一種晶元清洗機用供料機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及硅片生成設備技術領域,特別涉及一種晶元清洗機用供料機。
【背景技術】
[0002]在光伏行業(yè)內(nèi),清洗機是電池車間不可缺少的,其中鏈式清洗機使用最為廣泛。傳統(tǒng)的鏈式清洗機都是人工上料,碎片率比較高,而且手接觸晶元造成的污染也很嚴重,現(xiàn)也有上料機,自動化程度低,碎片率高。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對現(xiàn)有技術的不足,本實用新型的目的是提供一種晶元清洗機用供料機。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種晶元清洗機用供料機,包括分片機架、放置在分片機架側(cè)面的傳輸機架,所述分片機架頂面設有滑軌,所述滑軌末端設有限位板,所述分片機架頂面豎直設有立架,所述立架頂面設有滑動箱,所述滑動箱上設有沿所述滑動箱縱向滑動的橫梁,所述滑動箱上設有驅(qū)動所述橫梁移動的縱向驅(qū)動機構,所述橫梁設有升降氣缸,所述升降氣缸的氣缸桿上設有吸盤;所述分片機架上設有升降電缸,所述升降電缸的電缸桿頂部設有托板,所述托板穿過所述分片機架頂面,所述滑軌后方的分片機架頂面設有橫向傳輸帶機構;所述傳輸機架設有縱向傳輸帶,所述傳輸機架上設有升降支架,所述升降支架上設有橫向帶輪以及繞在所述橫向帶輪上的橫向輸送帶,所述傳輸機架上設有與所述升降支架連接的舉升氣缸,所述升降支架上設有擋板和晶元檢測傳感器。
[0005]上述設計中利用升降氣缸、吸盤、橫梁實現(xiàn)晶元的抓取和移動,通過橫向傳輸帶機構、縱向傳輸帶、升降的橫向帶輪實現(xiàn)晶元的傳輸和轉(zhuǎn)向,自動化程度高,碎片率低;所述擋板和晶元檢測傳感器實現(xiàn)對晶元的預先分割,實現(xiàn)多個晶元的輸送,生產(chǎn)效率高。
[0006]作為本設計的進一步改進,所述吸盤設有硅片檢測開關,防止未夾持晶元,提高生產(chǎn)效率。
[0007]作為本設計的進一步改進,所述滑軌至少兩對,即形成兩個及以上的工位,提高生產(chǎn)效率。
[0008]作為本設計的進一步改進,所述滑軌兩側(cè)的分片機架設有朝向工位的風刀,所述風刀便于分離硅片,防止多夾片。
[0009]作為本設計的進一步改進,所述風刀與設置在分片機架上的風刀氣缸連接,防止風刀與硅片干涉,提高風刀的效能。
[0010]作為本設計的進一步改進,所述工位對角的分片機架上設有晶元平衡檢測傳感器,防止晶元跑偏、傾斜,減少碎片。
[0011]作為本設計的進一步改進,所述縱向驅(qū)動機構包括縱向傳送帶、與所述縱向傳送帶驅(qū)動連接的縱向傳輸電機,緩沖效果好,防止晶元滑落。
[0012]作為本設計的進一步改進,所述托板上設有導向柱,提高托板的穩(wěn)定性,保證托板的水平程度。
[0013]作為本設計的進一步改進,所述傳輸機架上設有與所述升降支架配合的滑軌,提高升降支架升降的平穩(wěn)性。
[0014]本實用新型的有益效果是:本實用新型利用升降氣缸、吸盤、橫梁實現(xiàn)晶元的抓取和移動,通過橫向傳輸帶機構、縱向傳輸帶、升降的橫向帶輪實現(xiàn)晶元的傳輸和轉(zhuǎn)向,自動化程度高,碎片率低;所述擋板和晶元檢測傳感器實現(xiàn)對晶元的預先分割,實現(xiàn)多個晶元的輸送,生產(chǎn)效率高。
【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0016]圖1是本實用新型的整體結(jié)構示意圖。
[0017]圖2是本實用新型的分片機架俯視示意圖。
[0018]在圖中1.分片機架,2.滑軌,3.導向柱,4.升降電缸,5.舉升氣缸,6.傳輸機架,7.升降支架,8.橫向輸送帶,9.豎直滑軌,10.橫向帶輪,11.縱向傳輸帶,12.晶元檢測傳感器,13.擋板,14.風刀氣缸,15.風刀,16.橫梁,17.升降氣缸,18.縱向驅(qū)動機構,19.滑動箱,20.吸盤,21.硅片檢測開關,22.限位板,23.立架,24.晶元平衡檢測傳感器,25.縱向傳送帶,26.橫向傳輸帶機構,27.托板,28.縱向傳輸電機。
【具體實施方式】
[0019]下面將結(jié)合附圖以及具體實施例來詳細說明本實用新型,其中的示意性實施例以及說明僅用來解釋本實用新型,但并不作為對本實用新型的限定。
[0020]實施例:一種晶元清洗機用供料機,包括分片機架1、放置在分片機架I側(cè)面的傳輸機架6,所述分片機架I頂面設有滑軌2,所述滑軌2末端設有限位板22,所述分片機架I頂面豎直設有立架23,所述立架23頂面設有滑動箱19,所述滑動箱19上設有沿所述滑動箱19縱向滑動的橫梁16,所述滑動箱19上設有驅(qū)動所述橫梁16移動的縱向驅(qū)動機構18,所述橫梁16設有升降氣缸17,所述升降氣缸17的氣缸桿上設有吸盤20 ;所述分片機架I上設有升降電缸4,所述升降電缸4的電缸桿頂部設有托板27,所述托板27穿過所述分片機架I頂面,所述滑軌2后方的分片機架I頂面設有橫向傳輸帶機構26 ;所述傳輸機架6設有縱向傳輸帶11,所述傳輸機架6上設有升降支架7,所述升降支架7上設有橫向帶輪10以及繞在所述橫向帶輪10上的橫向輸送帶8,所述傳輸機架6上設有與所述升降支架7連接的舉升氣缸5,所述升降支架7上設有擋板13和晶元檢測傳感器12。
