專利名稱:一種制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明屬于制備定向凝固TbDyFe基磁致伸縮合金技術(shù)。
背景技術(shù):
稀土超磁致伸縮合金是一種在磁場(chǎng)中能產(chǎn)生很大應(yīng)變的Rfe2化合物(R指稀土元素),主要包括(TbDy)Fe2合金和SmFe2合金兩類,最常用的是Tb0.3Dy0.7Fe1.95合金(Terfenol-D)。TbDyFe合金一般用真空非自耗電弧爐熔煉母合金,在真空定向凝固設(shè)備中處理,使合金形成具有<112>取向的定向結(jié)晶的組織,然后進(jìn)行熱處理。
關(guān)于Terfenol-D的定向凝固處理,早期用Czochralski技術(shù)制備單晶。1981年Savage等在美國(guó)專利No.4308474中采用了Bridgeman技術(shù)用感應(yīng)圈使管狀坩堝中的母棒熔化,坩堝以一定的速度下降。1986年O.D.McMasters發(fā)表的美國(guó)專利No.4609402使用浮區(qū)區(qū)熔技術(shù)母棒定位于豎直的管式石英室的軸心,用感應(yīng)圈使母棒形成熔區(qū),隨著感應(yīng)器由下向上移動(dòng),熔區(qū)向上運(yùn)動(dòng)。1988年E.D.Gibson等在美國(guó)專利No.4770704中發(fā)表了改進(jìn)的Bridgman技術(shù)。該技術(shù)將一些錠放入爐體上部的坩堝,用中頻感應(yīng)電源使?fàn)t料熔化均勻,合金液通過(guò)坩堝底部的孔注入石英模具管。在此基礎(chǔ)上,美國(guó)ETREMA公司自1995年建立了ETREMA Crystal Growth技術(shù),用于批量生產(chǎn)。
用MB法制備大直徑晶體的其它技術(shù)還包括K.Murakami用電阻爐熔化爐料,然后向下移動(dòng)坩堝的方法(美國(guó)專利No.5067551,1991),Murakami用高頻感應(yīng)圈區(qū)熔母棒,坩堝和棒料均向下移動(dòng)的方法(美國(guó)專利No.5063986,1991),S.Okatomo向上移動(dòng)石英室外的高頻區(qū)熔感應(yīng)圈,并用絕熱元件改進(jìn)定向凝固條件的方法(見(jiàn)Int.Symp.On GMSM and their Appl.,Tokyo,1992,175~180),以及E.Nakamura等用離子弧溶化水冷銅坩堝中的爐料,坩堝底部開(kāi)有并接水冷長(zhǎng)模具,模具中的托架連續(xù)下拉,合金液逐漸進(jìn)入模具凝固的連續(xù)法技術(shù)(見(jiàn)美國(guó)專利No.5114467,1992),等等。
上述回顧表明,Terfenol-D的定向凝固處理大多采用高頻感應(yīng)圈作為加熱器,而利用電阻加熱進(jìn)行區(qū)熔式定向凝固處理的尚未見(jiàn)報(bào)道。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供制備高性能TbDyFe基定向凝固合金的技術(shù)方法,它應(yīng)具有較高的制備效率、較低的生產(chǎn)成本、適應(yīng)生產(chǎn)規(guī)模。
1、本發(fā)明所提供的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其工序?yàn)槟负辖鹬苽?、定向凝固、熱處理和磁?chǎng)熱處理,其特征在于a、母合金制備工序?yàn)樵谌蹮捛?,使塞桿頭堵塞坩堝注孔;在加熱過(guò)程發(fā)生架料時(shí),上下移動(dòng)塞桿頭以松動(dòng)爐料;在化料過(guò)程中轉(zhuǎn)動(dòng)和上下移動(dòng)塞桿頭,攪拌合金熔液;熔煉后升高塞桿頭,抬高在坩堝中凝固的合金錠,操作把持頭翻轉(zhuǎn)合金錠,將被翻轉(zhuǎn)的合金錠送回坩堝重熔,然后使合金熔液進(jìn)入模具凝固成母合金棒;b、定向凝固工序?yàn)橄葘⒆丫Ш湍赴粞b入內(nèi)徑略大于母棒的坩堝,然后對(duì)爐體抽真空,在真空度高于10-1Pa后,迅速充入壓力為-0.09~+0.2MPa的惰性氣體;然后用環(huán)繞母棒的壓熔式電阻加熱器使籽晶的上端和母棒的下端形成熔區(qū),再下拉并旋轉(zhuǎn)熔區(qū)離開(kāi)高溫區(qū)向冷卻器方向移動(dòng),在移動(dòng)過(guò)程中使熔區(qū)自下而上凝固,使新熔區(qū)沿母棒向上移動(dòng),持續(xù)進(jìn)行此過(guò)程,直到區(qū)熔一凝固過(guò)程在母棒頂部完成;在此過(guò)程中,熔區(qū)溫度應(yīng)控制在1260~1380℃范圍內(nèi),熔區(qū)寬度應(yīng)控制與母棒直徑大致相同,熔區(qū)移動(dòng)速度在0.5~30mm/min范圍內(nèi),旋轉(zhuǎn)速度取0.5~30rpm,經(jīng)過(guò)此過(guò)程的合金棒具有定向結(jié)晶組織成孿生單晶組織。
c、熱處理和磁場(chǎng)熱處理工序?yàn)閷?duì)定向凝固合金棒進(jìn)行動(dòng)態(tài)熱處理,即處理溫度在800~1100℃共晶溫度附近波動(dòng),經(jīng)1~5小時(shí)后緩慢冷卻。然后將合金棒放入管軸與磁場(chǎng)方向垂直的石英管中,對(duì)石英管抽真空并充入惰性氣體,啟動(dòng)環(huán)繞石英管的加熱爐,使合金棒在380~580℃范圍內(nèi)加熱0.5~3小時(shí),此后當(dāng)溫度降至280~340℃,啟動(dòng)磁場(chǎng),使磁場(chǎng)溫度達(dá)到240~960KA/m,同時(shí)使石英管以0.2~10rpm轉(zhuǎn)速繞軸旋轉(zhuǎn),并保持0.5~3小時(shí)后緩慢降溫。
