一種清洗時可旋轉方向的承載盒的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及到一種硅片生產設備，尤其涉及到一種硅片清洗時可旋轉方向的承載盒。
【背景技術】
[0002]硅片表面的潔凈度及表面形貌對高質量的硅器件工藝是至關重要的。
[0003]在P型硅基電池片生產過程中，有多達30%的步驟為清洗，P型硅基電池片清洗是指擴散和鍍膜等工序前，采用物理或化學的方法去除硅片表面的污染物和氧化物，以得到符合清潔度要求和表面形貌的硅片的過程。在化學方法中，槽式清洗設備會用到裝載硅片的承載盒，由于在P型襯底電池生產過程中4面的表面形貌和清潔度直接影響鍍膜外觀和電性能參數(shù)，制造出絨面均勻，清潔度較高的N面尤為重要。常規(guī)的槽式清洗承載盒為豎直的，如圖1所示，在清洗過程中，硅片N面邊緣會與承載盒接觸，接觸的部分會產生絨面不均或磷硅玻璃去除不徹底等現(xiàn)象，造成鍍膜后外觀色差和臟污，降低了產品質量。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型主要解決現(xiàn)有豎直的常規(guī)槽式清洗承載盒容易造成硅片的N面邊緣絨面不均或磷硅玻璃去除不徹底的技術問題;提供了一種硅片清洗時可旋轉方向、避免硅片N面與壁面接觸的承載盒。
[0005]為了解決上述存在的技術問題，本實用新型主要是采用下述技術方案:
[0006]本實用新型的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，用于P型硅基電池片的承載和清洗作業(yè)，所述承載盒包括盒體，所述盒體底面設有活動式擱板，所述擱板呈斜面狀且豎直時垂直于盒體底面，盒體側面設有多條細縫，在承載盒底部設置活動式斜面狀擱板，擱板可翻起和合攏，在常規(guī)使用時，擱板合攏與盒體底面貼合，無需改變生產線的傳輸作業(yè)方法，而當清洗使用時，擱板翻開，斜面狀的擱板相應使承載盒傾斜，也就改變了硅片清洗時的傾斜角度，使承載的硅片保持傾斜狀態(tài)，避免硅片N面與承載盒接觸，有效提高了硅片的清洗質量。
[0007]作為優(yōu)選，所述擱板呈梯形狀，擱板與盒體底面合頁連接，所述合頁一端與盒體底面固接，合頁另一端與梯形狀的擱板斜邊固接，通過合頁，擱板可方便地翻起和合攏，使操作更簡便和快捷。
[0008]作為優(yōu)選，所述梯形狀擱板的斜邊角度為10?15°，當擱板豎直使用時，可有效保證承載盒的傾斜角度。
[0009]作為優(yōu)選，所述擱板上還設有用于擱板與盒體底面保持垂直的固定機構，固定機構在承載盒使用時可保證承載盒始終保持豎直狀態(tài)，提高承載盒的使用安全性和可靠性。
[0010]作為優(yōu)選，所述擱板材料為P型襯底硅片，不會對清洗液造成污染。
[0011]本實用新型的有益效果是:在承載盒底部設置活動式斜面狀擱板，擱板可翻起和合攏，在常規(guī)使用時，擱板合攏與盒體底面貼合，無需改變生產線的傳輸作業(yè)方法，而當清洗使用時，擱板翻開，斜面狀的擱板相應使承載盒傾斜，也就改變了硅片清洗時的傾斜角度，使承載的硅片保持傾斜狀態(tài)，避免硅片N面與承載盒接觸，有效提高了硅片的清洗質量。
【附圖說明】
[0012]圖1是常規(guī)承載盒結構示意圖。
[0013]圖2是本實用新型承載盒的一種結構示意圖。
[0014]圖3是圖1結構中的擱板合攏時示意圖。
[0015]圖4是圖1結構中的擱板翻開時示意圖。
[0016]圖中1.盒體，2.擱板，3.細縫，4.合頁。
【具體實施方式】
[0017]下面通過實施例，并結合附圖，對本實用新型的技術方案作進一步具體的說明。
[0018]實施例:本實施例的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，用于P型硅基電池片的承載和清洗作業(yè)，如圖2所示，承載盒包括盒體I，在盒體底面設計有兩件活動式擱板2，擱板材料為P型襯底硅片，如圖3和圖4所示，擱板呈梯形狀，其斜邊角度為15°，擱板與盒體底面合頁4連接，合頁一端與盒體底面固接，合頁另一端與梯形狀的擱板斜邊固接，在盒體側面設計有多條細縫3，有利于清洗液的循環(huán)流入。
[0019]當承載盒底部的擱板合攏時，承載盒底部平整，與常規(guī)承載盒通用且無需改變生產線上的硅片傳輸作業(yè)方法。
[0020]當用于清洗時，翻開擱板并使擱板垂直于盒體底面，此時，斜面狀的擱板使承載盒傾斜15°，相應使承載盒內裝載的硅片也傾斜15°，將承載盒投入清洗槽內進行清洗，清洗液循環(huán)并從細縫內流入，對硅片進行清洗，由于硅片傾斜并與承載盒點接觸，避免了硅片N面與承載盒的面接觸，有效增強N面邊緣的清洗效果。
[0021 ]在本實用新型的描述中，技術術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“縱”、“橫”、“內”、“外”等表示方向或位置關系是基于附圖所示的方向或位置關系，僅是為了便于描述和理解本實用新型的技術方案，以上說明并非對本實用新型作了限制，本實用新型也不僅限于上述說明的舉例，本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的變化、改型、增添或替換，都應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種清洗時可旋轉方向的承載盒，用于P型硅基電池片的承載和清洗作業(yè)，其特征在于:所述承載盒包括盒體(I)，所述盒體底面設有活動式擱板(2)，所述擱板呈斜面狀且豎直時垂直于盒體底面，盒體側面設有多條細縫(3)。2.根據(jù)權利要求1所述的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，其特征在于:所述擱板(2)呈梯形狀，擱板與盒體底面合頁(4)連接，所述合頁一端與盒體底面固接，合頁另一端與梯形狀的擱板斜邊固接。3.根據(jù)權利要求2所述的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，其特征在于:所述擱板(2)的梯形狀斜邊角度α為10?15°。4.根據(jù)權利要求1所述的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，其特征在于:所述擱板(2)上還設有用于擱板與盒體底面保持垂直的固定機構。5.根據(jù)權利要求1所述的一種清洗時可旋轉方向的承載盒，其特征在于:所述擱板(2)材料為P型襯底硅片。
【專利摘要】本實用新型公開了一種清洗時可旋轉方向的承載盒，包括盒體，盒體底面設有活動式擱板，擱板呈梯形狀且豎直時垂直于盒體底面，盒體側面設有多條細縫，本實用新型在承載盒底部設置活動式斜面狀擱板，擱板可翻起和合攏，在常規(guī)使用時，擱板合攏與盒體底面貼合，無需改變生產線的傳輸作業(yè)方法，而當清洗使用時，擱板翻開，斜面狀的擱板相應使承載盒傾斜，也就改變了硅片清洗時的傾斜角度，避免了硅片N面與承載盒的接觸，有效提高了硅片的清洗質量。
【IPC分類】H01L21/673
【公開號】CN205231027
【申請?zhí)枴緾N201521039144
【發(fā)明人】張華興, 蔣冬
【申請人】杭州大和熱磁電子有限公司
【公開日】2016年5月11日
【申請日】2015年12月14日