[0021]上述設計中利用升降氣缸17、吸盤20、橫梁16實現(xiàn)晶元的抓取和移動,通過橫向傳輸帶機構26、縱向傳輸帶11、升降的橫向帶輪10實現(xiàn)晶元的傳輸和轉(zhuǎn)向,自動化程度高,碎片率低;所述擋板13和晶元檢測傳感器12實現(xiàn)對晶元的預先分割,實現(xiàn)多個晶元的輸送,生產(chǎn)效率高。
[0022]作為本設計的進一步改進,所述吸盤20設有硅片檢測開關21,防止未夾持晶元,提尚生廣效率。
[0023]作為本設計的進一步改進,所述滑軌2至少兩對,即形成兩個及以上的工位,提高生產(chǎn)效率。
[0024]作為本設計的進一步改進,所述滑軌2兩側(cè)的分片機架I設有朝向工位的風刀15,所述風刀15便于分離硅片,防止多夾片。
[0025]作為本設計的進一步改進,所述風刀15與設置在分片機架I上的風刀15氣缸14連接,防止風刀15與硅片干涉,提高風刀15的效能。
[0026]作為本設計的進一步改進,所述工位對角的分片機架I上設有晶元平衡檢測傳感器24,防止晶元跑偏、傾斜,減少碎片。
[0027]作為本設計的進一步改進,所述縱向驅(qū)動機構18包括縱向傳送帶25、與所述縱向傳送帶25驅(qū)動連接的縱向傳輸電機28,緩沖效果好,防止晶元滑落。
[0028]作為本設計的進一步改進,所述托板27上設有導向柱3,提高托板27的穩(wěn)定性,保證托板27的水平程度。
[0029]作為本設計的進一步改進,所述傳輸機架6上設有與所述升降支架7配合的豎直滑軌9,提高升降支架7升降的平穩(wěn)性。
[0030]以上所述僅為本實用新型的實施例,并非因此限制本實用新型的專利范圍,凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構或等效流程變換,或直接或間接運用在其他相關的技術領域,均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。
【主權項】
1.一種晶元清洗機用供料機,其特征在于,包括分片機架、放置在分片機架側(cè)面的傳輸機架,所述分片機架頂面設有滑軌,所述滑軌末端設有限位板,所述分片機架頂面豎直設有立架,所述立架頂面設有滑動箱,所述滑動箱上設有沿所述滑動箱縱向滑動的橫梁,所述滑動箱上設有驅(qū)動所述橫梁移動的縱向驅(qū)動機構,所述橫梁設有升降氣缸,所述升降氣缸的氣缸桿上設有吸盤;所述分片機架上設有升降電缸,所述升降電缸的電缸桿頂部設有托板,所述托板穿過所述分片機架頂面,所述滑軌后方的分片機架頂面設有橫向傳輸帶機構;所述傳輸機架設有縱向傳輸帶,所述傳輸機架上設有升降支架,所述升降支架上設有橫向帶輪以及繞在所述橫向帶輪上的橫向輸送帶,所述傳輸機架上設有與所述升降支架連接的舉升氣缸,所述升降支架上設有擋板和晶元檢測傳感器。2.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述吸盤設有硅片檢測開關。3.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述滑軌至少兩對,即形成兩個及以上的工位。4.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述滑軌兩側(cè)的分片機架設有朝向工位的風刀。5.根據(jù)權利要求4所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述風刀與設置在分片機架上的風刀氣缸連接。6.根據(jù)權利要求3所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述工位對角的分片機架上設有晶元平衡檢測傳感器。7.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述縱向驅(qū)動機構包括縱向傳送帶、與所述縱向傳送帶驅(qū)動連接的縱向傳輸電機。8.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述托板上設有導向柱。9.根據(jù)權利要求1所述的一種晶元清洗機用供料機,其特征是,所述傳輸機架上設有與所述升降支架配合的豎直滑軌。
【專利摘要】本實用新型涉及一種晶元清洗機用供料機,包括分片機架、傳輸機架、滑軌、限位板、立架,立架頂面設有滑動箱,滑動箱上設有橫梁,滑動箱上設有縱向驅(qū)動機構,橫梁設有升降氣缸及吸盤;分片機架上設有升降電缸,升降電缸連接托板,分片機架設有橫向傳輸帶機構;傳輸機架設有縱向傳輸帶,傳輸機架設有升降支架,升降支架設有橫向帶輪、橫向輸送帶,傳輸機架設有舉升氣缸,升降支架上設有擋板和晶元檢測傳感器。本實用新型利用升降氣缸、吸盤、橫梁實現(xiàn)晶元的抓取和移動,通過橫向傳輸帶機構、縱向傳輸帶、升降的橫向帶輪實現(xiàn)晶元的傳輸和轉(zhuǎn)向,自動化程度高,碎片率低;擋板和晶元檢測傳感器實現(xiàn)對晶元的預先分割,實現(xiàn)多個晶元的輸送,生產(chǎn)效率高。
【IPC分類】H01L21/66, H01L21/677, H01L31/18, H01L21/683
【公開號】CN204857697
【申請?zhí)枴緾N201520549333
【發(fā)明人】吳方輝, 隆霹顯, 陳志運, 王世賢, 張華 , 陳清波, 杜教峰
【申請人】張家港國龍光伏科技有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月28日