具有用于在后續(xù)處理步驟期間精確配準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記的電子組件的制作方法
【專利說明】具有用于在后續(xù)處理步驟期間精確配準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)巧的電子 組件
【背景技術(shù)】
[0001] 諸如柔性電子或光學(xué)部件的制品的制造，可W設(shè)及沉積或形成在細(xì)長基底或幅材 上的材料層的施加。具體地，通過多個(gè)沉積步驟，可W將材料的圖案W層的形式沉積在細(xì)長 基底，諸如幅材上。一些制品需要施加在基底的一側(cè)或兩側(cè)上的特征部的精確配準(zhǔn)。
[0002] 為了實(shí)現(xiàn)層之間的準(zhǔn)確配準(zhǔn)，必須在基底穿過多個(gè)制造步驟移動時(shí)，保持橫向（橫 維)定位和縱向（順維)定位。當(dāng)基底是柔性的或可拉伸的時(shí)，保持形成在基底上的層之間的 配準(zhǔn)變得更加復(fù)雜。一些制品W多個(gè)步驟制成，在運(yùn)些步驟期間材料或工藝被依次施加到 基底，要求每一工序精確位置配準(zhǔn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[000；3] 實(shí)施例列舉
[0004] A. -種方法，所述方法包括:在基底上的第一區(qū)中形成覆蓋圖案化導(dǎo)電納米線層 的抗蝕劑層，W形成低對比度第一導(dǎo)電圖案;基本上與第一導(dǎo)電圖案同時(shí)，在基底的不同于 第一區(qū)的第二區(qū)中形成高對比度基準(zhǔn)標(biāo)記，其中基準(zhǔn)標(biāo)記與第一導(dǎo)電圖案配準(zhǔn)；W及使用 基準(zhǔn)標(biāo)記作為導(dǎo)引，形成與第一導(dǎo)電圖案對準(zhǔn)的第二圖案。
[0005] B.根據(jù)實(shí)施例A所述的方法，其中第一導(dǎo)電圖案具有大于約80%的光學(xué)透射率。
[0006] C.根據(jù)實(shí)施例A-B中任一項(xiàng)所述的方法，其中基準(zhǔn)標(biāo)記具有約0%至約50%的光學(xué) 透射率。
[0007] D.根據(jù)實(shí)施例A-C中任一項(xiàng)所述的方法，其中基準(zhǔn)標(biāo)記和第一導(dǎo)電圖案之間的配 準(zhǔn)的誤差小于約20微米。
[000引E.根據(jù)實(shí)施例A-D中任一項(xiàng)所述的方法，其中第一導(dǎo)電圖案包括具有大小小于200 微米的尺寸的特征部。
[0009] F.根據(jù)實(shí)施例A-E中任一項(xiàng)所述的方法，其中第二圖案是導(dǎo)電的。
[0010] G.根據(jù)實(shí)施例F所述的方法，其中第二圖案與第一導(dǎo)電圖案對準(zhǔn)并形成電子組件。
[0011] H.根據(jù)實(shí)施例A-G中任一項(xiàng)所述的方法，其中在基底上的第一區(qū)中的圖案化導(dǎo)電 納米線層是通過W下步驟產(chǎn)生的：
[0012] 在基底上涂覆包含納米線的導(dǎo)電層；
[0013] 在導(dǎo)電層上W抗蝕劑基質(zhì)材料施加圖案，W在基底上生成具有暴露導(dǎo)電層的一個(gè) 或多個(gè)第一區(qū)域和具有抗蝕劑基質(zhì)材料的一個(gè)或多個(gè)第二區(qū)域.