在上述過(guò)程中,由驅(qū)動(dòng)裝置控制的塞桿頭頂部裝有葉片,使之在旋轉(zhuǎn)攪拌過(guò)程同時(shí)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。電阻加熱由2~3個(gè)加熱段組成,最上層為預(yù)熱段,中層為高溫段,最好在下層設(shè)置保溫段,使高溫段上下形成溫度梯度。熔區(qū)沿母棒移動(dòng)過(guò)程可重復(fù)多次。熔區(qū)的溫度最好在1280~1330℃內(nèi),熔區(qū)移動(dòng)速度最好在2~15mm/min,旋轉(zhuǎn)速度最好取2~15rpm。合金棒熱處理溫度最好在900~1000℃內(nèi)波動(dòng)。位于石英管中的合金棒在磁場(chǎng)熱處理過(guò)程中,最好使合金棒在400~500℃溫度范圍內(nèi)加熱1~2個(gè)小時(shí),然后最好將溫度降至310~330℃時(shí)啟動(dòng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為400~640KA/m的磁場(chǎng),同時(shí)石英管以0.5~2rpm轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn),然后在加熱1~2個(gè)小時(shí)后,在保持磁場(chǎng)和石英管運(yùn)轉(zhuǎn)條件下緩慢降溫。
本發(fā)明提出了較完整的制備定向凝固TbDyFe基磁致伸縮合金的技術(shù),適合于在生產(chǎn)條件下高效率制備高性能的產(chǎn)品,對(duì)包括細(xì)晶體和粗晶體等各種規(guī)格的晶體均提出了合理的制備工藝。
在母合金制備方面,本技術(shù)主要采用冷坩堝真空感應(yīng)爐作為熔煉和鑄造設(shè)備。與真空非自耗電弧爐相比,本發(fā)明的制備效率大得多,適合于生產(chǎn)的要求。與普通真空感應(yīng)爐相比,合金可以多次重熔,能把成分調(diào)整到理想的準(zhǔn)確性和均勻性,熔煉-鑄造過(guò)程中產(chǎn)生的殘料可以回爐,降低了制備成本。使用具有攪拌-翻錠-鑄造操作系統(tǒng)的冷坩堝真空熔煉爐進(jìn)行熔煉和鑄造,進(jìn)一步提高了制備效率、母棒的質(zhì)量和成材率。
與感應(yīng)加熱器相比,用電阻加熱器進(jìn)行定向凝固處理具有設(shè)備成本低,溫度容易測(cè)量和控制,熱量穿透深度大,有利于制備粗晶體等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明所提出的方法,解決了用電阻加熱器進(jìn)行區(qū)熔式定向凝固的困難,減輕了坩堝材料對(duì)合金的污染;利用控制喂送母棒的技術(shù),消除了母棒區(qū)熔時(shí)對(duì)熔池的擾動(dòng);通過(guò)在加熱器設(shè)置保溫段,使熱流沿合金棒的徑向傳輸被阻止,保證了熱流的軸向傳輸;利用在一個(gè)加熱器中設(shè)置幾個(gè)熔區(qū),使得在一個(gè)運(yùn)行周期內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)幾次定向凝固;利用本發(fā)明的技術(shù),還可以實(shí)現(xiàn)在一個(gè)運(yùn)行周期同時(shí)對(duì)多支母棒進(jìn)行定向凝固處理。這些技術(shù)為提高定向凝固的效果和提高處理效率提供了保證。此外,本發(fā)明為制備細(xì)晶體設(shè)計(jì)的技術(shù),使利用電阻加熱器實(shí)現(xiàn)浮區(qū)區(qū)熔成為可能。
在熱處理方面,本發(fā)明采用動(dòng)態(tài)處理技術(shù)縮短了處理時(shí)間。在磁場(chǎng)熱處理方面,本發(fā)明提出的技術(shù)使非孿生單晶的定向凝固晶體也能夠進(jìn)行這種處理,而且不需要進(jìn)行金相觀察,使磁場(chǎng)熱處理能用于生產(chǎn)過(guò)程。
圖1表示了母合金棒制備系統(tǒng)示意圖,其中1-感應(yīng)電源,2-真空熔煉爐,3-真空-惰性氣體系統(tǒng),4-電控系統(tǒng),5-坩堝,6-注塞桿機(jī)構(gòu)(6-1-塞桿頭,6-2-驅(qū)動(dòng)桿,6-3-動(dòng)力-傳動(dòng)機(jī)構(gòu),6-4-葉片),7-翻錠機(jī)構(gòu)(7-1-把持頭,7-2-操作桿),8-鑄造機(jī)構(gòu)(8-1-模具,8-2-模具架,8-3-模具加熱-保溫裝置)。
圖2表示了定向凝固系統(tǒng)示意圖,其中9-母合金棒,10-爐體,11-真空-惰性氣體系統(tǒng),12-電源-加熱器系統(tǒng)(12-1-電源,12-2-電阻加熱器,12-3-測(cè)溫探頭,12-4-控溫裝置),13-爐料處理系統(tǒng)(13-1-拉晶桿,13-2-結(jié)晶器,13-3-坩堝,13-4-冷卻器,13-5-隔熱墊,13-6-送料桿),14-驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),15-籽晶。
圖3表示了幾種區(qū)熔式電阻加熱方法示意圖,其中A-簡(jiǎn)單加熱器(12-2-加熱器),B-多段式加熱器(12-2′-1-預(yù)熱段,12-2′-2-高溫段,12-2′-3-保溫段),C-多熔區(qū)加熱器(12-2″-1-預(yù)熱段,12-2″-2-高溫段,12-2″-3-保溫段,12-2″-4-中間段),D-雙層加熱器(12-2-1-輔助加熱器,12-2-2-主加熱器)。9-母合金棒,9-1-熔區(qū)。
