本實(shí)用新型涉及加熱技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到一種預(yù)加熱器。

背景技術(shù)：

目前，目前國內(nèi)外多晶硅生產(chǎn)中，大多采用改進(jìn)西門子法，改良西門子法利用氫還原三氯氫硅的方式生產(chǎn)多晶硅。三氯氫硅的還原是在超低碳的不銹鋼或鎳基合金制成的水冷爐壁還原爐內(nèi)進(jìn)行，通過氫將三氯氫硅還原成硅；國內(nèi)生產(chǎn)多晶硅還原爐啟動時硅芯擊穿大致分兩種：一種是用高電壓將還原爐內(nèi)硅芯擊穿；另一種是使用預(yù)加熱器對還原爐內(nèi)部加熱至400～500 攝氏度，使硅芯溫度升高，電阻急聚下降，再施加電壓擊穿。國內(nèi)還原爐預(yù)加熱器通常使用電加熱管電阻加熱方式，設(shè)備可靠，但是加熱效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種預(yù)加熱器，以解決現(xiàn)有預(yù)加熱器由于自身因素造成的還原爐清潔度低進(jìn)而影響產(chǎn)品品質(zhì)以及加熱效率不高的問題。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：提供一種預(yù)加熱器，包括石英絕緣罩以及設(shè)置在石英絕緣罩上的防爆接線盒；石英絕緣罩由若干石英絕緣管構(gòu)成，相鄰石英絕緣管之間通過石英絕緣法蘭連接，石英絕緣罩內(nèi)安裝有石英軸及圍繞在石英軸周圍呈圓周分布的若干高溫合金電阻絲，石英絕緣罩的底部設(shè)有錐形部，錐形部內(nèi)設(shè)有用于與高溫合金電阻絲相連并形成回路的接線頭，防爆接線盒一端通過高溫引線與外部的電源插頭相連，另一端與高溫合金電阻絲相連。

優(yōu)選的，防爆接線盒的頂部設(shè)有安裝臺，安裝臺的頂部設(shè)置有高溫吊環(huán)。

優(yōu)選的，石英絕緣罩的頂部設(shè)有石英法蘭，防爆接線盒通過螺釘固定在石英法蘭上。

優(yōu)選的，每個高溫合金電阻絲安裝于石英管或者金屬管內(nèi)。

優(yōu)選的，高溫合金電阻絲的表面涂覆有抗氧化層。

優(yōu)選的，石英絕緣罩的直徑為100~600mm，長度為3000~8000mm，發(fā)熱區(qū)域的長度為2000~7500mm。

優(yōu)選的，石英絕緣罩分別與錐形部和石英法蘭焊接，錐形部由石英材料構(gòu)成。

綜上所述，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型中接觸多晶硅部分為石英絕緣罩以及石英材料組成的錐形部，嚴(yán)格防止了微量金屬元素滲透到多晶硅產(chǎn)品中，保證電子級多晶硅的品質(zhì)，大大提高了預(yù)加熱器壽命和還原爐內(nèi)潔凈度。

2、高溫合金電阻絲光譜輻射吸收特性好，長期使用輻射性能不退變，電熱轉(zhuǎn)換效率高，比一般加熱元件更節(jié)能，并且高溫合金電阻絲的表面涂覆有抗氧化層，不但提高了加熱效率，而且解決了高溫合金電阻絲由于變形、掉渣對還原爐帶來污染的問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型預(yù)加熱器的示意圖；

其中，1、錐形部；2、石英軸；3、石英絕緣法蘭；4、高溫合金電阻絲；5、石英絕緣罩；6、石英法蘭；7、螺釘；8、防爆接線盒；9、安裝臺；10、高溫引線；11、高溫吊環(huán)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。

本實(shí)用新型的一個實(shí)施例中，如圖1所示，提供了一種預(yù)加熱器，包括石英絕緣罩5以及設(shè)置在石英絕緣罩5上的防爆接線盒8；石英絕緣罩5由若干石英絕緣管構(gòu)成，相鄰石英絕緣管之間通過石英絕緣法蘭3連接，當(dāng)有損壞時，只需更換一節(jié)石英絕緣管即可，無需更換整個石英絕緣罩5，既方便又節(jié)約成本，石英絕緣罩5內(nèi)安裝有石英軸2及圍繞在石英軸2周圍呈圓周分布的若干高溫合金電阻絲4，石英絕緣罩5的底部設(shè)有錐形部1，錐形部1內(nèi)設(shè)有用于與高溫合金電阻絲4相連并形成回路的接線頭，防爆接線盒8一端通過高溫引線10與外部的電源插頭相連，另一端與高溫合金電阻絲4相連。

本實(shí)用新型的優(yōu)化實(shí)施例，防爆接線盒8的頂部設(shè)有安裝臺9，安裝臺9的頂部設(shè)置有高溫吊環(huán)11；石英絕緣罩5的頂部設(shè)有石英法蘭6，防爆接線盒8通過螺釘7固定在石英法蘭6上；每個高溫合金電阻絲4安裝于石英管或者金屬管內(nèi)，高溫合金電阻絲4的表面涂覆有抗氧化層；石英絕緣罩5的直徑為100~600mm，長度為3000~8000mm，發(fā)熱區(qū)域的長度為2000~7500mm；石英絕緣罩5分別與錐形部1和石英法蘭6焊接，錐形部1由石英材料構(gòu)成。

本實(shí)用新型的預(yù)加熱器以還原爐為例進(jìn)行多晶硅的生產(chǎn)，將預(yù)加熱器中石英法蘭6以下的部分放入還原爐內(nèi)，而石英法蘭6剛好卡在還原爐的爐口處，并且錐形部1距離還原爐底部的高度為大于或等于10cm，有效防止預(yù)加熱器破裂，通過設(shè)置高溫吊環(huán)11與支撐結(jié)構(gòu)連接，避免了還原爐承重過大導(dǎo)致使用壽命減少的現(xiàn)象；本實(shí)用新型中接觸多晶硅部分全部采用高純石英結(jié)構(gòu)件，嚴(yán)格防止微量金屬元素滲透到多晶硅產(chǎn)品中，保證電子級多晶硅的品質(zhì)。

該預(yù)加熱器的高溫合金電阻絲4光譜輻射匹配吸收特性好，長期使用輻射性能不退變，電熱轉(zhuǎn)換效率高，比一般加熱元件節(jié)能30%左右，并且高溫合金電阻絲4的表面涂覆有抗氧化層，不但提高了加熱效率，而且不用考慮高溫合金電阻絲4由于變形，掉渣對還原爐帶來污染的問題；高溫合金電阻絲4的熱慣性很小，通電后0.8秒可達(dá)額定功率的50%，約1秒鐘可達(dá)額定功率的80%，約2秒鐘可達(dá)額定功率進(jìn)而運(yùn)行，升溫、降溫迅速；并且還具有耐高溫、耐腐蝕，熱化學(xué)性能穩(wěn)定性好，使用壽命長，絕緣強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)。

雖然結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)地描述，但不應(yīng)理解為對本專利的保護(hù)范圍的限定。在權(quán)利要求書所描述的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員不經(jīng)創(chuàng)造性勞動即可作出的各種修改和變形仍屬本專利的保護(hù)范圍。