專利名稱：一種消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本項(xiàng)發(fā)明涉及電器元件加工領(lǐng)域，具體涉及種消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝方法。
背景技術(shù)：
目前，石英晶體諧振器的生產(chǎn)制造過程中不可避免的在材料內(nèi)部產(chǎn)生大小不同的應(yīng)力，特別在產(chǎn)品封焊后表現(xiàn)明顯，頻率、電阻等電參數(shù)發(fā)生偏移且散差大，產(chǎn)生許多不能滿足客戶需求的產(chǎn)品，并且有部分產(chǎn)品受應(yīng)力的影響存在質(zhì)量隱患，通過檢測無法篩選干凈，到客戶使用時才表現(xiàn)出來。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是針對目前石英晶體諧振器的生產(chǎn)制造過程中不可避免的在材料內(nèi)部產(chǎn)生大小不同的應(yīng)力，特別在產(chǎn)品封焊后表現(xiàn)明顯，頻率、電阻等電參數(shù)發(fā)生偏移且散差大，產(chǎn)生許多不能滿足客戶需求的產(chǎn)品，并且有部分產(chǎn)品受應(yīng)力的影響存在質(zhì)量隱患， 通過檢測無法篩選干凈，到客戶使用時才表現(xiàn)出來之現(xiàn)狀，而提供一種消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝。本發(fā)明的退火工藝步驟為A、加熱將封焊后石英晶體諧振器放入真空退火爐中，真空-5. 5X l(T3Pa—5. 5 X l(T3Pa，緩慢加溫至 100-250°C后，保持 1. 5-2. 5 小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的石英晶體諧振器降溫至70-150攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)忉尫耪婵罩脸海缓蠼禍刂脸?。石英晶體諧振器為49S型石英晶體諧振器，其退火工藝步驟為A、加熱將封焊后的49S型石英晶體諧振器放入真空退火爐中，緩慢加溫至150攝氏度后，待整個真空退火爐內(nèi)所有部件均達(dá)到150攝氏度后，再升溫至195攝氏度，保持2 小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的49S型石英晶體諧振器降溫至100攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)忉尫耪婵?，然后降溫至常溫。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本工藝可消除產(chǎn)品在加工制造過程中產(chǎn)生的應(yīng)力，使參數(shù)偏移的產(chǎn)品恢復(fù)到要求范圍內(nèi)。對消除質(zhì)量隱患，提高產(chǎn)品性能穩(wěn)定度有明顯效果。
具體實(shí)施例方式以49S型石英晶體諧振器為例，其退火工藝步驟為A、加熱將封焊后的49S型石英晶體諧振器放入真空退火爐中，真空-5. 5X10_3Pa--5. 5X10_3Pa，緩慢加溫至150攝氏度后，待整個真空退火爐內(nèi)所有部件均達(dá)到150攝氏度后，再升溫至195攝氏度，保持2小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的49S型石英晶體諧振器降溫至100攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)忉尫耪婵眨缓蠼禍刂脸亍?不同型號的石英晶體諧振器其升溫值不同。
權(quán)利要求
1.一種消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝，其特征在于其退火工藝步驟為A、加熱將封焊后石英晶體諧振器放入真空退火爐中，真空-5. 5X l(T3Pa—5. 5 X l(T3Pa，緩慢加溫至 100-250°C后，保持 1. 5-2. 5 小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的石英晶體諧振器降溫至70-150攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)忉尫耪婵罩脸?，然后降溫至常溫?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求所述的消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝方法，其特征在于石英晶體諧振器為49S型石英晶體諧振器，其退火工藝步驟為A、加熱將封焊后的49S型石英晶體諧振器放入真空退火爐中，緩慢加溫至150攝氏度后，待整個真空退火爐內(nèi)所有部件均達(dá)到150攝氏度后，再升溫至195攝氏度，保持2小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的49S型石英晶體諧振器降溫至100攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)忉尫耪婵?，然后降溫至常溫?br> 全文摘要
一種消除封焊后石英晶體諧振器內(nèi)部應(yīng)力的退火工藝，其退火工藝步驟為A、加熱將封焊后石英晶體諧振器放入真空退火爐中，真空-5.5×10-3Pa--5.5×10-3Pa，緩慢加溫至100-250攝氏度后，保持1.5-2.5小時；B、降溫將上述經(jīng)加熱的石英晶體諧振器降溫至70-150攝氏度后，再向真空退火爐內(nèi)充入氮?dú)?，然后降溫至常溫。?yōu)點(diǎn)是本工藝可消除產(chǎn)品在加工制造過程中產(chǎn)生的應(yīng)力，使參數(shù)偏移的產(chǎn)品恢復(fù)到要求范圍內(nèi)。對消除質(zhì)量隱患，提高產(chǎn)品性能穩(wěn)定度有明顯效果。
文檔編號H03H3/02GK102355218SQ20111014652
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者張 杰 申請人:湖北東光電子股份有限公司