圖4表示了真空定向凝固裝置驅(qū)動(dòng)模式示意圖,其中A-加熱器向上移動(dòng)(12-2-加熱器),B-不移動(dòng)母棒和加熱器(12-2-a,-b,-c,-d,-e加熱器自下向上的各段)。9-母合金棒,13-1-拉晶桿,13-2-結(jié)晶器,13-3-坩堝,13-4-冷卻器,13-5-隔熱墊,13-6-送料桿,15-籽晶。
圖5表示了不同類型母棒定向凝固模式示意圖,其中A-中等直徑較粗棒,B-中等直徑較細(xì)棒,C-大直徑棒,D-小直徑棒,E-多棒。
9-母合金棒,12-2-加熱器,13-1-拉晶桿,13-2-結(jié)晶器,13-3-坩堝,13-4-冷卻器,13-5-隔熱墊,13-6-送料桿,15-籽晶。
圖6表示了磁場(chǎng)熱處理技術(shù)示意圖
9-母合金棒,16-石英爐管,17-電磁鐵,18-可旋轉(zhuǎn)真空密封,19-真空-惰性氣體系統(tǒng),20-加熱爐。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明特別建議采用本人在先的專利申請(qǐng)(01274217.1)所提出的設(shè)備制備母合金,如圖1所示。這種設(shè)備設(shè)置了一套攪拌-翻錠-鑄造操作系統(tǒng),它包括注塞桿機(jī)構(gòu)(6)、翻錠機(jī)構(gòu)(7)和鑄造機(jī)構(gòu)(8)幾部分。注塞桿機(jī)構(gòu)由塞桿頭(6-1)、驅(qū)動(dòng)桿(6-2)和動(dòng)力-傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(6-3)組成。塞桿頭是可以插入并堵塞坩堝底部注孔(5-1)的元件,上表面可以有短葉片(6-4),下端同驅(qū)動(dòng)桿相連。驅(qū)動(dòng)桿的軸線與坩堝注孔的軸線重合,它向下通過(guò)真空密封伸出爐體(2)與動(dòng)力-傳動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)合。動(dòng)力-傳動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)桿使塞桿頭可以上下運(yùn)動(dòng)和繞坩堝軸線旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)桿還有將循環(huán)水接到塞桿頭使它冷卻的使用。翻錠機(jī)構(gòu)(7)位于坩堝上方,它由把持合金錠的把持頭(7-1)和操縱把持頭的操作桿(7-2)組成,具有翻轉(zhuǎn)合金錠的作用。鑄造機(jī)構(gòu)(8)在坩堝上方環(huán)繞驅(qū)動(dòng)桿(6-2),它主要由模具(8-1)和模具架(8-2)組成。模具有單管模具和多管模具兩類。該機(jī)構(gòu)一般還需要設(shè)置模具的加熱或(和)保溫裝置(8-3)。
該系統(tǒng)有松動(dòng)爐料,攪拌料液,翻錠重熔,直接鑄造等多種功能。在熔煉前應(yīng)使塞桿頭(6-1)堵塞坩堝注孔(5-1);在加熱過(guò)程中發(fā)生架料時(shí),通過(guò)上下移動(dòng)塞桿頭可松動(dòng)爐料;在化料過(guò)程中,轉(zhuǎn)動(dòng)和上下移動(dòng)塞桿頭可攪拌合金液;熔煉后升高塞桿頭,抬高在坩堝中凝固的合金錠,操作翻錠機(jī)構(gòu)翻轉(zhuǎn)合金錠,然后將被翻轉(zhuǎn)的合金錠送回到坩堝接受重熔。熔煉過(guò)程完成后下拉塞桿頭(6-1),使塞桿頭從坩堝注孔(5-1)向模具(8-1)移動(dòng),合金液便隨之進(jìn)入模具凝固。該系統(tǒng)使合金化、均勻化和鑄造等工序集中在一個(gè)爐次完成,提高了制備效率,改善了產(chǎn)品質(zhì)量,降低了生產(chǎn)成本。利用該系統(tǒng)的鑄造機(jī)構(gòu)可以一次鑄造多支母合金棒,可以通過(guò)壓力鑄造或離心鑄造技術(shù)提高母棒的致密性,減少冶金缺欠,提高成材率。
母合金棒(9)在定向凝固設(shè)備中,如圖2所示。用區(qū)熔式電阻加熱器進(jìn)行定向凝固處理,這種設(shè)備主要由以下幾部分組成(1)爐體系統(tǒng)(10)。一般使用豎直的金屬爐體,也可以用石英爐體。它們應(yīng)具有良好的真空密封性。
(2)真空-惰性氣體系統(tǒng)(11)。作用在于為爐體提供真空條件并充入保護(hù)性的惰性氣體(如Ar氣)。惰性氣體最好采用高純氣體。
(3)加熱器-電源系統(tǒng)(12)。電源(12-1)向環(huán)形的電阻加熱器(12-2)提供穩(wěn)定的交流或直流電流。加熱器一般裝在爐體內(nèi)部,環(huán)繞母棒(9)。當(dāng)使用石英爐體時(shí),加熱器也可以裝在爐體的外面,環(huán)繞爐體。該系統(tǒng)還包括裝設(shè)在熔區(qū)附近的測(cè)溫探頭(12-3)和控制裝置(2-4)。加熱器的電熱材料可以是優(yōu)質(zhì)NiCr系合金或優(yōu)質(zhì)FeCrAl系合金等普通電熱合金,也可以是Pt、W、Mo、Ta、石墨、SiC或MoSi2等高熔點(diǎn)材料。電熱材料的外面有保溫層。
(4)爐料處理系統(tǒng)(13)。主要由水冷的金屬拉晶桿(13-1)、拉晶桿頭部的水冷結(jié)晶器(13-2)和裝在結(jié)晶器上的管狀坩堝(13-3)組成,母合金棒放在坩堝中。拉晶桿豎直向下,坩堝一般用優(yōu)質(zhì)耐熱陶瓷材料制作,二者的軸線重合。在母棒的底端和結(jié)晶器之間最好有籽晶(15),在加熱器(12-2)下方最好裝設(shè)環(huán)繞母棒和拉晶桿的冷卻器(13-4),加熱器同冷卻器之間最好有環(huán)繞母棒的拉晶桿的環(huán)形隔熱墊(13-5),它用耐熱的陶瓷材料制作。
