一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中，太陽(yáng)能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽(yáng)能發(fā)電裝置又稱為太陽(yáng)能電池或光伏電池，可以將太陽(yáng)能直接轉(zhuǎn)換成電能，其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。
[0003]傳統(tǒng)的太陽(yáng)能電池的制備方法如下:制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、清洗、鍍膜、印刷、燒結(jié)。其中，擴(kuò)散制結(jié)是關(guān)鍵步驟，是在硅片上制備PN結(jié)；現(xiàn)有技術(shù)中一般采用管式擴(kuò)散爐。
[0004]現(xiàn)有的管式擴(kuò)散爐主要包括爐管，爐管的尾部通常設(shè)有多個(gè)出口管，以便用來設(shè)置尾氣管、熱電偶套管等功能部件。其中，尾氣管是用來排放尾氣的，其尾端連接有廢液瓶。
[0005]然而，實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn)，由于尾氣管是設(shè)于爐管的出口管之中，尾氣管和出口管之間具有縫隙，這便導(dǎo)致了擴(kuò)散工藝中的偏磷酸會(huì)在縫隙處發(fā)生堆積，導(dǎo)致尾氣管和出口管的腐蝕和粘結(jié)。
[0006]針對(duì)上述問題，現(xiàn)有方法是定期將尾氣管取出進(jìn)行清洗，防止因偏磷酸的堆積而導(dǎo)致出口管及尾氣管破損或斷裂。但是，這種定期維護(hù)方式需要花費(fèi)大量的人工，維護(hù)成本較高；此外，一旦忘記維護(hù)時(shí)極易導(dǎo)致出口管及尾氣管破損。
[0007]此外，除了上述尾氣管和出口管之間，熱電偶套管和出口管之間也會(huì)存在上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐。
[0009]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，包括爐管，爐管的尾部設(shè)有出口管，出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，所述出口管上設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接。
[0010]上文中，所述進(jìn)氣孔是用來通入氣體(如氮?dú)?進(jìn)行吹氣的。每次擴(kuò)散完成之后，通氮?dú)獯祾呶矚夤芎统隹诠苤g的縫隙，通過氮?dú)庑纬蓺怏w保護(hù)層，將酸性氣體排除間隙之夕卜，從而減少偏磷酸的堆積，最終避免因偏磷酸的堆積導(dǎo)致出口管及尾氣管破損或斷裂的情況發(fā)生。
[0011]對(duì)于吹氣的方式，可以是一直吹掃，吹氣時(shí)間可以根據(jù)具體的腐蝕粘結(jié)情況來選擇；也可以間歇式吹氣，例如，以5秒為間隔時(shí)間間斷吹掃。
[0012]上述技術(shù)方案中，所述氣源為氮?dú)鈿庠础?br>[0013]上述技術(shù)方案中，所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥。
[0014]上述技術(shù)方案中，所述進(jìn)氣孔設(shè)于靠近出口管尾部的一側(cè)。
[0015]上述技術(shù)方案中，所述爐管的尾部設(shè)有至少2個(gè)出口管，其中I個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，另一個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有熱電偶套管；
[0016]所述設(shè)有熱電偶套管的出口管上也設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接。
[0017]上述技術(shù)方案中，所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥。
[0018]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0019]1、本實(shí)用新型在爐管的出口管上設(shè)置進(jìn)氣孔，以通入氣體(如氮?dú)?進(jìn)行吹氣；在每次擴(kuò)散完成之后，通入氮?dú)獯祾呶矚夤芎统隹诠苤g的縫隙，將酸性氣體排除間隙之外，從而減少偏磷酸的堆積，防止了因偏磷酸的堆積導(dǎo)致出口管及尾氣管破損或斷裂的情況發(fā)生；實(shí)際應(yīng)用證明，該方法取得了顯著的效果；
[0020]2、本實(shí)用新型在實(shí)際操作時(shí)只要通入氣源即可進(jìn)行吹氣作業(yè)，操作簡(jiǎn)單，無需花費(fèi)大量的人工，操作簡(jiǎn)單，維護(hù)成本較低；
[0021]3、本實(shí)用新型也可以在設(shè)有熱電偶套管的出口管上實(shí)現(xiàn)，實(shí)現(xiàn)了拓展應(yīng)用；
[0022]4、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，適于推廣應(yīng)用。
【附圖說明】
[0023]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]其中:1、爐管；2、出口管；3、尾氣管；4、進(jìn)氣孔；5、氣管；6、調(diào)節(jié)閥；7、熱電偶套管；8、石英彎管；9、廢液瓶。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步描述。
[0026]實(shí)施例一:
[0027]參見圖1所示，一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，包括爐管1，爐管的尾部設(shè)有出口管2，出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管3，所述出口管上設(shè)有進(jìn)氣孔4，進(jìn)氣孔通過氣管5與氣源連接。
[0028]尾氣管3的尾端通過石英彎管8與廢液瓶9連接。
[0029]所述氣源為氮?dú)鈿庠础?br>[0030]所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥6。
[0031]所述進(jìn)氣孔設(shè)于靠近出口管尾部的一側(cè)。
[0032]所述爐管的尾部設(shè)有2個(gè)出口管，其中I個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，另一個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有熱電偶套管7。
[0033]實(shí)施例二:
[0034]一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，包括爐管，所述爐管的尾部設(shè)有至少2個(gè)出口管，其中I個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，另一個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有熱電偶套管；
[0035]所述出口管上設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接；
[0036]所述設(shè)有熱電偶套管的出口管上也設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接。
[0037]所述氣源為氮?dú)鈿庠础?br>[0038]所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，包括爐管(I)，爐管的尾部設(shè)有出口管(2)，出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管(3)，其特征在于:所述出口管上設(shè)有進(jìn)氣孔(4)，進(jìn)氣孔通過氣管(5)與氣源連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，其特征在于:所述氣源為氮?dú)鈿庠础?br>3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，其特征在于:所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥(6) ο
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，其特征在于:所述進(jìn)氣孔設(shè)于靠近出口管尾部的一側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，其特征在于:所述爐管的尾部設(shè)有至少2個(gè)出口管，其中I個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，另一個(gè)出口管內(nèi)設(shè)有熱電偶套管(7)； 所述設(shè)有熱電偶套管的出口管上也設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，其特征在于:所述氣管上設(shè)有調(diào)節(jié)閥。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于太陽(yáng)能電池的管式擴(kuò)散爐，包括爐管，爐管的尾部設(shè)有出口管，出口管內(nèi)設(shè)有尾氣管，所述出口管上設(shè)有進(jìn)氣孔，進(jìn)氣孔通過氣管與氣源連接。本實(shí)用新型在爐管的出口管上設(shè)置進(jìn)氣孔，以通入氣體（如氮?dú)猓┻M(jìn)行吹氣；在每次擴(kuò)散完成之后，通入氮?dú)獯祾呶矚夤芎统隹诠苤g的縫隙，將酸性氣體排除間隙之外，從而減少偏磷酸的堆積，防止了因偏磷酸的堆積導(dǎo)致出口管及尾氣管破損或斷裂的情況發(fā)生。
【IPC分類】F27D17-00, H01L31-18
【公開號(hào)】CN204596818
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520316469
【發(fā)明人】王宏波, 周華軍
【申請(qǐng)人】蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司, 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
【公開日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年5月18日