圖像的處理裝置和取得裝置、處理方法以及取得方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種處理圖像的技術以及取得圖像的技術。
【背景技術】
[0002] 近年來，在各種各樣的電子設備中都設有FPD(FlatPanelDisplay，平板顯示）。 在如這樣的顯示裝置的制造中，在檢查形成于透明的基材上的透明電極薄膜等透明的圖案 的外觀的情況下，例如，通過向基材照射光，再接收反射光，來取得圖案的圖像。在JP特開 2013-68460號公報（文獻1)中披露了，一邊維持從光照射部到基材上的拍攝區(qū)域的光軸與 基材的法線所成的照射角，等于從拍攝區(qū)域到線傳感器的光軸與該法線所成的檢測角，一 邊取得圖像的裝置。該裝置中，利用了圖像的對比度較高的照射角以及檢測角的設定角度。
[0003] 此外，在JP特開2008-205737號公報（文獻2)中披露了得到保存邊緣的平滑化 模型的方法。在該方法中，計算在關注區(qū)域中的關注像素與周圍像素的像素值背離度以及 位置背離度，再使用像素值背離度和位置背離度來求出相關指標值。然后，根據(jù)該相關指標 值來求出周圍像素的濾波系數(shù)，根據(jù)像素值背離度來求出關注像素的濾波系數(shù)，使用該濾 波系數(shù)來進行濾波運算。另外，作為既保存邊緣又去除噪聲的平滑化方法，已知還有雙邊濾 波、ε濾波。
[0004] 順帶一提，在透明的基材中含有微小的粒狀物質（所謂的填充物）的情況下，或者 在基材的表面上存在微小的凹凸的情況等下，在拍攝的圖像中會存在多個顆粒元素，無法 高精度地檢查圖案。雖然考慮到通過既保存邊緣又去除噪聲的上述圖像處理來去除顆粒元 素，但是在顆粒元素比圖案區(qū)域的邊緣對比度高的情況下，顆粒元素也會與圖案區(qū)域的邊 緣一起保存下來。

【發(fā)明內容】

[0005] 本發(fā)明的目的在于，針對圖像處理裝置，在含有對比度比圖案區(qū)域的邊緣高的顆 粒元素的圖像中，既保存圖案區(qū)域的邊緣，又去除對比度較高的顆粒元素。
[0006] 本發(fā)明的圖像處理裝置具有：代表值取得部，在示出圖案區(qū)域并且包含有對比度 比所述圖案區(qū)域的邊緣更高的顆粒元素的圖像中，以各像素作為關注像素，取得在以所述 關注像素為中心的規(guī)定尺寸的區(qū)域中所包含的多個對象像素的亮度值的代表值；基準值 設定部，在所述關注像素的亮度值處于以所述代表值為中心來設定的亮度值范圍內的情況 下，將所述關注像素的亮度值設定為基準值，在所述關注像素的亮度值處于所述亮度值范 圍以外的情況下，將所述代表值設定為基準值，或者，與所述關注像素的亮度值無關地將所 述代表值設定為基準值；濾波處理部，通過進行以下的濾波處理來求出所述關注像素的新 的亮度值，在該濾波處理中，使用所述多個對象像素的亮度值，并且各對象像素的亮度值與 所述基準值之差越小，則使得與所述各對象像素的亮度值對應的權重越大。
[0007] 根據(jù)本發(fā)明，在示出圖案區(qū)域并且包含對比度比圖案區(qū)域的邊緣更高的顆粒元素 的圖像中，既可以保存圖案區(qū)域的邊緣，又可以去除對比度較高的顆粒元素。
[0008] 在本發(fā)明的一個優(yōu)選的實施方式中，所述代表值取得部，求出表示所述多個對象 像素的亮度值的散亂分布的值；所述基準值設定部，基于表示所述散亂分布的值來決定所 述亮度值范圍的寬度，使用所述亮度值范圍來設定所述基準值。
[0009] 在本發(fā)明的其他優(yōu)選實施方式中，所述濾波處理部在所述濾波處理中，在所述多 個對象像素中排除亮度值處于以所述代表值為中心來設定的亮度值范圍以外的對象像素 的所述亮度值。
[0010] 在本發(fā)明的更優(yōu)選的其他實施方式中，在所述濾波處理中，所述各對象像素與所 述關注像素的距離越小，則使得與所述各對象像素的亮度值對應的權重越大。