(5)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(14)。作用于驅(qū)動(dòng)拉晶桿沿母棒的軸向移動(dòng)。該系統(tǒng)最好能同時(shí)驅(qū)動(dòng)拉晶桿繞母棒的軸線旋轉(zhuǎn),使母棒在同一截面上的溫度均勻。
先將籽晶(15)和母棒(9)裝入內(nèi)徑略大于母棒直徑的坩堝(13-3),然后對(duì)爐體(10)抽真空,在真空度高于10-1Pa(是好高于10-2Pa)后,迅速充入壓力為-0.09~+0.2Mpa(最好為-0.06~+0.1MPa)的惰性氣體。為保證氣氛潔凈,抽真空-充氣的操作可運(yùn)行數(shù)次。如果不具備完善的真空系統(tǒng),也可以不抽真空或只抽初級(jí)真空,然后用惰性氣體沖洗爐體,直至爐體內(nèi)氣氛潔凈。
在定向凝固過(guò)程中,先用加熱器(12-2)使籽晶(15)的上端和母棒(9)的下端熔化形成熔區(qū)(9-1),然后下拉拉晶桿(13-1)(最好同時(shí)旋轉(zhuǎn)),使已經(jīng)形成的熔區(qū)在離開(kāi)加熱器的高溫區(qū)向冷卻器(13-4)移動(dòng)的過(guò)程中自下向上凝固,使新熔區(qū)沿母棒向上移動(dòng)。此過(guò)程持續(xù)進(jìn)行,直至區(qū)熔、凝固過(guò)程在母棒頂部完成。為保證效果,定向凝固過(guò)程可重復(fù)1次或數(shù)次。在此過(guò)程中,熔區(qū)溫度應(yīng)控制在1260~1380℃,最好控制在1280~1330℃,熔區(qū)寬度應(yīng)控制得與母棒的直徑大體相同;拉晶桿的移動(dòng)速度可取0.5~30mm/min,最好取2~15mm/min;旋轉(zhuǎn)速度取0.5~.0rpm,最好取2~15rpm。經(jīng)過(guò)定向凝固處理的合金棒具有定向結(jié)晶的組織或?qū)\生單晶的組織。
為了縮短合金液同坩堝壁(13-3)的接觸時(shí)間,使用產(chǎn)生區(qū)熔加熱效果的電阻加熱器(12-2)。為了避免母棒在區(qū)熔時(shí)對(duì)熔池(9-1)產(chǎn)生沖擊和擾動(dòng),最好在母棒(9)的上方裝設(shè)送料桿(13-6),夾持母棒的上端,其軸線應(yīng)與拉晶桿(13-1)的軸線重合。使用另一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(14′)向下移動(dòng)送料桿,在熔區(qū)沿母棒向上移動(dòng)的過(guò)程中,及時(shí)將母棒喂入熔區(qū)(13-3),保證熔區(qū)的穩(wěn)定性。使用送料桿的技術(shù)也適用于感應(yīng)加熱器進(jìn)行定向凝固的處理過(guò)程。
送料桿(13-6)的移動(dòng)速度(V2)應(yīng)與拉晶桿(3-1)的移動(dòng)速度(V1)匹配若坩堝(13-3)的內(nèi)徑為D1,母棒(9)的直徑為D2,則V1×D==V2×D2,即V2=V1×D1/D2。送料桿在向下移動(dòng)的過(guò)程中,最好同時(shí)繞母棒的曲線旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)動(dòng)方向最好與拉晶桿的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反,旋轉(zhuǎn)速度相近。
為了實(shí)現(xiàn)區(qū)熔式的定向凝固,本發(fā)明對(duì)電阻加熱器(12-2)提出了以下幾種設(shè)計(jì)方案(圖3)(1)簡(jiǎn)單加熱器(12-2)(圖3-A)這種加熱器的高度較小,通過(guò)加熱器本身的高度限制熔區(qū)(9-1)寬度。用小加熱器在母棒中產(chǎn)生局部熔區(qū)的難度較大,所以這種加熱器最好用高熔點(diǎn)材料制作。
(2)多段式加熱器(12-2′)(圖3-B)這種加熱器的高度較大,它由幾個(gè)加熱段組成,各段的溫度分別檢測(cè)和控制。最簡(jiǎn)單的情況是兩段式加熱器,其上面的一段較寬(12-2′-1),設(shè)置溫度低于合金的凝固點(diǎn),用于預(yù)熱母棒(9);下面的一段(12-2′-2)較窄,設(shè)置溫度高于合金的熔點(diǎn),它使母棒產(chǎn)生熔區(qū)(9-1)。由于高溫段是對(duì)已經(jīng)預(yù)熱的母棒局部加熱,所以較容易形成熔區(qū),其作用在于阻止合金液在凝固過(guò)程的徑向熱流,促使熱流通過(guò)拉晶桿(13-1)和冷卻器(13-4)集中沿晶體(9)的軸向向下傳輸,保證定向凝固的效果。此外,預(yù)熱段和保溫段分別還可以包含幾段,使靠近高溫段的溫度較高,遠(yuǎn)離高溫段的溫度較低,減緩母棒的加熱和冷卻速度,防止母棒開(kāi)裂。
加熱器各段的電熱材料可以相同,也可以不同,但高溫段最好用高熔點(diǎn)材料制作。
(3)多熔區(qū)加熱器(12-2″)(圖3-C)這也是一種多段式加熱器,但設(shè)有數(shù)個(gè)高溫段(12-2″-2),在一次運(yùn)行過(guò)程中可以對(duì)母棒進(jìn)行數(shù)次區(qū)熔定向凝固處理。加熱器最上面有預(yù)熱段(12-2″-1),最下面最好有保溫段(12-2″-3),高溫段之間有中間段(12-2″-4)。最常用的是雙熔區(qū)加熱器。高溫段的設(shè)置溫度高于合金的熔點(diǎn),預(yù)熱段、保溫段和中間段的設(shè)置溫度低于合金的凝固點(diǎn)。與前面的多段式加熱器相似,預(yù)熱段、保溫段和中間段分別也可以包括幾個(gè)加熱段。加熱器各段的材料選擇原則與多段式加熱器相同。
