的音叉型石英晶體諧振片中不會(huì)出現(xiàn)的技術(shù)問(wèn)題。
[0110]對(duì)此，本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的特征在于，溝槽53被形成為相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位，而且，溝槽53在寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同?；诒緦?shí)施方式，由于溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同，所以，對(duì)于由石英晶片構(gòu)成，且溝槽53被形成為相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位的結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步進(jìn)行重量補(bǔ)償來(lái)保持重量平衡。這與對(duì)石英晶體諧振片2采用石英晶片有關(guān)，溝槽53的由多個(gè)面構(gòu)成的側(cè)面532具有傾斜面，側(cè)面532 (多個(gè)面)的傾斜面的角度(寬度尺寸)不同。因此，雖然因形成溝槽53而使腳部(第一腳部51及第二腳部52)重量失去平衡，但基于本實(shí)施方式，由于溝槽53在第一腳部51及第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同，所以，能夠防止腳部(第一腳部51及第二腳部52)重量失去平衡。
[0111]具體而言，基于本實(shí)施方式，由石英晶片構(gòu)成，且在第一腳部51、第二腳部52，各自的溝槽53被形成為相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位，溝槽53在圖3所示的寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同，所以能夠防止第一腳部51及第二腳部52各自重量失去平衡。
[0112]使溝槽53的位置相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位，能夠?qū)崿F(xiàn)第一腳部51及第二腳部52在寬度方向(X軸方向)上的左右重量平衡。進(jìn)一步，溝槽53在第一腳部51及第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同，因而能夠減小側(cè)面532 (多個(gè)面)的斜面的面積差(X軸方向的寬度尺寸差)。
[0113]其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)良好的重量平衡。另外，在這一點(diǎn)上，以往的音叉型石英晶體諧振片則由于腳部的左右斜面的面積差較大，所以?shī)A著溝槽的腳部左右的厚度不同。因此，在腳部左右會(huì)引起不同頻率的振蕩，結(jié)果會(huì)失去振蕩平衡。
[0114]另外，與本實(shí)施方式不同，溝槽存在底面的情況下，最低點(diǎn)的位置不清楚而重量失去平衡，但基于本實(shí)施方式，則不會(huì)發(fā)生這樣的問(wèn)題?；诒緦?shí)施方式，不存在底面，只存在最低點(diǎn)533。
[0115]另外，以往的、在各腳部形成有溝槽的音叉型石英晶體諧振片不只產(chǎn)生激勵(lì)所需要的主振蕩，還會(huì)產(chǎn)生其它振蕩模(縱向振蕩模等)。這與以往的結(jié)構(gòu)中、溝槽的最低點(diǎn)或底面被形成為相對(duì)于腳部的寬度方向的中心大大偏位有關(guān)，另外，原因在于，溝槽的內(nèi)面為相對(duì)于主面傾斜的傾斜面。
[0116]對(duì)此，基于本實(shí)施方式，在第一腳部51、第二腳部52，各自的溝槽53分別被形成為相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位，溝槽53在第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至腳部的兩個(gè)側(cè)面為止的長(zhǎng)度(Wl和W2)相同，所以，在第一腳部51及第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的截面形狀中，溝槽53的內(nèi)面531中的側(cè)面532的形狀基本對(duì)稱。另外，與以往的音叉型石英晶體諧振片相比，溝槽53的內(nèi)面中，傾斜面能被減少一個(gè)以上。S卩，由于溝槽53的內(nèi)面的一個(gè)以上被減少，所以使其它傾斜面的構(gòu)成比率(面積)發(fā)生變化，而且，由于被減少的面，溝槽53的最低點(diǎn)533能被配置到腳部51、52的中間位置。
[0117]其結(jié)果，能夠避免被減少的傾斜面所引起的其它振蕩模(縱向振蕩模等)的發(fā)生。
[0118]然而，現(xiàn)在，裝載石英晶體諧振片2的石英晶體諧振器I或振蕩器(省略圖示)等石英晶體諧振裝置的封裝尺寸有減小的趨勢(shì)(例如，封裝尺寸:2.0mmX 1.2mm以下，石英晶體諧振片2的全長(zhǎng)(作為長(zhǎng)邊方向的第一腳部51及第二腳部52的延伸方向的尺寸):
