一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板及加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到半導(dǎo)體制造的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板及加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]HIT太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，相對(duì)傳統(tǒng)單/多晶硅電池，有更高的發(fā)電效率，更好的穩(wěn)定性和更低的成本。其PN結(jié)制備工序是采用板式PECVD制成，在PECVD制程中用到一種工裝夾具載板。如圖1A所示，常規(guī)載板是在一整塊金屬板或非金屬板(如:CFC) 200上開槽和或孔201，制成大載板200A，在槽和或孔201中放置硅片。如圖1B所示，在PECVD中大載板200A放置在加熱板300上工作，由于載板200A較大，容易變形，使得載板200A和加熱板300之間產(chǎn)生間隙，導(dǎo)致放置載板200A上的硅片溫差較大，且使得等離子體變得不均勻，容易產(chǎn)生輝光放電，嚴(yán)重影響PN結(jié)的制備質(zhì)量。
[0003]因此，設(shè)ir|種結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的載板，對(duì)于提尚HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提尚光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率，降低生產(chǎn)成本有著重大意義和應(yīng)用前景。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板及加熱裝置，其能夠提高HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下設(shè)計(jì)方案:
[0006]—種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其包括底板，所述底板包括框架及框架內(nèi)形成的開孔，在開孔中固定在框架上設(shè)有多條用于承載硅片的金屬絲。
[0007]優(yōu)選的，所述金屬絲設(shè)在開孔中并固定在框架上，金屬絲上設(shè)有固定硅片的定位塊。
[0008]優(yōu)選的，所述多條金屬絲沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉設(shè)置，形成多個(gè)承載區(qū)域，可同時(shí)承載多個(gè)硅片。
[0009]優(yōu)選的，所述框架上設(shè)有張緊機(jī)構(gòu)，所述金屬絲通過設(shè)在框架邊緣的張緊機(jī)構(gòu)拉緊。
[0010]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個(gè)載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0011]—種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的加熱裝置，其包括載板和加熱板，所述載板放置在加熱板之上，所述載板包括底板，所述底板包括框架及框架內(nèi)形成的開孔，在開孔中固定在框架上設(shè)有多條用于承載硅片的金屬絲，所述加熱板上設(shè)有與金屬絲對(duì)應(yīng)的凹槽，硅片加熱時(shí)，金屬絲沉入對(duì)應(yīng)凹槽內(nèi)。
[0012]優(yōu)選的，所述金屬絲設(shè)在開孔中并固定在框架上，金屬絲上設(shè)有固定硅片的定位塊。
[0013]優(yōu)選的，所述多條金屬絲沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉設(shè)置，形成多個(gè)承載區(qū)域，可同時(shí)承載多個(gè)硅片。
[0014]優(yōu)選的，所述框架上設(shè)有張緊機(jī)構(gòu)，所述金屬絲通過設(shè)在框架邊緣的張緊機(jī)構(gòu)拉緊。
[0015]優(yōu)選的，所述載板可由AXB的多個(gè)載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。
[0016]本實(shí)用新型采用以上設(shè)計(jì)方案，在載板上通過設(shè)置多條金屬絲，硅片由載板托起，并被放置到加熱板上，由于加熱板上開有與載板上的金屬絲對(duì)應(yīng)的凹槽，金屬絲沉入到加熱板的凹槽中，而硅片被放置到加熱板表面；所以放置到加熱板表面的硅片就不會(huì)因載板的變形而受到影響，其更好的穩(wěn)定等離子體，提高了 HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【附圖說明】
[0017]圖1A為傳統(tǒng)載板示意圖；
[0018]圖1B為傳統(tǒng)載板放置到PECVD加熱板上的示意圖；
[0019]圖2A為本實(shí)用新型底板示意圖；
[0020]圖2B為本實(shí)用新型載板不意圖；
[0021]圖2C為本實(shí)用新型載板上放置娃片的不意圖；
[0022]圖2D為本實(shí)用新型加熱裝置的示意圖；
