一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括：用于測量爐管的溫度的熱電偶；用于將所述溫度與設(shè)定溫度比較，如果超過了所述設(shè)定溫度，則輸出超溫信號的測溫控制電路；用于接收所述測溫控制電路輸出的超溫信號并開始計時，計時結(jié)束后發(fā)出控制信號的計時電路；及用于根據(jù)所述控制信號控制溫度主開關(guān)跳閘保護的跳閘控制電路；其中所述熱電偶、所述測溫控制電路、所述計時電路及所述跳閘控制電路電連接。本實用新型的方案，減少產(chǎn)品報廢率，提升設(shè)備的過程監(jiān)控，且保證監(jiān)控電路超溫控制的有效性及穩(wěn)定性。
【專利說明】一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備的改造領(lǐng)域，特別涉及一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路的制造中，Bruce系列的臥式爐管廣泛應(yīng)用于當(dāng)前國內(nèi)6 "集成電路生產(chǎn)線。爐管是一種在高溫環(huán)境下對硅晶片進行擴散、氧化或低壓化學(xué)氣相沉積的設(shè)備，生產(chǎn)過程會根據(jù)工藝要求對爐管內(nèi)溫度進行控制，通常溫度范圍控制在400?1200攝氏度，如溫度控制出現(xiàn)異常，溫度明顯高出工藝需求溫度，在爐管溫度升到設(shè)備耐溫極限之前，應(yīng)有獨立監(jiān)控電路控制加熱開關(guān)及時斷電以保護設(shè)備和附近人員的安全；自動斷電跳閘功能雖然能及時保護設(shè)備安全但會對爐管內(nèi)產(chǎn)品造成較大影響，嚴(yán)重的會引起產(chǎn)品報廢，故還要排除機臺誤報警造成的誤跳閘情況，對機臺進行有效的超溫監(jiān)控。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，對爐管內(nèi)產(chǎn)品質(zhì)量減小了影響，提升了設(shè)備的過程監(jiān)控功能。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型提供了一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，包括:
[0005]用于測量爐管的溫度的熱電偶；
[0006]用于將所述溫度與設(shè)定溫度比較，如果超過了所述設(shè)定溫度，則輸出超溫信號的測溫控制電路；
[0007]用于接收所述測溫控制電路輸出的超溫信號并開始計時，計時結(jié)束后發(fā)出控制信號的計時電路 '及
[0008]用于根據(jù)所述控制信號控制溫度主開關(guān)跳閘保護的跳閘控制電路；
[0009]其中所述熱電偶、所述測溫控制電路、所述計時電路及所述跳閘控制電路電連接。
[0010]其中，所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，還包括:
[0011]用于接收所述測溫控制電路輸出的超溫信號，并輸出報警信號的報警鎖定電路；
[0012]用于根據(jù)所述報警信號，并發(fā)出報警的報警電路。
[0013]其中，所述報警鎖定電路與所述報警電路電連接。
[0014]其中，所述報警鎖定電路具有用于停止報警信號輸出的復(fù)位鍵。
[0015]其中，所述熱電偶電路包括:第一熱電偶電路、第二熱電偶電路、第三熱電偶電路；
[0016]其中，所述第一熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管口 ；
[0017]所述第二熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管中；
[0018]所述第三熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管尾。
[0019]其中，所述測溫控制電路包括:第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路，所述第一測溫控制電路與所述第一熱電偶電路連接，所述第二測溫控制電路與所述第二熱電偶電路連接，所述第三測溫控制電路與所述第三熱電偶電路連接。
[0020]其中，所述計時電路分別與所述第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，所述計時電路接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號開始計時，計時完成后輸出控制信號。
[0021]其中，所述報警鎖定電路分別與所述第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，所述報警鎖定電路接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號時，輸出報警信號。
[0022]本實用新型的上述方案的有益效果如下:
[0023]本實用新型的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，能夠排除誤信號造成的錯誤跳閘，減少產(chǎn)品報廢率，提升設(shè)備的過程監(jiān)控，且保證監(jiān)控電路超溫控制的有效性及穩(wěn)定性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖1表示本實用新型實施例爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)的電路硬件結(jié)構(gòu)圖；
[0025]圖2表示本實用新型實施例爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)的電路信號走向圖。
[0026]附圖標(biāo)記說明:
[0027]1-熱電偶；2_測溫控制電路；3_報警鎖定電路；4_報警電路；5_計時電路；6_跳閘控制電路。
【具體實施方式】
[0028]為使本實用新型要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施例進行詳細(xì)描述。
[0029]本實用新型的實施例針對BRUCE爐管生產(chǎn)過程所面臨的問題，提供了一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)。
[0030]如圖1所示，本實用新型實施例提供了一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，包括:
[0031]用于測量爐管的溫度的熱電偶I ;
[0032]用于將溫度與設(shè)定溫度比較，如果超過了設(shè)定溫度，則輸出超溫信號的測溫控制電路2 ;
[0033]用于接收測溫控制電路2輸出的超溫信號并開始計時，計時結(jié)束后發(fā)出控制信號的計時電路5 ;
[0034]用于根據(jù)控制信號控制溫度主開關(guān)跳閘保護的跳閘控制電路6 ；