1.5mm以下)，發(fā)明者已經(jīng)確認(rèn)到，隨著小型化，石英晶體諧振片2的振蕩中容易發(fā)生亂真。另一方面，以往，由于石英晶體諧振片2中幾乎不會(huì)發(fā)生亂真，所以沒(méi)有考慮抑制亂真，但是，對(duì)于現(xiàn)在的小型石英晶體諧振片2，還有必要考慮抑制亂真。對(duì)于該亂真的發(fā)生，基于本實(shí)施方式，通過(guò)減少溝槽53的側(cè)面532的傾斜面、減小傾斜面的傾斜度差，能夠?qū)崿F(xiàn)亂真抑制，其結(jié)果，能夠通過(guò)抑制亂真而降低Cl值。本實(shí)施方式最適合于小型的石英晶體諧振片
2。另外，還能防止出現(xiàn)因亂真發(fā)生而使振蕩頻率的值(主振蕩的值)變化的情況。
[0119]另外，一個(gè)主面41側(cè)的溝槽53和另一主面42側(cè)的溝槽53在延伸方向的截面形狀中，最低點(diǎn)533所處的位置相對(duì)，所以，能防止相對(duì)于第一腳部51及第二腳部52各自的厚度方向重量失去平衡的情況發(fā)生。其結(jié)果，能夠抑制因重量失去平衡而引起的其它振蕩模(縱向振蕩模等)的發(fā)生，抑制石英晶體諧振片2的特性惡化，例如能降低Cl值、抑制Cl值的上升。
[0120]通過(guò)如上所述那樣在腳部51、52形成溝槽53，能夠?qū)⒖膊?6成形于腳部51、52。換言之，能在腳部51、52同時(shí)形成溝槽53和坎部56。
[0121]坎部56由寬度在厚度方向上不同的第一坎部561、及寬度在厚度方向上大致不變的第二坎部562構(gòu)成。另外，第一坎部561和第二坎部562都具有溝槽53的側(cè)面532和腳部51、52的側(cè)面。
[0122]在第一腳部51及第二腳部52的主面(一個(gè)主面41、另一主面42)上，相對(duì)于第二坎部562，第一坎部561被構(gòu)成為，從溝槽53 (溝槽53的側(cè)面532)至腳部(第一腳部51及第二腳部52)的兩側(cè)面43為止的距離較短(寬度窄)。
[0123]第一坎部561由寬度較寬的寬壁部563、和寬度較窄的窄壁部564構(gòu)成。本實(shí)施方式中，在腳部51、52的厚度方向上，坎部56的寬度不同，位于腳部51、52的主面41、42側(cè)的坎部56的前端部565側(cè)的寬度較窄；位于腳部51、52的厚度方向的中間的坎部56的根端部566側(cè)的寬度較寬，第一坎部561 (具體而言，是腳部51、52的側(cè)面43)被成形為斜坡形，從而從窄壁部564至寬壁部563寬度尺寸逐漸改變。因此，第一坎部561中，使斜坡形狀的部位包含在寬壁部563中，則圖3所示的第一坎部561的寬壁部563的截面形狀為梯形，成為梯形上表面(頂面)的腳部51、52的側(cè)面43與相當(dāng)于下表面的溝槽53的側(cè)面532隔著第一坎部561相互背對(duì)。該斜坡被成形在腳部51、52各自的側(cè)面43。另外，窄壁部564中，腳部51、52的側(cè)面43與溝槽53的側(cè)面532隔著第一坎部561相互背對(duì)。
[0124]第二坎部562中，腳部51、52的側(cè)面43未被成形為斜坡，而被成形為大致平坦面。與第二坎部562對(duì)應(yīng)的腳部51、52的側(cè)面43和第一坎部561的寬壁部563的梯形的頂面為平行關(guān)系。
[0125]如上所述那樣，本實(shí)施方式所涉及的第一腳部51及第二腳部52中，溝槽53在圖3所示的X軸方向的截面形狀中，溝槽53的最低點(diǎn)533至兩側(cè)面為止的尺寸(W1、W2)的長(zhǎng)度相同，另外，溝槽53的最低點(diǎn)533位于腳部51、52的中間。這是因?yàn)椋瑴喜?3被形成為相對(duì)于第一腳部51、第二腳部52的寬度方向(X軸方向)的中心偏位；與第一坎部561相比第二坎部562寬度更寬(寬度尺寸大)；第一坎部561由寬壁部563和窄壁部564構(gòu)成；以及溝槽53的最低點(diǎn)533所處的位置的寬度方向上有寬壁部563，所以，溝槽53的最低點(diǎn)533到兩側(cè)面為止的尺寸(W1、W2)的長(zhǎng)度相同。
[0126]另外，在本實(shí)施方式中，只在兩根腳部51、52的至少一個(gè)主面(本實(shí)施方式中是另一主面42)中，比形成有引出電極83、84的部位(與激勵(lì)相關(guān)的部位)更靠前端的前端部9上電鍍形成了金屬膜93。金屬膜93對(duì)于第一激勵(lì)電極81、第二激勵(lì)電極82、及引出電極83、84為非導(dǎo)通狀態(tài)。另外，兩根腳部51、52的至少一個(gè)主面(本實(shí)施方式中是另一主面42)中，金屬膜93周圍的基板4被露出。
[0127]進(jìn)一步，在比前端部9的金屬膜93更靠前端側(cè)，電鍍形成有振蕩頻率微調(diào)節(jié)用的前端金屬膜96。有關(guān)該前端金屬膜96，斜面部位(前端面91的兩側(cè)端92)及前端部9的兩主面41、42上也形成有前端金屬膜96。該前端金屬膜96對(duì)于第一激勵(lì)電極8