[0023]圖2E為本實(shí)用新型加熱裝置的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0025]如圖2A、2B所示，本實(shí)用新型公開了一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板600A，其包括框架500A及在框架500A上設(shè)置的金屬絲601、611 ;所述框架500A包括底板500及底板500內(nèi)的開孔501 ;實(shí)施例中所述金屬絲601、611沿所述框架500A的第一方向及第二方向交叉設(shè)置，當(dāng)然也可以只設(shè)置一個(gè)方向的金屬絲601或611，形成多個(gè)承載區(qū)域，可同時(shí)承載多個(gè)硅片，所述金屬絲601、611上分別設(shè)有固定硅片的定位塊603、613，所述框架500A上設(shè)有張緊機(jī)構(gòu)，所述601、611上分別通過設(shè)在框架500A邊緣的張緊機(jī)構(gòu)602、612 拉緊。
[0026]如圖2C所示，為本實(shí)用新型的載板600A放置硅片700后的示意圖，所述硅片700由定位塊603、613固定在一個(gè)固定區(qū)域；此圖只是示意性的表示出了可以放置6X6片硅片的載板，實(shí)際情況根據(jù)需要制成N X N片硅片的載板，也可以制成由NXN片載板拼接而成的大載板。
[0027]如圖2D、2E所示，本實(shí)用新型的硅片700由載板600A托起，并被放置到加熱板300上，由于加熱板300上設(shè)有與載板600A的金屬絲601、611對(duì)應(yīng)的凹槽，金屬絲601、611沉入到對(duì)應(yīng)加熱板300的凹槽中(金屬絲601、611沉入位置即為凹槽，圖中未特別標(biāo)出)，而硅片700被放置到加熱板300表面。所以放置到加熱板300表面的硅片700就不會(huì)因載板600A的變形而受到影響，對(duì)于穩(wěn)定等離子體，使得硅片受熱均勻，提高HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率有重大意義。
[0028]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:包括底板，所述底板包括框架及框架內(nèi)形成的開孔，在開孔中固定在框架上設(shè)有多條用于承載硅片的金屬絲。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述金屬絲設(shè)在開孔中并固定在框架上，金屬絲上設(shè)有固定硅片的定位塊。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述多條金屬絲沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉設(shè)置，形成多個(gè)承載區(qū)域，可同時(shí)承載多個(gè)硅片。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述框架上設(shè)有張緊機(jī)構(gòu)，所述金屬絲通過設(shè)在框架邊緣的張緊機(jī)構(gòu)拉緊。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述載板可由AXB的多個(gè)載板拼接而成，其中A彡1，B彡I。6.一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:包括載板和加熱板，所述載板放置在加熱板之上，所述載板包括底板，所述底板包括框架及框架內(nèi)形成的開孔，在開孔中固定在框架上設(shè)有多條用于承載硅片的金屬絲，所述加熱板上設(shè)有與金屬絲對(duì)應(yīng)的凹槽，硅片加熱時(shí)，金屬絲沉入對(duì)應(yīng)凹槽內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板，其特征在于:所述金屬絲設(shè)在開孔中并固定在框架上，金屬絲上設(shè)有固定硅片的定位塊。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:所述多條金屬絲沿所述框架的第一方向和/或第二方向交叉設(shè)置，形成多個(gè)承載區(qū)域，可同時(shí)承載多個(gè)硅片。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:所述框架上設(shè)有張緊機(jī)構(gòu)，所述金屬絲通過設(shè)在框架邊緣的張緊機(jī)構(gòu)拉緊。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的加熱裝置，其特征在于:所述載板可由AXB的多個(gè)載板拼接而成，其中A彡1，B彡10
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種制作太陽能電池片時(shí)用于硅片沉積的載板及加熱裝置，其中載板包括底板，所述底板包括框架及框架內(nèi)形成的開孔，在開孔中固定在框架上設(shè)有多條承載硅片的金屬絲，所述金屬絲上設(shè)有固定硅片的定位塊。所述加熱裝置包括載板和加熱板。本實(shí)用新型在載板上通過設(shè)置多根金屬絲，硅片由載板托起，并被放置到加熱板上，由于加熱板上開有與載板上的金屬絲位置對(duì)應(yīng)的凹槽，金屬絲沉入到加熱板的凹槽中，而硅片被放置到加熱板表面；所以放置到加熱板表面的硅片就不會(huì)因載板的變形而受到影響，其更好的穩(wěn)定等離子體，提高了HIT太陽能電池PN結(jié)的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【IPC分類】H01L31/0747, H01L31/18
【公開號(hào)】CN204857760
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520491021
【發(fā)明人】楊與勝, 王樹林, 倪鵬玉, 莊輝虎
【申請(qǐng)人】鈞石(中國)能源有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月9日