[0014] 使抗蝕劑基質(zhì)材料硬化或固化；
[0015] 在圖案上覆涂可剝離的聚合物層；
[0016] 使可剝離的聚合物層硬化或固化；
[0017] 從基底剝?nèi)タ蓜冸x的聚合物層；W及
[0018] 在基底的一個(gè)或多個(gè)第一區(qū)域中從基底去除暴露導(dǎo)電層，W在基底上形成圖案化 導(dǎo)電層，其中圖案化導(dǎo)電層包含由抗蝕劑基質(zhì)材料覆蓋的納米線。
[0019] I.根據(jù)實(shí)施例H所述的方法，其中導(dǎo)電層上的圖案通過選自W下項(xiàng)中的至少一種 的方法來施加：照相平版印刷、柔性版印刷、照相凹版印刷、噴墨印刷、絲網(wǎng)印刷、噴涂、針 涂、照相平版印刷圖案化和膠版印刷。
[0020] J.根據(jù)實(shí)施例A-I中任一項(xiàng)所述的方法，其中基準(zhǔn)標(biāo)記通過選自W下項(xiàng)中的至少 一種的方法來形成:照相平版印刷、柔性版印刷、照相凹版印刷、噴墨印刷、絲網(wǎng)印刷、噴涂、 針涂、照相平版印刷圖案化和膠版印刷。
[0021] K.-種電子組件，所述電子組件包括:基底，該基底在第一區(qū)中具有低對比度第一 導(dǎo)電圖案;高對比度基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記位于基底的不同于第一區(qū)的第二區(qū)中；其中基準(zhǔn) 標(biāo)記和第一導(dǎo)電圖案配準(zhǔn);和第二導(dǎo)電圖案，該第二導(dǎo)電圖案與第一導(dǎo)電圖案對準(zhǔn)。
[0022] L.根據(jù)實(shí)施例K所述的電子組件，其中基準(zhǔn)標(biāo)記和第一導(dǎo)電圖案W小于約100微米 的尺寸精度配準(zhǔn)。
[0023] M.根據(jù)實(shí)施例K-L中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中基準(zhǔn)標(biāo)記和第一導(dǎo)電圖案W小 于約20微米的尺寸精度配準(zhǔn)。
[0024] N.根據(jù)實(shí)施例K-M中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中基底上基準(zhǔn)標(biāo)記和第二導(dǎo)電圖 案之間在可見光區(qū)域中的光學(xué)透射率的差異大于約50% %。
[0025] 0.根據(jù)實(shí)施例K-N中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中第一導(dǎo)電圖案在可見光區(qū)域中 具有約80 %至約99.9 %的光學(xué)透射率。
[0026] P.根據(jù)實(shí)施例K-O中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中基準(zhǔn)標(biāo)記在可見區(qū)域中具有小 于約50%的光學(xué)透射率。
[0027] Q.根據(jù)實(shí)施例K-P中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中第二導(dǎo)電圖案是電路互連。
[00%] R.根據(jù)實(shí)施例K-Q中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中電路互連相對于第一導(dǎo)電圖案 是在面內(nèi)的。
[0029] S.根據(jù)實(shí)施例K-R中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中電路互連相對于第一導(dǎo)電圖案 是在面外的。
[0030] T.根據(jù)實(shí)施例K-S中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中第一導(dǎo)電圖案來源于第一油墨， 并且基準(zhǔn)標(biāo)記來源于不同于第一油墨的第二油墨，并且其中第一油墨能夠溶于選定的溶 劑，并且第二油墨不溶于選定的溶劑。
[0031] U. -種具有實(shí)施例K-T中任一項(xiàng)所述的電子組件的顯示器。
[0032] V.-種電子組件，所述電子組件包括:基底，該基底在第一區(qū)中包括第一導(dǎo)電圖 案，其中第一導(dǎo)電圖案包含由抗蝕劑基質(zhì)材料層覆蓋的導(dǎo)電納米線，并且其中導(dǎo)電圖案在 可見區(qū)域中具有大于約80%的光學(xué)透射率;基準(zhǔn)標(biāo)記，該基準(zhǔn)標(biāo)記位于基底的不同于第一 區(qū)的第二區(qū)中，其中基準(zhǔn)標(biāo)記在可見區(qū)域中具有小于約50%的光學(xué)透射率，并且其中基準(zhǔn) 標(biāo)記和第二導(dǎo)電圖案W小于約100微米的尺寸精度配準(zhǔn);和第二導(dǎo)電圖案，該第二導(dǎo)電圖案 與第一導(dǎo)電圖案對準(zhǔn)。
[0033] W.根據(jù)實(shí)施例V所述的電子組件，其中抗蝕劑基質(zhì)材料具有約10納米至約3000納 米的厚度。
[0034] X.根據(jù)實(shí)施例V-W中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中抗蝕劑基質(zhì)材料具有至少80% 的光透射率。
[0035] Y.根據(jù)實(shí)施例V-X中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中第二導(dǎo)電圖案是電路互連。
[0036] Z.根據(jù)實(shí)施例V-Y中任一項(xiàng)所述的電子組件，其中電路互連來源于包含導(dǎo)電金屬 納米粒子的油墨。
[0037] AA. -種具有實(shí)施例V-Z中任一項(xiàng)所述的電子組件的顯示器。