[0011] 在本發(fā)明的一個實施方式中，所述圖像是示出形成于透明基材上的透明電極膜的 圖像。
[0012] 本發(fā)明也適用于取得形成于基材上的薄膜圖案的圖像的圖像取得裝置。本發(fā)明的 圖像取得裝置具有：拍攝單元，通過拍攝所述基材來取得拍攝圖像；如上所述的圖像處理 裝置，對所述拍攝圖像進行處理。
[0013] 本發(fā)明也適用于圖像處理方法以及取得形成于基材上的薄膜圖案的圖像的圖像 取得方法。
[0014] 通過參照添加的附圖并在以下詳細地說明本發(fā)明，來揭示上述的目的以及其他的 目的、特征、實施方式以及優(yōu)點。
【附圖說明】
[0015] 圖1是示出圖像取得裝置的結構的圖。
[0016] 圖2是示出計算機的結構的圖。
[0017] 圖3是示出計算機實現(xiàn)的功能結構的框圖。
[0018] 圖4是示出檢查基材上的圖案的處理的流程的圖。
[0019] 圖5是示出基材的剖視圖。
[0020] 圖6是示出拍攝圖像的圖。
[0021] 圖7是示出目標區(qū)域的亮度值概況的圖。
[0022] 圖8是示出目標區(qū)域的亮度值概況的圖。
[0023] 圖9是示出處理完成圖像的圖。
[0024] 圖10是示出比較例的經過處理的處理完成圖像的圖。
[0025] 其中，附圖標記說明如下：
[0026] 1圖像取得裝置
[0027] 8拍攝圖像
[0028] 8a處理完成圖像
[0029] 9 基材
[0030] 13拍攝單元
[0031] 41圖像處理部
[0032] 71、72關注像素
[0033] 81圖案區(qū)域
[0034] 91 圖案
[0035] 411代表值取得部
[0036] 412基準值設定部
[0037] 413濾光處理部
[0038] 711、721 目標區(qū)域
[0039] 811邊緣
[0040] 831~833顆粒元素
[0041] P1、P2(關注像素的）亮度值
[0042] PA代表值
[0043] R1、R2基準值判斷范圍
[0044] S11 ~S18 步驟
【具體實施方式】
[0045] 圖1是示出本發(fā)明的一個實施方式的圖像取得裝置1的結構的圖。圖像取得裝置 1取得形成于基材9上的薄膜圖案的圖像，并且基于該圖像進行薄膜圖案的外觀檢查。即， 圖像取得裝置1具有作為圖案檢查裝置的功能。在本實施方式中，基材9是玻璃基板或者 透明薄膜。例如，薄膜圖案是透明電極膜。在基材9上也可以設有防反射膜等其他的薄膜。 在以下的說明中，將薄膜圖案僅稱為"圖案"。基材9用于例如制造靜電電容型的觸摸面板。
[0046] 圖像取得裝置1具有：移動基材9的移動機構11、拍攝單元13以及計算機3。移 動機構11具有：載物臺21、X方向移動部22以及Y方向移動部23。該載物臺21在上表面 上保持有基材9。該X方向移動部22沿著與基材9的主表面平行的圖1中的X方向移動載 物臺21。該Y方向移動部23沿著與基材9的主表面平行，且，垂直于X方向的Y方向移動 該X方向移動部22。移動機構11是相對于后述的拍攝區(qū)域90相對地移動基材9的機構。 此外，也可以在移動機構11中追加如下機構：沿著與X方向以及Y方向垂直的圖1中的Z 方向移動載物臺21的機構，以平行于Z方向的軸為中心來旋轉載物臺21的機構。在圖像 取得裝置1中，計算機3實現(xiàn)承擔圖像取得裝置1的整體控制的整體控制部的作用。
[0047] 拍攝單元13具有：光照射部131、線傳感器132以及角度變更機構133。該光照 射部131向基材9上的拍攝區(qū)域90出射光。該線傳感器132接收來自拍攝區(qū)域90的反射 光。該角度變更機構133變更光照射部131的光的照射角以及線傳感器132的檢測角。此 處，照射角是指，從光照射部131到拍攝區(qū)域90的光軸J1與基材9的法線N所成的角θ1。 檢測角是指，從拍攝區(qū)域90到線傳感器132的光軸