(4)雙層加熱器(12-2)(圖3-C)這種加熱器包括兩層,各層的溫度分別檢測(cè)和控制。外層使用高度較大的輔助加熱器(12-2-1),設(shè)置溫度低于合金的凝固點(diǎn),產(chǎn)生預(yù)熱和保溫的作用,可以用普通電熱材料制作;內(nèi)層使用較窄的主加熱器(12-2-2),設(shè)置溫度高于合金的熔點(diǎn),用于產(chǎn)生熔區(qū),最好用高熔點(diǎn)材料制作。在輔助加熱器內(nèi),主加熱器最好位于它的中部偏下的位置,最好設(shè)置兩個(gè)或多個(gè)沿母棒(9)軸和排列并相互有一定間隔的主加熱器。設(shè)置兩個(gè)主加熱器時(shí),可以在一次運(yùn)行過(guò)程實(shí)現(xiàn)兩次區(qū)熔定向處理。輔助加熱器可以是一段式的,也可以是多段式的。
4、定向凝固的驅(qū)動(dòng)模式前面均按照向下移動(dòng)母棒的驅(qū)動(dòng)模式設(shè)計(jì)定向凝固技術(shù)。除這種方式外,還可以使用以下驅(qū)動(dòng)模式(1)驅(qū)動(dòng)加熱器向上移動(dòng)(圖4-A)使用驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(14″)驅(qū)動(dòng)加熱器(12-2)向上移動(dòng),隔熱墊(13-5)和冷卻器(13-4)應(yīng)跟隨移動(dòng),拉晶桿(13-1)不移動(dòng)。如果用送料桿(13-6)喂送母棒(9),送料桿向下移動(dòng)的速度應(yīng)同加熱器的移動(dòng)速度匹配。這種模式的加熱器和設(shè)備其它部分的結(jié)構(gòu)與向下移動(dòng)母棒模式的相同,區(qū)熔和定向凝固的過(guò)程也相似,包括拉晶桿和送料桿最好能繞軸旋轉(zhuǎn)。
(2)不移動(dòng)母棒和加熱器(圖4-B)采用這種驅(qū)動(dòng)模式時(shí),區(qū)熔和定向凝固過(guò)程依靠調(diào)節(jié)加熱器(12-2)溫度沿母棒(9)軸線方向的變化實(shí)現(xiàn)。拉晶桿(13-1)和加熱器(12-2)均不移動(dòng)。加熱器的結(jié)構(gòu)與多段式加熱器(12-2′)相似,但高度應(yīng)大于母棒的長(zhǎng)度,應(yīng)使整個(gè)母棒位于加熱器的高度內(nèi)。調(diào)節(jié)各段溫度的方式為先使母棒在加熱器的底部段(12-2-a)形成熔區(qū)(9-1);然后使熔區(qū)移至向上的一段(12-2-b),使底部段的合金凝固;再后,使熔區(qū)移至再上的一段(12-2-c),使其下面一段(12-2-b)的合金凝固。這樣依次調(diào)節(jié),直至最上面一段的母棒區(qū)熔和凝固。在區(qū)熔段以上,各段的設(shè)定溫度應(yīng)低于合金的凝固點(diǎn)。它們可以相同,也可以設(shè)定成向著區(qū)熔段逐段升高;在區(qū)熔段以下,各段的設(shè)定溫度也應(yīng)低于合金的凝固點(diǎn),它們可以相同,也可以設(shè)定成離開(kāi)區(qū)熔段逐段降低。加熱器的段數(shù)越多,定向凝固的效果越好。如果用送料桿(13-6)喂送母棒,送料桿向下移動(dòng)的速度應(yīng)同加熱器的溫度調(diào)節(jié)過(guò)程匹配,拉晶桿和送料桿最好能繞軸旋轉(zhuǎn)。
5、定向凝固技術(shù)模式的選擇原則上前面第2至4項(xiàng)的設(shè)備結(jié)構(gòu)和技術(shù)對(duì)于各種母棒(9)條件(直徑、長(zhǎng)度和數(shù)量)均可適用,但根據(jù)實(shí)際條件選擇不同的技術(shù)模式能獲得更好的定向凝固效果和更高的制備效率。例如(1)中等直徑單母棒制備當(dāng)母棒(9)的直徑較大時(shí)以使用多段式加熱器(12-2′)特別是多熔區(qū)加熱器(12-2″)較好(圖5-A);由于單層電阻加熱器較難實(shí)現(xiàn)窄熔區(qū),所以當(dāng)母棒的直徑較小時(shí),以使用雙層加熱器(12-2)較好,最了裝設(shè)兩個(gè)主加熱器(12-2-2),以便提高定向凝固的效果(圖5B)。
雖然使用送料桿(13-6)會(huì)產(chǎn)生更好的定向凝固效果,但由于母棒直徑不大時(shí)對(duì)熔化對(duì)熔池的沖擊較小,送料桿的控制難度較大,所以在這種條件下可以不使用送料桿。
(2)大直徑單母棒制備(圖5-C)當(dāng)處理大直徑母棒(9)時(shí),區(qū)熔時(shí)母棒對(duì)熔池(9-1)會(huì)產(chǎn)生較大的沖擊,所以最好送料桿(13-6)夾持和喂送母棒。操作時(shí),將籽晶(15)裝入坩堝(13-3)底部,移動(dòng)母棒或坩堝使母棒同籽晶接觸,利用加熱器(12-2)使母棒和籽晶的接觸區(qū)形成熔區(qū)。然后,送料桿同拉晶桿(13-1)或加熱器以精確匹配的速度同步移動(dòng),使熔區(qū)向上移動(dòng)。
大直徑母棒要求寬熔區(qū),所以可采用多段式加熱器加熱(12-2′)。雖然簡(jiǎn)單加熱器可以使用,但它對(duì)于熔區(qū)下方的合金無(wú)保溫效果,不能阻止徑向熱流,凝固的合金易于開(kāi)裂;雖然雙層加熱器(12-2)也可以使用,但其結(jié)構(gòu)較復(fù)雜,控制難度較大。
(3)小直徑單母棒制備(圖5-D)小直徑母棒(9)雖然可以采用與中等直徑母棒相同的定向凝固技術(shù),但由于細(xì)坩堝的比表面積很大,產(chǎn)生表面反應(yīng)和表面缺欠的傾向嚴(yán)重,所以最好用浮區(qū)區(qū)熔技術(shù)進(jìn)行定向凝固。這時(shí)必須裝設(shè)送料桿(13-6),但不使用坩堝(13-3),母棒的上、下兩端分別被拉晶桿(13-1)和送料桿(13-6)夾持。加熱器(12-2)先在母棒的下部產(chǎn)生熔區(qū)(9-1),熔區(qū)依靠合金液的表面張力保持穩(wěn)定。然后,拉晶桿和送料桿以相同的速度向下移動(dòng),或只移動(dòng)加熱器,使熔區(qū)向上移動(dòng)。拉晶桿和送料桿最好還以相同的速度和方向繞軸旋轉(zhuǎn)。
