彈性波裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備第1彈性波元件(10)、第2彈性波元件(20)和第1基板(41)。第1彈性波元件(10)具有第1壓電基板(11)。第2彈性波元件(20)具有第2壓電基板(21)。第2壓電基板(21)被層疊于第1壓電基板(11)。第2壓電基板(21)的線膨脹系數(shù)比第1壓電基板(11)的線膨脹系數(shù)大。第1基板(41)與第2壓電基板(21)接合。第1基板(41)的線膨脹系數(shù)比第2壓電基板(21)的線膨脹系數(shù)小。
【專利說明】彈性波裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001〕 本發(fā)明涉及彈性波裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]一直以來例如利用了彈性表面波的彈性波裝置被廣泛地運(yùn)用于濾波器裝置等中。例如專利文獻(xiàn)1中記載有接合多個(gè)彈性波元件而被一體化的彈性波裝置。
[0003]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:了？特表2011-506106號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]接合多個(gè)彈性波元件而被一體化的彈性波裝置具有有時(shí)溫度循環(huán)耐性(1:61111)61-81:111-6 0^016 ^68181:1^11:7) 4氐白勺〔可?。?。
[0008]本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性的彈性波裝置。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]本發(fā)明所涉及的彈性波裝置具備第1彈性波元件、第2彈性波元件和第1基板。第1彈性波元件具有第1壓電基板。第2彈性波元件具有第2壓電基板。第2壓電基板被層疊于第1壓電基板。第2壓電基板的線膨脹系數(shù)比第1壓電基板的線膨脹系數(shù)大。第1基板與第2壓電基板相接合。第1基板的線膨脹系數(shù)比第2壓電基板的線膨脹系數(shù)小。
[0011]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的某特定的局面中，第1基板具有與第1壓電基板相同的組成。
[0012]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另一特定的局面中，彈性波裝置還具備第2基板。第2基板與第2壓電基板相接合。第1以及第2基板分別具有比第1壓電基板小的線膨脹系數(shù)。
[0013]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的其他特定的局面中，第1基板和第2基板具有相同的組成。
[0014]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的進(jìn)一步的其他特定的局面中，第1以及第2基板由藍(lán)寶石、硅或者玻璃構(gòu)成。
[0015]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的進(jìn)一步的另一特定的局面中，在第1壓電基板和第2壓電基板中，組成以及剪切角的至少一方不同。
[0016]在本發(fā)明所涉及的彈性波裝置的另外其他特定的局面中，第1彈性波元件還具有第1101電極。第1101電極被設(shè)置在第1壓電基板之上。第2彈性波元件還具有第210丁電極。第2101電極被設(shè)置在第2壓電基板之上。
[0017]發(fā)明效果
[0018]通過本發(fā)明，能夠提供一種具有優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性的彈性波裝置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為第1實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的略圖性剖視圖。
[0020]圖2為第2實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的略圖性剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0021]以下，對(duì)實(shí)施了本發(fā)明的優(yōu)選方式的一例進(jìn)行說明。但是，下述的實(shí)施方式僅是例示。本發(fā)明并不限定于下述的任何實(shí)施方式。
[0022]此外，在實(shí)施方式等中所參照的各附圖之中，具有實(shí)質(zhì)上相同的功能的部件采用相同的符號(hào)來參照。此外，在實(shí)施方式等中所參照的附圖是被示意性地記載的圖。附圖中所描繪的物體的尺寸的比率等有時(shí)與現(xiàn)實(shí)的物體的尺寸的比率等不同。在附圖相互間，也有物體的尺寸比率等不同的情況。具體的物體的尺寸比率等應(yīng)參照以下的說明來判斷。
[0023](第1實(shí)施方式)
[0024]圖1為第1實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的略圖性剖視圖。如圖1所示，彈性波裝置1具備第1彈性波元件10和第2彈性波元件20。第1彈性波元件10具有:第1壓電基板11、和被配置在第1壓電基板11的一個(gè)主面1匕上的第1101電極(他# 1^61-(1181^11:1-8118(111061- 616(^1*0(16)12。另一方面，第2彈性波元件20具有:第2壓電基板21、和被配置在第 2 壓電基板 21 的一個(gè)主面 21&上的第 2101'電極(86⑶ 11(11:1-8118(111061-616(^1*0(16)22。第2壓電基板21的主面213與第1壓電基板11的主面113相對(duì)置。在俯視時(shí)，按照第1以及第2壓電基板11、21的主面1匕、2匕重疊的方式，接合第1、第2壓電基板11、21。為了設(shè)置能振動(dòng)的空間，也可在第1以及第2壓電基板11、21的主面113、213上設(shè)置突起部或者溝槽部。第1以及第210丁電極12,22能夠由例如八1、八11、八邑、⑶、附、丁或包含這些金屬中的至少一種金屬的合金并采用濺射等公知工序來構(gòu)成。第1以及第2壓電基板11、21能由例如“他03或“1303的材料來構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，在第1壓電基板11和第2壓電基板21中組成以及剪切角的至少一方不同。第2壓電基板21的線膨脹系數(shù)比第1壓電基板11的線膨脹系數(shù)大。
[0025]彈性波裝置1為第1以及第2彈性波元件10、20之中的一方構(gòu)成發(fā)送濾波器而另一方構(gòu)成接收濾波器的雙工器。
