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述間隙維持構(gòu)件設(shè)在所述延伸區(qū)域 與所述磁性懸浮部分之間的區(qū)域或所述延伸區(qū)域與所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件之間的區(qū)域中的至少 一個上。14. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件的至少一部分在接近 所述托盤的方向上及在遠(yuǎn)離所述托盤的方向上移動。15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板轉(zhuǎn)移裝置，其中 當(dāng)所述托盤被轉(zhuǎn)移時，設(shè)在橫移腔室中的所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件位于鄰近于所述托盤的第一 位置處，且 當(dāng)所述托盤被返回時，所述轉(zhuǎn)移導(dǎo)引件位于遠(yuǎn)離所述托盤的第二位置處。
【文檔編號】H01L21/68GK105993068SQ201580003423
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年11月26日
【發(fā)明人】金正健, 金善吉, 金南訓(xùn), 金鍾大, 高元, 高元一, 蘇秉鎬, 孫承京, 李起泰, 李尚浩, 千敏鎬, 韓應(yīng)龍
【申請人】Ulvac韓國股份有限公司