當(dāng)使用籽晶(15)時(shí),籽晶的下端分別被拉晶桿(13-1)夾持,母棒的上端被送料桿(13-6)夾持,移動(dòng)拉晶桿或送料桿,使籽晶的上端同母棒的下端接觸。然后,利用加熱器(12-2)使在母棒和籽晶的接觸區(qū)形成熔區(qū)融合,其它操作同上。
在此模式要求熔區(qū)必須很窄,所以最好用雙層加熱器(12-2)加熱。
(4)中等直徑/多母棒制備(圖5-E)這種模式用于一次運(yùn)行過(guò)程對(duì)多支母棒進(jìn)行定向凝固處理,以便提高制備效率,減少能源消耗。這種模式的結(jié)構(gòu)和技術(shù)與中等直徑/單棒模式的基本相同,只是加熱器(12-2)、冷卻器(12-4)、隔熱墊(12-5)和結(jié)晶器(12-2)均應(yīng)具有較大的直徑。結(jié)晶器上應(yīng)豎直的裝上多支管狀坩堝(13-3)各坩堝裝入籽晶(15)和母棒(9)。然后,按照中等直徑/單棒模式的技術(shù)進(jìn)行定向凝固操作。此模式可以使用各種結(jié)構(gòu)的加熱器,但以雙層加熱器(12-2)為最好。采用雙層加熱器時(shí),在每一支坩堝外,均應(yīng)環(huán)繞一個(gè)主加熱器(12-2-2),或環(huán)繞兩個(gè)沿母棒方向有一定間隔的主加熱器,輔助加熱器(12-2-1)和各主加熱器的溫度最好測(cè)量和控制。冷卻器采用液態(tài)金屬(如In-Ga合金等)作為冷卻介質(zhì)(13-4-1)較好,這樣,各支坩堝在進(jìn)入冷卻器后能獲得相似的冷卻條件。
在這種模式下,使用送料桿會(huì)也會(huì)生更好的定向凝固效果,但對(duì)于多棒處理,其控制難度較大。
6、熱處理和磁場(chǎng)熱處理在定向凝固晶體中,除了主相Rfe2之外,還存在在凝固過(guò)程形成Rfe3和R(R指Tb和Dy)等非平衡相。通過(guò)在共晶溫度附近進(jìn)行熱處理,合金中的Rfe3相同R相反應(yīng)形成Rfe2,可以使非平衡相消失,性能提高。
熱處理在抽真空后充惰性氣體(如Ar氣)的條件下進(jìn)行,惰性氣體應(yīng)具有較高的純度,溫度應(yīng)控制在800~1100℃(最好在900~1000℃)。由于的反應(yīng)較緩慢,熱處理一般需要較長(zhǎng)時(shí)間,如10小時(shí)或更長(zhǎng)。本發(fā)明提出的動(dòng)態(tài)處理技術(shù),使處理溫度在要求的溫度范圍內(nèi)波動(dòng),這樣能加速反應(yīng)過(guò)程,縮短處理時(shí)間。利用這種技術(shù),只需要進(jìn)行1~5小時(shí)熱處理就能反應(yīng)完成,獲得理想的性能。處理結(jié)束后需要緩慢冷卻,防止合金形成裂紋。
在棒狀(TbDy)Fe2孿生單晶中,一組平行的{111}孿晶面平行于棒軸,<112>方向也平行與棒軸。在居里溫度(約350℃)以下,沿垂直于孿晶面的<111>方向(易磁化方向)施加磁場(chǎng),可以使磁疇沿垂直于棒軸的方向排列。經(jīng)過(guò)這種磁場(chǎng)熱處理的晶體,其磁致伸縮性能可以得到大幅度提高。磁場(chǎng)熱處理的困難在于需要對(duì)每一支晶體進(jìn)行金相觀察,確定其垂直棒軸的<111>方向,而且只有孿生單晶才有可能進(jìn)行這種觀察。在一般的定向凝固(TbDy)Fe2合金棒中,雖然<112>方向也接近于平行棒軸,但垂直棒軸的<111>方向是隨機(jī)分布的。
被處理的合金可以是孿生單晶,也可以不是孿生單晶,而且不需要進(jìn)行金相觀察,處理效率較高。這種處理的依據(jù)是在定向凝固質(zhì)量較好的合金棒中,大多數(shù)晶粒的<112>方向是平行于棒軸的,在這些晶粒中就會(huì)有<111>方向與棒軸垂直。所以,若使定向凝固的合金棒垂直于磁場(chǎng),并繞著棒軸方向緩慢旋轉(zhuǎn),這些晶粒就有機(jī)會(huì)使它的<111>方向平行于磁場(chǎng)方向,使它的磁疇沿垂直于棒軸的方向取向。經(jīng)過(guò)處理后,合金棒中的大多數(shù)磁疇便沿著垂直于棒軸的方向取向。
處理過(guò)程包括將經(jīng)過(guò)定向凝固和熱處理的(TbDy)Fe2合金棒(9)放在石英管(16)中,并使棒軸與管軸平行。石英管放入直流磁場(chǎng)(17),軸向與磁場(chǎng)方向垂直,并且通過(guò)一個(gè)可以轉(zhuǎn)動(dòng)的真空密封接口(18)與真空-充惰性氣體系統(tǒng)(19)連接,加熱爐(20)環(huán)繞石英管放置。經(jīng)過(guò)抽真空和充入惰性氣體(如Ar氣)后,將合金棒在380~580℃(最好400~500℃)加熱0.5~3小時(shí)(最好1~2小時(shí))。然后,將溫度降至280~340℃(最好310~330℃),并啟動(dòng)磁場(chǎng)。使磁場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)到240~960kA/m(最好400~640kA/m),同時(shí),使石英管繞軸旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速取0。2~10rpm(最好0.5~2rpm)。當(dāng)合金棒長(zhǎng)時(shí),應(yīng)該使石英管沿管軸方向移動(dòng),使棒的各部分能均勻的接受磁場(chǎng)的作用。加熱0.5~3小時(shí)(最好1~2小時(shí))后,在保持磁場(chǎng)和驅(qū)動(dòng)石英管的條件下,緩慢降溫。圖6表示了磁場(chǎng)熱處理的示意圖。