[0038] BB.根據(jù)實(shí)施例AA所述的顯示器，其中所述顯示器是觸摸屏顯示器，任選地，其中 觸摸屏顯示器是選自W下項(xiàng)的電子設(shè)備的部件:蜂窩電話、平板計(jì)算機(jī)、筆記本計(jì)算機(jī)、膝 上型計(jì)算機(jī)、計(jì)算機(jī)顯示器或電視。
[0039] 在本申請中，"對比度"意為表示成通過指定公式計(jì)算出的數(shù)字的測定量(諸如兩 個(gè)區(qū)域的亮度）的相異程度。此定義來自于ASTM標(biāo)準(zhǔn)E284, "Standard Terminology of Appearance(外觀的標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語r。在最廣泛意義上，"低對比度油墨"為不足W經(jīng)目測從基底 中分辨出來W允許在基底上進(jìn)行第二操作W與預(yù)定圖案直接配準(zhǔn)的任何油墨。結(jié)合在W下 實(shí)例3中所討論的光學(xué)測試，呈現(xiàn)了一種更正式的定義。
[0040] 在本申請中，"預(yù)定圖案"意為可包括例如線、重復(fù)的線、跡線、符號、字母、圖、圖 形、數(shù)字或它們的組合的圖案；意為提前確定或選擇W通過合適的復(fù)制方法諸如印刷來放 置到基底上的圖案。預(yù)定的圖案可W包括具有大小小于1〇〇〇、500、100、20、10或5微米的尺 寸的特征部。
[0041] 在本申請中，"基準(zhǔn)標(biāo)記"意為放置到基底上的符號、線、點(diǎn)或其他形狀的圖案，其 作為參照點(diǎn)供成像系統(tǒng)用來獲得關(guān)于幅材位移、幅材速度或幅材位置的信息。
[0042] 在本申請中，關(guān)于數(shù)值、特性或特征的術(shù)語"約"或"大約"意為數(shù)值、特性或特征的 +/-5 %，但是也明確地包括在數(shù)值或特性或特征的+/-5 %內(nèi)的任何窄范圍W及精確值。例 如，"約"100°C的溫度指從95°C到105°C的溫度(包括端值），但是也明確地包括任何更窄的 溫度范圍或甚至在該范圍內(nèi)的單個(gè)溫度，包括，例如，精確為1 〇〇°C的溫度。
[0043] 在本申請中，關(guān)于特性或特征的術(shù)語"基本上"意味著特性或特征展示為在該特性 或特征的98%內(nèi)，但是也明確地包括在特性或特征的兩個(gè)百分比內(nèi)的任何窄范圍，W及特 性或特征的精確值。例如，"基本上"透明的基底指透射98%-100% (包括端值)的入射光的 基底。
[0044] -旦考慮了包括"具體實(shí)施例"、"實(shí)例"和"所附權(quán)利要求書"在內(nèi)的本公開其余部 分，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員即會更全面了解本發(fā)明的實(shí)質(zhì)。
【附圖說明】
[0045] 本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，本發(fā)明的討論僅是針對示例性實(shí)施例的描述，其并 不旨在限制本公開的更廣泛的方面，其中更廣泛的方面體現(xiàn)在示例性構(gòu)造中。
[0046] 圖1是包括印刷漉的印刷裝置的透視圖，印刷漉與沿著其橫維寬度被分為多個(gè)區(qū) 的刮刀刀片組件相鄰。
[0047] 圖2是圖1中的印刷裝置的側(cè)示意圖。
[0048] 圖3是根據(jù)本公開的一個(gè)實(shí)施例的另選的印刷裝置的透視圖。
[0049] 圖4是具有無限長度導(dǎo)向的幅材的平面圖，該幅材已具有通過根據(jù)本公開的裝置 印刷在第一區(qū)和第二區(qū)中的第一油墨和第二油墨。
[0050] 圖5是在基底的第一區(qū)中的導(dǎo)電納米線層的示意性剖視圖，其中導(dǎo)電納米線層由 圖案化的抗蝕劑基質(zhì)材料覆蓋。
[0051] 圖6是由可剝離的聚合物層覆蓋的圖5的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0052] 圖7是可剝離的聚合物層去除后圖6的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0053] 圖8是由第二導(dǎo)電圖案部分地覆蓋的圖7的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0054] 圖9是用于評估兩個(gè)基準(zhǔn)標(biāo)記的邊緣可檢測性的信號值對時(shí)間的曲線圖。
[0055] 圖10是實(shí)例5中的與銀納米粒子油墨圖案對準(zhǔn)的基準(zhǔn)標(biāo)記的照片。
[0056] 圖11是根據(jù)實(shí)例5制備的電子組件的照片。
[0057] 在說明書和附圖中重復(fù)使用的參考符號旨在表示本公開相同或類似的特征部或 元件。
【具體實(shí)施方式】
[0058] 現(xiàn)在參見圖1，其示出了適用于實(shí)施本公開的印刷裝置20。印刷裝置20包括印刷漉 22和鄰近印刷漉22的刮刀刀片組件24。在一些另選實(shí)施例中，漉22是給隔開的印刷漉間接 著墨的傳送漉，諸如網(wǎng)紋漉。印刷漉22可W是靜軸漉或具有軸22a的轉(zhuǎn)動軸漉。印刷漉22便 利地是網(wǎng)紋漉，但是本發(fā)明可與例如用于柔性版印刷、照相凹版印刷、平版絲網(wǎng)印刷或旋轉(zhuǎn) 絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷和雙膠版印刷的設(shè)備一起工作。刮刀刀片組件24便利地包括支撐體25 和刀片支撐體26。刀片支撐體26保持實(shí)際的刮刀刀片27。所示刀片支撐體26包括阻隔件28、 30和32,它們將刀片支撐體26的橫維寬度分成第一區(qū)42和第二區(qū)40。阻隔件28、30和32便利 地由柔軟彈性材料形成，該柔軟彈性材料可W抵靠印刷漉22的一側(cè)密封而不會將其劃傷。
[0059] 現(xiàn)在參見圖2,其示出了圖1的印刷裝置20的側(cè)視圖。在此側(cè)視圖中，可W更好地理 解刀片支撐體26是如何支撐刮刀刀片27的。在此視圖中還可看到為了畫面簡潔而從