[0026]另外，在本發(fā)明中，也可第1以及第2彈性波元件10、20均為發(fā)送濾波器或者接收濾波器。
[0027]第1彈性波元件10被層疊在第2彈性波元件20主面上。第2壓電基板21按照與第1壓電基板11對(duì)置的方式，被配置在第1壓電基板11的主面上。第1壓電基板11和第2壓電基板21通過接合層30相互隔開間隔地被接合。由此，設(shè)置了第1以及第210丁電極12、22能振動(dòng)的空間。接合層30能夠由例如丙烯酸系樹脂、氨基甲酸乙酯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、硅酮系樹脂、醋酸乙烯系樹脂、聚酰亞胺系樹脂等樹脂來構(gòu)成。
[0028]如上述，第2壓電基板21的線膨脹系數(shù)比第1壓電基板11的線膨脹系數(shù)大。因而，由于第1壓電基板11與第2壓電基板21的線膨脹系數(shù)的差異所產(chǎn)生的應(yīng)力有可能導(dǎo)致溫度循環(huán)耐性變低。在此，在彈性波裝置1中，在第2壓電基板21接合著線膨脹系數(shù)比第2壓電基板21小的第1基板41。作為線膨脹系數(shù)小的材料，能夠采用31、5102 (熔融石英)、八1203、513隊(duì)、或者八故等。因而，第1彈性波元件10與第2彈性波元件20的線膨脹系數(shù)之差變小。由此，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性。
[0029]進(jìn)而，在彈性波裝置1中，除了第1基板41之外，還設(shè)置有第2基板42。第2基板42與第1壓電基板11接合。第1以及第2基板41、42分別具有比第1壓電基板11小的線膨脹系數(shù)。因而，第1彈性波元件10與第2彈性波元件20的線膨脹系數(shù)之差進(jìn)一步變小，并且第1彈性波元件10的線膨脹系數(shù)與第2彈性波元件20的線膨脹系數(shù)均變小。由此，可實(shí)現(xiàn)更優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性。此外，為了提高溫度循環(huán)耐性，優(yōu)選第2壓電基板和第1基板的線膨脹系數(shù)之差與第1壓電基板和第2基板的線膨脹系數(shù)之差相等。由此，能夠減小溫度循環(huán)所引起的熱膨脹的變化的差。
[0030]從實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選第1以及第2基板41、42具有相同的組成。
[0031]第1以及第2基板41、42優(yōu)選由線膨脹系數(shù)小、且散熱性優(yōu)異的材料來構(gòu)成。第1以及第2基板41、42能由例如藍(lán)寶石、硅或者玻璃來構(gòu)成。
[0032]另外，第1基板41與第2壓電基板21的接合、以及第2基板42與第1壓電基板11的接合能夠通過例如陽(yáng)極接合、共晶接合、粘結(jié)劑接合、熔化接合、熱壓接接合等來進(jìn)行。
[0033]以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的其他例子進(jìn)行說明。在以下的說明中，采用相同的符號(hào)來參照具有與上述第1實(shí)施方式實(shí)質(zhì)上相同的功能的部件，并省略說明。
[0034](第2實(shí)施方式)
[0035]圖2為第2實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置的略圖性剖視圖。
[0036]在第1實(shí)施方式所涉及的彈性波裝置1中，對(duì)將第1基板41與第2壓電基板21接合，并且將第2基板42與第1壓電基板11接合的例子進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明并不限定于該結(jié)構(gòu)。
[0037]例如，如圖2所示的彈性波裝置2那樣，也可設(shè)置第1基板41，而不設(shè)置第2基板42。在這種情況下也同樣地能減小線膨脹系數(shù)的差，因此能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)異的溫度循環(huán)耐性。
[0038]另外，在這種情況下，第1基板41也可由藍(lán)寶石、硅或者玻璃來構(gòu)成，也可具有與第1壓電基板11相同的組成。
[0039]符號(hào)說明
[0040]1、2…彈性波裝置
[0041]10…第1彈性波元件
[0042]11…第1壓電基板
[0043]12…10了電極
[0044]20…第2彈性波元件
[0045]21…第2壓電基板
[0046]22…第210了電極
[0047]30…接合層
[0048]41…第1基板
[0049]42…第2基板
【權(quán)利要求】
1.一種彈性波裝置，具備: 第I彈性波元件，具有第I壓電基板； 第2彈性波元件，具有第2壓電基板，該第2壓電基板被層疊于上述第I壓電基板、且線膨脹系數(shù)比上述第I壓電基板大；和 第I基板，與上述第2壓電基板相接合、且線膨脹系數(shù)比上述第2壓電基板小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波裝置，其中， 上述第I基板具有與上述第I壓電基板相同的組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波裝置，其中， 上述彈性波裝置還具備:第2基板，與上述第2壓電基板相接合， 上述第I基板以及第2基板分別具有比上述第I壓電基板小的線膨脹系數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性波裝置，其中， 上述第I基板和上述第2基板具有相同的組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的彈性波裝置，其中， 上述第I基板以及第2基板由藍(lán)寶石、硅或者玻璃構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 在上述第I壓電基板和上述第2壓電基板中，組成以及剪切角的至少一方不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的彈性波裝置，其中， 上述第I彈性波元件還具有:第IIDT電極，被設(shè)置在上述第I壓電基板之上， 上述第2彈性波元件還具有:第2IDT電極，被設(shè)置在上述第2壓電基板之上。
【文檔編號(hào)】H03H9/25GK104321966SQ201380027452
【公開日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2013年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月29日
【發(fā)明者】菊知拓, 山崎央 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所