提供真空或惰性氣體條件的另一種方法是將合金棒(9)放入一關(guān)封口的石英管(16),在抽真空的條件下或抽真空后充惰性氣體的條件下,封信石英管的另一端。然后,將石英管放入磁場(chǎng)(17),用與前面相似的方法進(jìn)行磁場(chǎng)熱處理。
實(shí)施例
按Tb0.29Dy0.71Fe1.95的配比配制爐料,共3.5kg。裝料后抽真空和充入壓力為-0.02Mpa高純氬,然后啟動(dòng)電源加熱爐料。爐料熔清后,轉(zhuǎn)動(dòng)塞桿頭(6-1)攪拌料液,2~3分鐘后關(guān)閉熔煉電源。合金凝固后升高塞桿頭舉升合金錠。然后用翻錠機(jī)構(gòu)(7)將錠翻轉(zhuǎn),再降低塞桿頭,把錠送加坩堝。按此方法將合金重熔兩次。最好一次重熔1分鐘后,在不停止加熱的條件下,以80mm/分鐘的速度下拉塞桿頭,直至全部液態(tài)合金進(jìn)入模具管(8-1)。
出爐后,得到了1支φ20mm、10支φ10mm及8支φ8mm的鑄棒,長(zhǎng)度均約200mm,總重量約2.9kg,質(zhì)量良好。從三種規(guī)格的棒分別取樣分析成分,結(jié)果表明,合金的成分均勻、正確(表1),雜質(zhì)含量很低(表2)。鑄棒經(jīng)表面研磨后用作定向結(jié)晶的母棒。
表1,實(shí)施例1合金的合金元素分析結(jié)果,%
表2,實(shí)施例1合金的雜質(zhì)分析結(jié)果,%
實(shí)施例2使用圖2所示的定向凝固裝置,對(duì)實(shí)施例1制備的φ20mm長(zhǎng)195mm的母棒(9),按大直徑單棒模式進(jìn)行處理,棒的上端用送料桿(13-6)夾持(圖5-3)。內(nèi)徑21mm,長(zhǎng)250mm的石英坩堝(13-3)夾持在結(jié)晶器(13-2)上面,高度為15mm的φ18mm籽晶(15)放在坩堝中。坩堝被3段式加熱器(12-2)環(huán)繞,內(nèi)徑30mm,總功率20kw。加熱器上段(12-2′-1)高100mm,下段(12-2-3)高50mm,均用高溫FeCrAl合金制備,設(shè)定溫度為1000℃。加熱器的中段(12-2′-2)用Pt絲制作,高30mm,設(shè)定溫度為1290℃。加熱器座在厚度為20mm的環(huán)狀剛玉隔熱墊(13-5)上,其下方固定紫銅的水冷環(huán)形冷卻器(13-4),內(nèi)徑30mm,高50mm。
升高拉晶桿(13-1),使籽晶的上端面位于加熱器中段的中心后,降低送料桿(13-6),使母棒(9)進(jìn)入坩堝(13-3),下端與籽晶(15)剛好接觸。定向爐(10)抽真空至5×10-3Pa后充入壓力為0.01Mpa的高純Ar,然后啟動(dòng)加熱器電源(12-1)。當(dāng)中段的溫度達(dá)到設(shè)定溫度并保溫2分鐘后,同時(shí)啟動(dòng)上下驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(14,14′),使拉晶桿以6mm/min的速度下降,以3rpm的速度順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),使送料桿以6.3mm/min的速度下降,以3rpm的速度逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。至母棒的上端移出加熱器下端,接近進(jìn)入冷卻器(13-4)時(shí),停止加熱和驅(qū)動(dòng)過(guò)程。
出爐后得到直徑約20.5mm,長(zhǎng)度約200mm的成品棒,無(wú)裂紋和孔洞。檢測(cè)表明,在40kAm-1的軸向磁場(chǎng)下,棒的軸向應(yīng)變?yōu)?20×10-6。實(shí)施例3將實(shí)施例2得到的合金棒(9)放入真空熱處理爐,抽真空至5×10-3Pa后充入壓力為0.01Mpa的高純Ar。處理過(guò)程的溫度在850~950℃波動(dòng),波動(dòng)周期為20min,處理累計(jì)2小時(shí)后降溫,合金隨爐冷卻。對(duì)出爐的合金棒進(jìn)行檢測(cè)的結(jié)果表明,在40kAm-1的軸向磁場(chǎng)下,棒的軸向應(yīng)變?yōu)?10×10-6;在6Mpa的軸向壓應(yīng)力和40kAm-1的磁場(chǎng)下,應(yīng)變達(dá)到1230×10-6。
將經(jīng)過(guò)熱處理的棒(9)放入長(zhǎng)250mm,內(nèi)徑30mm一端封口的石英管(16),連接石英管和真空系統(tǒng)(19),真空抽至2×10-1Pa時(shí),用石英燒燈加熱和封住石英管的未封口端。將此石英管家裝入長(zhǎng)400mm,內(nèi)徑40mm的加熱爐(20),再將加熱爐放入電磁鐵(17)的極頭之間,使管軸與極頭面平行(參見(jiàn)圖6)。加熱石英管,至溫度升至480℃后保溫1小時(shí)。然后,降溫至320℃,啟動(dòng)磁場(chǎng),使磁場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)到480kA/m。同時(shí),以1rpm的轉(zhuǎn)動(dòng)速度和50mm/min的往復(fù)移動(dòng)速度驅(qū)動(dòng)石英管,使磁場(chǎng)作用到200mm長(zhǎng)的合金棒的各部分。保溫0.5小時(shí)后,在保持磁場(chǎng)和驅(qū)動(dòng)石英管的條件下緩慢降溫。出爐后,對(duì)合金棒的檢測(cè)結(jié)果表明,在40kAm-1軸向磁場(chǎng)下的應(yīng)變?yōu)?80×10-6;在2Mpa的軸身壓應(yīng)力和40kAm-1的磁場(chǎng)下,應(yīng)變達(dá)到1260×10-6。
權(quán)利要求