[0035]其中熱電偶1、測溫控制電路2、計時電路5及跳閘控制電路6電連接。
[0036]用于接收測溫控制電路2輸出的超溫信號，并輸出報警信號的報警鎖定電路3 ；
[0037]用于接收報警鎖定電路3輸出的報警信號，并發(fā)出報警的報警電路4，具體可以是聲光報警電路。
[0038]其中，報警鎖定電路3與報警電路4電連接。
[0039]其中，報警鎖定電路3具有用于停止報警信號輸出的復(fù)位鍵。
[0040]其中，熱電偶I電路包括:第一熱電偶電路、第二熱電偶電路、第三熱電偶電路；
[0041]其中，第一熱電偶電路設(shè)置于爐管管口，測量爐管管口的溫度；
[0042]第二熱電偶電路設(shè)置于爐管管中，測量爐管管中的溫度；[0043]第三熱電偶電路設(shè)置于爐管管尾，測量爐管管尾的溫度。
[0044]其中，測溫控制電路2包括:第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路，第一測溫控制電路與第一熱電偶電路連接，第二測溫控制電路與第二熱電偶電路連接，第三測溫控制電路與第三熱電偶電路連接。
[0045]其中，計時電路5分別與第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，計時電路5接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號開始計時，計時完成后輸出控制信號。
[0046]其中，報警鎖定電路3分別與第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，報警鎖定電路3接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號時，輸出報警信號。
[0047]本實施例中，該監(jiān)控電路由六個主要部分組成:用于測溫用的熱電偶1，分別測量爐管口、中、尾三個區(qū)域的溫度；測溫控制電路2，用于接收熱電偶I信號并轉(zhuǎn)換成對應(yīng)溫度值與設(shè)定溫度進行比較，如超過設(shè)定溫度，則輸出信號給報警鎖定電路3和計時電路5 ;報警鎖定電路3接收到任何一路測溫控制電路2的超溫信號后會輸出穩(wěn)定的報警信號給報警電路4，期間即使測溫控制電路2的超溫信號中斷也不在影響報警鎖定電路3的報警信號輸出，直到報警鎖定電路3內(nèi)部的復(fù)位鍵按下才能清除報警；計時電路5接收到任何一路測溫控制電路2的超溫信號就開始計時，期間如超溫信號中斷，則計時清零并等待下次超溫信號到才重新計時，計時完成后輸出信號到跳閘控制電路6;跳閘控制電路6收到信號后控制溫度主開關(guān)跳電保護。
[0048]如圖2所示，三路熱電偶分別測量爐管口、中、尾三部分溫度，只要有其中一路溫度超過設(shè)定溫度就發(fā)出超溫信號，監(jiān)控電路檢測到超溫信號就會鎖定此信號并發(fā)出報警，此時即使超溫信號消失(誤報警情況)，報警也不會停止，直到人為復(fù)位；監(jiān)控電路發(fā)出報警同時開始計時(計時時間根據(jù)機臺情況可從零到數(shù)分鐘內(nèi)設(shè)定)，計時時間到則控制加熱主開關(guān)跳閘，如果計時期間超溫信號消失(誤報警情況)，則計時器清零，等待下次超溫信號觸發(fā)重新計時，有效排除誤信號造成的錯誤跳閘動作并及時提醒維修人員處理誤信號產(chǎn)生的原因，如熱電偶接觸不良或斷裂等情況，保證監(jiān)控電路超溫控制的有效性及穩(wěn)定性。
[0049]上述實施例的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，能夠排除誤信號造成的錯誤跳閘，減少產(chǎn)品報廢率，提升設(shè)備的過程監(jiān)控，且保證監(jiān)控電路超溫控制的有效性及穩(wěn)定性。
[0050]以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，包括: 用于測量爐管的溫度的熱電偶； 用于將所述溫度與設(shè)定溫度比較，如果超過了所述設(shè)定溫度，則輸出超溫信號的測溫控制電路； 用于接收所述測溫控制電路輸出的超溫信號并開始計時，計時結(jié)束后發(fā)出控制信號的計時電路；及 用于根據(jù)所述控制信號控制溫度主開關(guān)跳閘保護的跳閘控制電路； 其中所述熱電偶、所述測溫控制電路、所述計時電路及所述跳閘控制電路電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，還包括: 用于接收所述測溫控制電路輸出的超溫信號，并輸出報警信號的報警鎖定電路； 用于根據(jù)所述報警信號，并發(fā)出報警的報警電路； 其中，所述報警鎖定電路與所述報警電路電連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，所述報警鎖定電路具有用于停止報警信號輸出的復(fù)位鍵。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，所述熱電偶電路包括:第一熱電偶電路、第二熱電偶電路、第三熱電偶電路； 其中，所述第一熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管口 ； 所述第二熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管中； 所述第三熱電偶電路設(shè)置于所述爐管管尾。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，所述測溫控制電路包括:第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路，所述第一測溫控制電路與所述第一熱電偶電路連接，所述第二測溫控制電路與所述第二熱電偶電路連接，所述第三測溫控制電路與所述第三熱電偶電路連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，所述計時電路分別與所述第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，所述計時電路接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號開始計時，計時完成后輸出控制信號。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐管超溫報警延時跳閘系統(tǒng)，其特征在于，所述報警鎖定電路分別與所述第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路連接，所述報警鎖定電路接收到第一測溫控制電路、第二測溫控制電路、第三測溫控制電路任一路的超溫信號時，輸出報警信號。
【文檔編號】H02H5/04GK203774754SQ201420167506
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月8日
【發(fā)明者】陳春河, 林偉旺, 葸天俊 申請人:北大方正集團有限公司, 深圳方正微電子有限公司