一種彈性大吸力吸嘴的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種負壓吸附吸嘴裝置，具體為一種彈性大吸力吸嘴，屬于半導(dǎo)體加工輔助器件技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，吸嘴的應(yīng)用越來越廣泛，尤其是在半導(dǎo)體工件的加工中，一般均需要吸嘴來吸附工件，其工作原理是，吸嘴碰到被吸工件時，工件兩端形成壓力差，自然將工件就壓在吸嘴口了，反過來當吸嘴口負壓不存在時，工件由于重力的關(guān)系，就掉下來了脫離吸附。目前，吸嘴是貼裝設(shè)備中重要的部件，它的好壞直接決定著貼裝質(zhì)量的好壞。但是，目前的吸嘴不僅缺乏彈性緩沖裝置，容易在吸嘴碰觸貼片元件時，對貼片元件造成沖擊，影響貼片元件的使用性能，而且，現(xiàn)有的吸嘴的由于接觸面積有限，吸附力受到一定的限制，也容易導(dǎo)致吸附貼片元件時，造成貼片元件的局部位置受力變形，不適用于高精度的貼裝工藝。
[0003]為解決以上的技術(shù)問題，本實用新型提供了一種彈性大吸力吸嘴，通過設(shè)置梅花形的吸嘴，能夠提高吸嘴的接觸面積，使得貼片元件受力均勻，不容易變形，通過設(shè)置緩沖彈簧，能夠避免吸嘴在與貼片元件接觸時，對貼片元件造成碰撞損傷，同時，設(shè)置了導(dǎo)柱和導(dǎo)套，能夠提高噴嘴受到彈簧緩沖力的均勻性，提高貼片質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對上述情況，為解決現(xiàn)有技術(shù)之缺陷，本實用新型之目的就是提供了一種彈性大吸力吸嘴，其包括安裝座、緩沖彈簧、導(dǎo)柱、導(dǎo)套、吸嘴本體、吸嘴、氣道和進出氣管，其特征在于，所述安裝座與所述吸嘴本體的后端之間設(shè)置有緩沖彈簧，所述安裝座的兩端固定設(shè)置有所述導(dǎo)柱，所述吸嘴本體上對應(yīng)所述導(dǎo)柱的位置設(shè)置有所述導(dǎo)套，所述導(dǎo)柱在所述導(dǎo)套內(nèi)滑動配合，所述吸嘴設(shè)置在所述吸嘴本體的前端，所述吸嘴本體內(nèi)設(shè)置有氣道，所述氣道的一端與所述吸嘴相連通，所述氣道的另一端與所述進出氣管相連通，其中，所述吸嘴的橫截面形狀為梅花形。
[0005]進一步，作為優(yōu)選，所述緩沖彈簧為碟簧。
[0006]進一步，作為優(yōu)選，所述導(dǎo)套的末端突出所述吸嘴本體的下表面距離為5-12mm。
[0007]進一步，作為優(yōu)選，所述進出氣管的軸線與所述吸嘴本體內(nèi)的氣道成垂直設(shè)置。
[0008]進一步，作為優(yōu)選，所述吸嘴本體的形狀為階梯狀。
[0009]本實用新型的有益效果:
[0010]本實用新型提供了一種彈性大吸力吸嘴，通過設(shè)置梅花形的吸嘴，能夠提高吸嘴的接觸面積，使得貼片元件受力均勻，不容易變形，通過設(shè)置緩沖彈簧，能夠避免吸嘴在與貼片元件接觸時，對貼片元件造成碰撞損傷，同時，設(shè)置了導(dǎo)柱和導(dǎo)套，能夠提高噴嘴受到彈簧緩沖力的均勻性，提高貼片質(zhì)量。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型提供的一種彈性大吸力吸嘴的結(jié)構(gòu)圖；
[0012]圖2為本實用新型提供的一種彈性大吸力吸嘴的噴嘴本體的俯視結(jié)構(gòu)圖；
[0013]其中，1、安裝座，2、緩沖彈簧，3、導(dǎo)柱，4、導(dǎo)套，5、吸嘴本體，6、吸嘴，7、氣道，8、進出氣管。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步說明。
