解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的支撐板的俯視圖；
[0025]圖14所示為本實用新型提出的一種球頭解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的支撐板的剖視圖；
[0026]圖15所示為本實用新型提出的一種貼片式大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振組A的接線示意圖；
[0027]圖16所示為本實用新型提出的一種貼片式大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振組B的接線示意圖；
[0028]圖17所示為本實用新型提出的一種大行程高精度微納驅(qū)動裝置激勵電信號的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖18所示為本實用新型提出的一種貼片式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體球頭解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0030]圖19所示為本實用新型提出的一種懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的固定外架的軸向剖視圖；
[0031]圖20所示為本實用新型提出的一種懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的固定外架的橫向剖視圖；
[0032]圖21所示為本實用新型提出的一種貼片式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的激振體的俯視圖；
[0033]圖22所示為本實用新型提出的一種貼片式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的激振體的剖視圖；
[0034]圖23所示為本實用新型提出的一種夾心式自由梁結(jié)構(gòu)激振體球頭解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0035]圖24所示為本實用新型提出的一種夾心式自由梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的激振體的剖視圖；
[0036]圖25所示為本實用新型提出的一種夾心式自由梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振體中后匹配塊的剖視圖；
[0037]圖26所示為本實用新型提出的一種夾心式自由梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振體中前匹配塊的剖視圖；
[0038]圖27所示為本實用新型提出的一種夾心式大行程高精度微納驅(qū)動裝置的絕緣套筒的剖視圖；
[0039]圖28所示為本實用新型提出的一種利用毛多區(qū)激振模式的夾心式大行程高精度微納驅(qū)動裝置的壓電片通電方式示意圖；
[0040]圖29所示為本實用新型提出的一種夾心式大行程高精度微納驅(qū)動裝置中毛多區(qū)激振模式壓電片激勵分區(qū)示意圖；
[0041]圖30所示為本實用新型提出的一種夾心式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體球頭解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0042]圖31所示為本實用新型提出的一種夾心式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振體的剖視圖；
[0043]圖32所示為本實用新型提出的一種夾心式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振體中后匹配塊的剖視圖；
[0044]圖33所示為本實用新型提出的一種夾心式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置激振體中前匹配塊的剖視圖；
[0045]圖34所示為本實用新型提出的一種利用毛與4耦合激振模式的夾心式大行程高精度微納驅(qū)動裝置的壓電片通電方式示意圖；
[0046]圖35所示為本實用新型提出的一種貼片式自由梁結(jié)構(gòu)激振體軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0047]圖36所示為本實用新型提出的一種大行程高精度微納驅(qū)動裝置的軸承解耦組件的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0048]圖37所示為本實用新型提出的一種軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置傳動體的主視圖；
[0049]圖38所示為本實用新型提出的一種軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置傳動體的俯視圖；
[0050]圖39所示為本實用新型提出的一種軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置支撐板的主視圖；
[0051]圖40所示為本實用新型提出的一種軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置支撐板的剖視圖；
[0052]圖41所示為本實用新型提出的一種貼片式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0053]圖42所示為本實用新型提出的一種夾心式自由梁結(jié)構(gòu)激振體軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖；
[0054]圖43所示為本實用新型提出的一種夾心式懸臂梁結(jié)構(gòu)激振體軸承解耦組件實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的剖視圖。