1.一種制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其工序?yàn)槟负辖鹬苽?、定向凝固、熱處理和磁?chǎng)熱處理,其特征在于a、母合金制備工序?yàn)樵谌蹮捛埃谷麠U頭(6-1)堵塞坩堝注孔(5-1);在加熱過(guò)程發(fā)生架料時(shí),上下移動(dòng)塞桿頭以松動(dòng)爐料;在化料過(guò)程中轉(zhuǎn)動(dòng)和上下移動(dòng)塞桿頭,攪拌合金熔液;熔煉后升高塞桿頭,抬高在坩堝中凝固的合金錠,操作把持頭(7-1)翻轉(zhuǎn)合金錠,將被翻轉(zhuǎn)的合金錠送回坩堝重熔,然后使合金熔液進(jìn)入模具(8-1)凝固成母合金棒(9);b、定向凝固工序?yàn)橄葘⒆丫?15)和母棒(9)裝入內(nèi)徑略大于母棒的坩堝(13-3),然后對(duì)爐體(10)抽真空,在真空度高于10-1Pa后,迅速充入壓力為-0.09~+0.2MPa的惰性氣體;然后用環(huán)繞母棒的壓熔式電阻加熱器(12-2)使籽晶的上端和母棒的下端形成熔區(qū),然后再下拉并旋轉(zhuǎn)熔區(qū)離開(kāi)高溫區(qū)向冷卻器(13-4)方向移動(dòng),在過(guò)程中使熔區(qū)自下而上凝固,使新熔區(qū)沿母棒向上移動(dòng),持續(xù)進(jìn)行此過(guò)程,直到區(qū)熔—凝固過(guò)程在母棒頂部完成;在此過(guò)程中,熔區(qū)溫度應(yīng)控制在1260~1380℃范圍內(nèi),熔區(qū)寬度應(yīng)控制與母棒直徑大致相同,熔區(qū)移動(dòng)速度在0.5~30mm/miu范圍內(nèi),旋轉(zhuǎn)速度取0.5~30rpm,經(jīng)過(guò)此過(guò)程的合金棒具有定向結(jié)晶組織成孿生單晶組織;c、熱處理和磁場(chǎng)熱處理對(duì)定向凝固合金棒進(jìn)行動(dòng)態(tài)熱處理,即處理溫度在800~1100℃共晶溫度附近波動(dòng),經(jīng)1~5小時(shí)后緩慢冷卻。然后將合金棒(9)放入管軸與磁場(chǎng)方向垂直的石英管(16)中,對(duì)石英管抽真空并充入惰性氣體,啟動(dòng)環(huán)繞石英管的加熱爐(20),使合金棒在380~580℃范圍內(nèi)加熱0.5~3小時(shí),此后當(dāng)溫度降至280~340℃,啟動(dòng)磁場(chǎng),使磁場(chǎng)溫度達(dá)到240~960KA/m,同時(shí)使石英管以0.2~10rpm轉(zhuǎn)速繞軸旋轉(zhuǎn),并保持0.5~3小時(shí)后緩慢降溫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于由驅(qū)動(dòng)裝置控制的塞桿頭(6-1)頂部裝有葉片(6-4),使之在旋轉(zhuǎn)攪拌過(guò)程同時(shí)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于電阻加熱由2~3個(gè)加熱段組成,最上層為預(yù)熱段,中層為高溫段,最好在下層設(shè)置保溫段,使高溫段上下形成溫度梯度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于熔區(qū)沿母棒(9)移動(dòng)過(guò)程可重復(fù)多次。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于熔區(qū)的溫度最好在1280~1330℃內(nèi),熔區(qū)移動(dòng)速度最好在2~15mm/min,旋轉(zhuǎn)速度最好取2~15rpm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于合金棒熱處理溫度最好在900~1000℃內(nèi)波動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備TbDyFe基合金定向凝固晶體的方法,其特征在于位于石英管(16)中的合金棒(9)在磁場(chǎng)熱處理過(guò)程中,最好使合金棒在400~500℃溫度范圍內(nèi)加熱1~2個(gè)小時(shí),然后最好將溫度降至310~330℃時(shí)啟動(dòng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為400~640KA/m的磁場(chǎng),同時(shí)石英管以0.5~2rpm轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn),然后在加熱1~2個(gè)小時(shí)后,在保持磁場(chǎng)和石英管運(yùn)轉(zhuǎn)條件下緩慢降溫。
全文摘要
本發(fā)明提出了適合于生產(chǎn)要求的TbDyFe基磁致伸縮合金的制備工藝。該工藝用冷坩堝感應(yīng)爐制備母合金,使制備效率和母棒質(zhì)量得到了大幅度提高;設(shè)計(jì)了幾種加熱器結(jié)構(gòu),解決了用電阻加熱器進(jìn)行熔工定向凝固的困難。利用制備各種直徑晶體的技術(shù),在一個(gè)運(yùn)行周期進(jìn)行幾次定向凝固的方法,及對(duì)多支母棒同時(shí)進(jìn)行定向凝固的方法,提高了晶體的質(zhì)量和制備效率;發(fā)展了高效率的磁場(chǎng)熱處理方法,它不要求被處理的合金必須是孿生單晶。
文檔編號(hào)C30B1/08GK1440848SQ0211094
公開(kāi)日2003年9月10日 申請(qǐng)日期2002年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月28日
發(fā)明者李碚 申請(qǐng)人:李碚