[0015]如圖1所示，本實用新型提供了一種彈性大吸力吸嘴，其包括安裝座1、緩沖彈簧2、導(dǎo)柱3、導(dǎo)套4、吸嘴本體5、吸嘴6、氣道7和進出氣管8，其中，安裝座I與吸嘴本體5的后端之間設(shè)置有緩沖彈簧2，安裝座I的兩端固定設(shè)置有所述導(dǎo)柱3，吸嘴本體5上對應(yīng)所述導(dǎo)柱3的位置設(shè)置有所述導(dǎo)套4，導(dǎo)柱3在所述導(dǎo)套4內(nèi)滑動配合，吸嘴6設(shè)置在所述吸嘴本體5的前端，吸嘴本體5內(nèi)設(shè)置有氣道7，氣道7的一端與所述吸嘴6相連通，氣道7的另一端與所述進出氣管8相連通，其中，如圖2所示，吸嘴6的橫截面形狀為梅花形。
[0016]在本實施例中，緩沖彈簧2為碟簧。為了提高導(dǎo)套與導(dǎo)柱的導(dǎo)向精度，導(dǎo)套4的末端突出吸嘴本體5的下表面距離為5-12mm。進出氣管8的軸線與所述吸嘴本體5內(nèi)的氣道7成垂直設(shè)置。吸嘴本體5的形狀為階梯狀。
[0017]本實用新型通過設(shè)置梅花形的吸嘴，能夠提高吸嘴的接觸面積，使得貼片元件受力均勻，不容易變形，通過設(shè)置緩沖彈簧，能夠避免吸嘴在與貼片元件接觸時，對貼片元件造成碰撞損傷，同時，設(shè)置了導(dǎo)柱和導(dǎo)套，能夠提高噴嘴受到彈簧緩沖力的均勻性，提高貼片質(zhì)量。
【主權(quán)項】
1.一種彈性大吸力吸嘴，其包括安裝座、緩沖彈簧、導(dǎo)柱、導(dǎo)套、吸嘴本體、吸嘴、氣道和進出氣管，其特征在于，所述安裝座與所述吸嘴本體的后端之間設(shè)置有緩沖彈簧，所述安裝座的兩端固定設(shè)置有所述導(dǎo)柱，所述吸嘴本體上對應(yīng)所述導(dǎo)柱的位置設(shè)置有所述導(dǎo)套，所述導(dǎo)柱在所述導(dǎo)套內(nèi)滑動配合，所述吸嘴設(shè)置在所述吸嘴本體的前端，所述吸嘴本體內(nèi)設(shè)置有氣道，所述氣道的一端與所述吸嘴相連通，所述氣道的另一端與所述進出氣管相連通，其中，所述吸嘴的橫截面形狀為梅花形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈性大吸力吸嘴，其特征在于，所述緩沖彈簧為碟簧。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種彈性大吸力吸嘴，其特征在于，所述導(dǎo)套的末端突出所述吸嘴本體的下表面距離為5-12mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種彈性大吸力吸嘴，其特征在于，所述進出氣管的軸線與所述吸嘴本體內(nèi)的氣道成垂直設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種彈性大吸力吸嘴，其特征在于，所述吸嘴本體的形狀為階梯狀。
【專利摘要】本實用新型提供一種彈性大吸力吸嘴，安裝座與所述吸嘴本體的后端之間設(shè)置有緩沖彈簧，安裝座的兩端固定設(shè)置有所述導(dǎo)柱，吸嘴本體上對應(yīng)導(dǎo)柱的位置設(shè)置有所述導(dǎo)套，導(dǎo)柱在所述導(dǎo)套內(nèi)滑動配合，吸嘴設(shè)置在所述吸嘴本體的前端，吸嘴本體內(nèi)設(shè)置有氣道，所述氣道的一端與吸嘴相連通，氣道的另一端與所述進出氣管相連通，其中，吸嘴的橫截面形狀為梅花形。本實用新型通過設(shè)置梅花形的吸嘴，能夠提高吸嘴的接觸面積，使得貼片元件受力均勻，不容易變形，通過設(shè)置緩沖彈簧，能夠避免吸嘴在與貼片元件接觸時，對貼片元件造成碰撞損傷，同時，設(shè)置了導(dǎo)柱和導(dǎo)套，能夠提高噴嘴受到彈簧緩沖力的均勻性，提高貼片質(zhì)量。
【IPC分類】H01L21/683
【公開號】CN204696095
【申請?zhí)枴緾N201520446260
【發(fā)明人】崔明, 賈文其, 顧啟民, 黃震
【申請人】中國礦業(yè)大學
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年6月26日