一種晶圓干燥裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓干燥裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過程中，進(jìn)行濕法刻蝕之后需要對晶圓進(jìn)行干燥處理。干燥處理首先將晶圓放置在水槽中進(jìn)行清洗，去除所述晶圓表面的廢液或顆粒，接著將所述晶圓移至干燥槽中繼續(xù)進(jìn)行氣體烘干，達(dá)到晶圓干燥的目的。如果干燥效果不理想，直接后果是產(chǎn)生水痕缺陷，而水痕缺陷是引發(fā)產(chǎn)量損失的主要原因，這就使得晶圓干燥處理成為清洗之后最重要的一道工序，決定了清洗工藝的品質(zhì)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中基本都是使用氮?dú)?N2)和異丙醇(IPA)作為干燥媒介，其干燥原理為:利用IPA與去離子水表面張力的不同，即晶圓表面的IPA濃度大于去離子水濃度，故表面張力減小，將晶圓表面殘留的水分子吸收流回水槽。具體地說，洗滌完畢后，晶圓表面會(huì)殘留有水滴，將潮濕的晶圓輸送到干燥槽內(nèi)進(jìn)行干燥。IPA由氮?dú)庾鳛閭鬏敋怏w，把氮?dú)鈱?dǎo)入加熱的IPA，使高揮發(fā)性的IPA產(chǎn)生氣態(tài)IPA傳入干燥槽內(nèi)，從而使清洗后的晶圓表面得以干燥，避免水痕、顆粒及其他金屬雜質(zhì)殘留在晶圓表面。
[0004]一般，提供IPA的裝置(即干燥氣體供給裝置10A)如圖1所示，在水槽1lA中放置液態(tài)的干燥液槽102A(IPA容器)，利用水浴加熱IPA，使IPA揮發(fā)成氣態(tài)，與水槽1lA還連接了一條液位管103A，用來控制水槽1lA中水的水位，防止水溢出，在液位管103A上安裝了各種傳感器，其中在液位管103A靠近上方的位置設(shè)置一個(gè)報(bào)警傳感器104A，一旦水位控制不當(dāng)，超過報(bào)警傳感器104A高度時(shí)，傳感器就會(huì)報(bào)警警示。目前這種利用液位管進(jìn)行液位控制的方式，由于液位管中的水具有一定溫度，容易蒸發(fā)，蒸發(fā)的水蒸氣接觸報(bào)警傳感器產(chǎn)生誤報(bào)警操作，使整個(gè)干燥過程停止，導(dǎo)致晶圓不能完全干燥，表面產(chǎn)生水痕而報(bào)廢。
[0005]因此，提供一種改進(jìn)的晶圓干燥裝置，防止液位管上的報(bào)警傳感器發(fā)生誤操作，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的課題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓干燥裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中液位管上的報(bào)警傳感器容易發(fā)生誤報(bào)警的問題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓干燥裝置，所述晶圓干燥裝置至少包括干燥氣體供給裝置，所述干燥氣體供給裝置至少包括:
[0008]水槽；
[0009]用來裝載干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加熱干燥液產(chǎn)生干燥氣體；
[0010]液位管，和所述水槽相連接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的頂端貼設(shè)有熱敏電阻片；
[0011]報(bào)警傳感器，安裝在液位管上，當(dāng)液位管中的水上升超過所述報(bào)警傳感器位置時(shí)，報(bào)警傳感器發(fā)出警報(bào)。
[0012]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述密封油為真空泵油。
[0013]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述熱敏電阻片通電后的加熱溫度范圍為75±2°C。
[0014]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述液位管的頂部還安裝有自動(dòng)排氣閥，當(dāng)液位管內(nèi)氣壓超過0.15Mpa時(shí)，自動(dòng)排氣閥會(huì)自動(dòng)打開進(jìn)行排壓。
[0015]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述密封油通過注油口滴加在液位管的水面上，所述注油口設(shè)置在水面和報(bào)警傳感器之間，并通過注油控制閥控制油量。
[0016]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述干燥液為異丙醇，加熱后異丙醇揮發(fā)成為異丙醇?xì)怏w，所述干燥液槽中還通有N2氣。
[0017]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述晶圓干燥裝置還包括用來清洗和干燥晶圓的處理槽，所述處理槽由一蓋體覆蓋。
[0018]作為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的一種優(yōu)化的結(jié)構(gòu)，所述干燥液槽通過管道和所述蓋體連接。
[0019]如上所述，本實(shí)用新型的晶圓干燥裝置，所述晶圓干燥裝置至少包括干燥氣體供給裝置，所述干燥氣體供給裝置至少包括:水槽；用來裝載干燥液的干燥液槽，放置于水槽中，利用水槽中的水加熱干燥液產(chǎn)生干燥氣體；液位管，和所述水槽相連接，所述水槽中的水上升至液位管一定高度，在液位管中水面滴有密封油，并且在液位管的頂端貼設(shè)有熱敏電阻片；報(bào)警傳感器，安裝在液位管上，當(dāng)液位管中的水上升超過所述報(bào)警傳感器位置時(shí)，報(bào)警傳感器發(fā)出警報(bào)。本實(shí)用新型通過在液位管中滴加密封油，并在液位管上方包覆壓敏電阻片，可以減少水蒸氣在液位管管壁上的粘附，從而降低水蒸氣對報(bào)警傳感器的影響。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓干燥裝置示意圖。
[0021]圖2為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置中的干燥氣體供給裝置示意圖。
[0022]圖3為本實(shí)用新型晶圓干燥裝置的整體示意圖。
[0023]元件標(biāo)號(hào)說明
[0024]10，1A干燥氣體供給裝置
[0025]101，1lA 水槽
[0026]102, 102A 干燥液槽
[0027]103, 103A 液位管
[0028]104, 104A 報(bào)警傳感器
[0029]105密封油
[0030]106熱敏電阻片
[0031]107自動(dòng)排氣閥
[0032]108注油控制閥
[0033]201處理槽
[0034]202蓋體
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0036]請參閱附圖。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0037]現(xiàn)有的異丙醇依靠水槽里的熱水進(jìn)行加熱，但是控制水槽中液位的報(bào)警傳感器會(huì)由于液位管里的水蒸氣導(dǎo)致誤動(dòng)作，使整個(gè)晶圓干燥過程停止，晶圓表面留下水痕而報(bào)廢。有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種新的晶圓干燥裝置，在該裝置的液位管的水面上滴加有密封油，并且液位管的頂部用壓敏電阻片包覆，這樣可以減少水蒸氣凝結(jié)在液位管上，避免報(bào)警傳感器的誤動(dòng)作。以下將詳細(xì)闡述本實(shí)用新型的晶圓干燥裝置的原理及實(shí)施方式，使本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要?jiǎng)?chuàng)造性勞動(dòng)即可理解本實(shí)用新型的晶圓干燥裝置。
[0038]如