一種電源開關(guān)接口電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明是有關(guān)電源開關(guān)控制，且特別是有關(guān)于一種電源開關(guān)接口電路。
【背景技術(shù)】
[0002]日本東京電子公司是專業(yè)的半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備供應(yīng)商之一，其生產(chǎn)的TE5000等離子體刻蝕機(jī)，采用等離子體技術(shù)進(jìn)行半導(dǎo)體薄膜材料刻蝕，將設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)移到產(chǎn)品上，從而實(shí)現(xiàn)特定的立體半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)。而機(jī)臺(tái)上的電磁閥、機(jī)械手臂馬達(dá)、直流冷卻風(fēng)扇、控制電路板，大多數(shù)使用直流24V電源供電。如圖1所示，此電源必須具備一專用的接口 11，與TE5000等離子體刻蝕機(jī)的接口 12完全一致，且與接口 12連接，所述接口 12輸出電源控制信號(hào)A和5V電壓，所述電源控制信號(hào)A是用來控制直流24V電源的開通或者關(guān)斷。但這種具有專用接口電路11的直流電源為上世紀(jì)80年代生產(chǎn)，與現(xiàn)在的直流電源相比，技術(shù)比較落后，故障率高，體積龐大，進(jìn)口價(jià)位高。
[0003]迫切需要設(shè)計(jì)一種開關(guān)接口電路與所述等離子體刻蝕機(jī)機(jī)臺(tái)的接口匹配，且能夠與其他電源裝置連接，以此能夠使用更優(yōu)質(zhì)的電源裝置為所述等離子體刻蝕機(jī)機(jī)臺(tái)供電。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明正是思及于此，提供一種電源開關(guān)接口電路，能夠接收控制信號(hào)輸入，且與任意電源裝置匹配，設(shè)計(jì)簡單。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案，一種電源開關(guān)接口電路，包括，主功率開關(guān)和信號(hào)接收電路，所述信號(hào)接收電路具有輸入端和輸出端，所述信號(hào)接收電路的輸入端接收輸入信號(hào)，所述信號(hào)接收電路對(duì)所述輸入信號(hào)進(jìn)行處理并輸出適用于控制所述主功率開關(guān)的控制信號(hào)，所述信號(hào)接收電路的輸出端與所述主功率開關(guān)的控制端連接，為所述主功率開關(guān)提供控制信號(hào)。
[0006]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，上述信號(hào)接收電路包含一分壓電路、一輔助電源、一輔助開關(guān)，所述分壓電路接收所述輸入信號(hào)，對(duì)所述輸入信號(hào)進(jìn)行分壓處理后輸出至所述輔助開關(guān)控制端，所述輔助開關(guān)連接所述輔助電源與所述信號(hào)接收電路的輸出端，所述輔助開關(guān)導(dǎo)通時(shí)，所述輔助電源為所述信號(hào)接收電路的輸出端提供控制信號(hào)。
[0007]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，上述分壓電路為一電阻分壓電路。
[0008]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，上述輸入信號(hào)為高電平時(shí)所述輔助開關(guān)導(dǎo)通，所述輔助電源為所述主功率開關(guān)提供控制信號(hào)，并控制所述主功率開關(guān)導(dǎo)通。
[0009]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，上述一種電源開關(guān)接口電路，應(yīng)用于所述電源，所述電源包括功率輸入端和功率輸出端，所述主功率開關(guān)與所述電源的功率輸入端串聯(lián)，所述主功率開關(guān)關(guān)斷時(shí)，所述電源關(guān)斷，所述主功率開關(guān)開通時(shí)，所述電源接收主功率輸入。
[0010]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，所述主功率開關(guān)與所述電源的功率輸出端串聯(lián)，所述主功率開關(guān)關(guān)斷時(shí)，所述電源停止為輸出端供電，所述主功率開關(guān)導(dǎo)通時(shí)，所述電源為輸出端供電。
[0011]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，所述輸入信號(hào)為TE5000等離子體刻蝕機(jī)的電源控制信號(hào)。
[0012]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，所述電源為24V直流電源。
[0013]有益效果，本發(fā)明設(shè)計(jì)的接口電路，簡單易實(shí)現(xiàn)，可以與任意的電源匹配，通過使用該接口電路，電源能夠接收外部的控制信號(hào)開通或者關(guān)斷，特別是能夠接收TE5000等離子體刻蝕機(jī)的電源控制信號(hào)。
[0014]為讓發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附圖式作詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0015]圖1為已知技術(shù)中一種電源裝置圖。
[0016]圖2為本發(fā)明的電源開關(guān)接口電路一具體實(shí)施例的示意圖。
[0017]圖3為本發(fā)明的信號(hào)接收電路的具體實(shí)施例。
[0018]圖4為本發(fā)明的電路與電源連接的一種具體實(shí)施例。
[0019]圖5為本發(fā)明又一具體實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0021]本發(fā)明實(shí)施例提供一種電源開關(guān)接口電路，具有簡單易實(shí)現(xiàn)的優(yōu)點(diǎn)，且能夠降低電路設(shè)計(jì)成本，以下特舉實(shí)施例做為本發(fā)明確實(shí)能夠據(jù)以實(shí)施的范例。另外，凡可能之處，在圖式及實(shí)施方式中使用相同標(biāo)號(hào)的組件/構(gòu)件/步驟，系代表相同或類似部件。
[0022]圖2為本發(fā)明一具體實(shí)施例的電路圖，一種電源開關(guān)接口電路21，包括，主功率開關(guān)S和信號(hào)接收電路210，所述信號(hào)接收電路具有輸入端IN和輸出端0UT，所述信號(hào)接收電路210的輸入端IN接收輸入信號(hào)，所述信號(hào)接收電路210對(duì)所述輸入信號(hào)進(jìn)行處理并輸出適用于控制所述主功率開關(guān)S的控制信號(hào)，所述信號(hào)接收電路210的輸出端OUT與所述主功率開關(guān)S的控制端連接，為所述主功率開關(guān)S提供控制信號(hào)。
[0023]本發(fā)明的一具體實(shí)施例中，如圖3所示，所述信號(hào)接收電路310包含一分壓電路3101、一輔助電源VCC、一輔助開關(guān)Q，所述分壓電路3101接收所述輸入信號(hào)，對(duì)所述輸入信號(hào)進(jìn)行分壓處理后輸出至所述輔助開關(guān)Q的控制端，所述輔助開關(guān)Q連接所述輔助電源VCC和所述主功率開關(guān)S的控制端，為所述主功率開關(guān)S提供控制信號(hào)。
[0024]所述分壓電路3101為電阻分壓電路，包含電阻Rl和R2，所述電阻Rl和R2串聯(lián)，中間節(jié)點(diǎn)為輸出端，與所述輔助開關(guān)Q的控制端連接，為其提供合適的驅(qū)動(dòng)電壓，但是本發(fā)明并不局限于此，只要能夠?qū)崿F(xiàn)分壓功能的電路均可應(yīng)用于本發(fā)明。
[0025]所述信號(hào)接收電路310還包括一限流電阻R3，所述輔助電源VCC、輔助開關(guān)Q和所述限流電阻R3串聯(lián)，構(gòu)成串聯(lián)支路，所述輔助開關(guān)Q導(dǎo)通時(shí)，所述串聯(lián)支路為所述主功率開關(guān)S提供控制信號(hào)，并控制所述主功率開關(guān)S開通或者關(guān)斷。
[0026]圖4為本發(fā)明電路與一電源連接的具體實(shí)施例，本實(shí)施例中，所述電源具有功率輸入端43和功率輸出端44，所述