【具體實施方式】
[0055]【具體實施方式】一:結(jié)合圖1~圖17說明本實施方式。本實施方式提供了一種貼片式自由梁結(jié)構(gòu)激振體球頭解耦實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置的具體實施方案。所述貼片式自由梁結(jié)構(gòu)激振體球頭解耦實現(xiàn)方式的大行程高精度微納驅(qū)動裝置主要由固定外架1、第一驅(qū)動模組100、第二驅(qū)動模組200、運動解耦組件6、承載板7、連接螺桿10、導(dǎo)向套5和緊固螺栓8組成。
[0056]所述第一驅(qū)動模組100由激振體2、壓電片3和傳動體4組成；所述激振體2為兩側(cè)端部設(shè)置有內(nèi)螺紋孔2-3的自由梁結(jié)構(gòu)彈性體，其外圓周表面上沿圓周方向均勻設(shè)置有4η個外平面2-2，用于通過愛牢達環(huán)氧樹脂膠實現(xiàn)壓電片3的緊固連接，其中η為大于等于I的整數(shù)；所述激振體2外平面2-2上沿圓周方向均勻設(shè)置有兩組2m個盲孔2_1結(jié)構(gòu)，其用于與緊固螺栓8配合連接實現(xiàn)第一驅(qū)動模組100的固定安裝，其中m為大于等于I的整數(shù)；所述兩組盲孔2-1間軸向分布距離應(yīng)大于壓電片3最大長度方向尺寸；所述激振體2外平面2-2上兩組盲孔2-1的軸向分布位置相同。所述壓電片3為^激振模式的矩形壓電陶瓷片，4n個壓電片3沿圓周方向均勻布置于激振體2的外平面2-2上，且均沿厚度方向極化；所述布置于激振體2外平面2-2上的壓電片3的形變方向與激振體2中心軸線均成平行布置關(guān)系。所述傳動體4為設(shè)有外螺紋4-1的圓柱體結(jié)構(gòu)，其用于與激振體2兩側(cè)端部內(nèi)螺紋孔2-3旋合連接實現(xiàn)本實用新型運動與動力的傳遞；所述傳動體4 一側(cè)端部表面沿圓周方向均勻設(shè)置有t個相同的球頭4-2結(jié)構(gòu)，其中t為大于等于3的整數(shù)。
[0057]所述第二驅(qū)動模組200由壓電疊堆9和支撐板11組成；所述支撐板11為盤狀結(jié)構(gòu)，其下端部表面設(shè)置有圓環(huán)狀弧形滑道11-4，所述圓環(huán)狀弧形滑道11-4與傳動體4 一側(cè)端部的球頭4-2結(jié)構(gòu)一起構(gòu)成球頭運動解耦組件6，其用于實現(xiàn)傳動體4旋轉(zhuǎn)-直線位移運動輸出與承載板7直線位移運動輸出的運動解耦；所述支撐板11上端部表面沿圓周方向均勻設(shè)置有k個盲孔11-1結(jié)構(gòu)，其用于實現(xiàn)k個壓電疊堆9的緊固安裝與布置，其中k為大于I的整數(shù)；所述支撐板11設(shè)置有一通孔11-2結(jié)構(gòu)，其用于實現(xiàn)壓電疊堆9通電導(dǎo)線的引出；所述支撐板11上表面中心位置設(shè)有內(nèi)螺紋孔11-3結(jié)構(gòu)，其用于與連接螺桿10旋合連接實現(xiàn)壓電疊堆9的加壓預(yù)緊與承載板7直線位移運動的傳遞。所述壓電疊堆9可選用哈爾濱芯明天科技有限公司型號為VS12系列帶有轉(zhuǎn)接頭結(jié)構(gòu)的機械式封裝壓電疊堆驅(qū)動器。
[0058]所述固定外架I為一端部設(shè)置有法蘭蓋1-1的中空圓柱體結(jié)構(gòu)；所述法蘭蓋1-1側(cè)端面沿圓周方向均勻設(shè)置有P個用于固定安裝的通孔1-1-1，其中P為大于I的整數(shù)；所述固定外架I自由端部設(shè)置有內(nèi)階梯孔1-3，其用于實現(xiàn)導(dǎo)向套5的緊固安裝；所述固定外架I中空圓柱體外圓周表面沿圓周方向均勻設(shè)置有兩組2m個沉頭通孔1-4結(jié)構(gòu)，其用于通過激振體2上的盲孔2-1與緊固螺栓8配合實現(xiàn)第一驅(qū)動模組100的固定安裝；所述兩組沉頭通孔1-4的分布位置與激振體2上兩組盲孔2-1的分布位置相同；所述固定外架I靠近懸臂端部設(shè)置有通孔1-2，其用于實現(xiàn)通電導(dǎo)線的引出。
[0059]所述承載板7為盤狀結(jié)構(gòu)，其上端部表面沿圓周方向均勻設(shè)置有h個內(nèi)螺紋孔7-1，用于實現(xiàn)外部負載的直線位移運動輸出，其中h為大于等于I的整數(shù)；所述承載板7上端部表面中心位置設(shè)有內(nèi)六角孔7-3結(jié)構(gòu)，其用于通過內(nèi)六角扳手實現(xiàn)壓電疊堆9的加壓預(yù)緊；所述承載板7下端部表面中心位置設(shè)有內(nèi)螺紋孔7-2，其用于與連接螺桿10旋合連接實現(xiàn)承載板7直線位移運動的輸出。
[0060]所述導(dǎo)向套5為薄壁圓筒狀聚四氟乙烯導(dǎo)向套，其用于實現(xiàn)承載板7與支撐板11的支撐與位移運動輸出的導(dǎo)向。
[0061]所述本實施方式貼片式自由梁結(jié)構(gòu)激振體的大行程高精度微納驅(qū)動裝置定位方法的具體實施方案為利用第一驅(qū)動模組100實現(xiàn)大行程微米定位和利用第二驅(qū)動模組200實現(xiàn)納米定位的復(fù)合定位方法:
[0062]所述利用第一驅(qū)動模組100實現(xiàn)大行程微米定位方法的具體實施方案為，將均布于激振體2外平面2-2上的4n片壓電片3中相互間隔布置的2n片壓電片3構(gòu)成激振組A，其余相互間隔布置的2n片壓電片3構(gòu)成激振組B ;所述激振組A中相互間隔布置的η片壓電片3構(gòu)成激振組Al，所述激振組A中其余相互間隔布置的η片壓電片3構(gòu)成激振組Α2，所述激振組Al與所述激振組Α2的驅(qū)動相位差為180度；所述激振組B中相互間隔布置的η片壓電片3構(gòu)成激振組BI，所述激振組B中其余相互間隔布置的η片壓電片3構(gòu)成激振組Β2，所述激振組BI與所述激振組Β2的驅(qū)動相位差為180度；所述激振組A與激振組B通以驅(qū)動相位差為90度或270度的交流激勵電信號；所述交流激勵電信號可采用幅值為哈1周期為TW正弦、方波或鋸齒波等周期電信號，經(jīng)通電激勵時間A=iT后，可分別實現(xiàn)第一驅(qū)動模組100正反兩個方