專利名稱：快速熱處理系統(tǒng)排氣壓力控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于快速熱處理(RTP)系統(tǒng)，尤指一種用于快速熱處理系統(tǒng)的處理室的排氣壓力控制方法，其能夠更有效率地控制快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力。
背景技術(shù)：
近年來，快速熱處理系統(tǒng)的設(shè)備已臻完善。典型上，快速熱處理系統(tǒng)利用高強(qiáng)度光源以使置于處理室內(nèi)的基板快速加熱，而其原理主要是關(guān)于均勻地加熱半導(dǎo)體晶圓至適當(dāng)?shù)臏囟?，以及晶片在各種退火過程、化學(xué)反應(yīng)和不同過程的薄膜生長技術(shù)條件下，溫度與時(shí)間關(guān)系的測(cè)量及控制。
為了達(dá)成均勻加熱的目的，有關(guān)快速熱處理系統(tǒng)的已知文獻(xiàn)研究的重點(diǎn)均著眼于加熱系統(tǒng)或加熱燈、或者處理室的熱處理的溫度控制及改善。但是，本發(fā)明是從處理室的氣體分布的角度出發(fā)，對(duì)于許多在處理室內(nèi)實(shí)施的程序來說，例如沉積、蝕刻、磊晶程序、摻雜處理、生長氧化物、氮化反應(yīng)等等，必須將處理氣體輸送進(jìn)處理室中。況且，處理氣體必須被輸送，以便在半導(dǎo)體晶片的整個(gè)表面上產(chǎn)生實(shí)際均勻的結(jié)果。但是，如果快速熱處理系統(tǒng)的處理室的排氣壓力太低，則晶片中的一些物質(zhì)由于釋氣(out gassing)原因而將會(huì)殘留在反射器上，這將會(huì)影響RS值及均勻性。因此，本發(fā)明提出一種快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制方法，得以更精確地控制處理室內(nèi)的排氣壓力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服已知快速熱處理系統(tǒng)的處理室內(nèi)排氣壓力控制不良的問題而提供一種新穎的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制方法。
依據(jù)本發(fā)明，提供有一種用于快速熱處理(RTP)系統(tǒng)的處理室的排氣壓力控制方法，其中，一排氣壓力量測(cè)計(jì)被設(shè)置在快速熱處理系統(tǒng)的主機(jī)體上，該排氣壓力量測(cè)計(jì)連接至快速熱處理反應(yīng)室排氣管線，并具有一上限感測(cè)器及一下限感測(cè)器，以檢視快速熱處理系統(tǒng)的排氣是否超出規(guī)格，該方法中當(dāng)排氣值超出規(guī)格時(shí)，訊號(hào)線會(huì)將訊號(hào)送到快速熱處理系統(tǒng)，然后該系統(tǒng)將會(huì)顯示出警報(bào)訊息，以便通知系統(tǒng)維護(hù)人員來調(diào)整排氣系統(tǒng)的調(diào)整器，藉此，能夠?qū)⒃摽焖贌崽幚矸磻?yīng)室的排氣控制在預(yù)定的范圍(亦即，設(shè)定點(diǎn))內(nèi)，以利于制程中的壓力控制。


為便于進(jìn)一步了解本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)、特征及其他目的，茲結(jié)合附圖詳細(xì)說明如下。
圖1顯示了依據(jù)本發(fā)明的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制的流程圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明現(xiàn)在將于下文中參照附圖而藉由以快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制流程圖當(dāng)做示例來做說明。
首先說明為了實(shí)施快速熱處理系統(tǒng)的處理室的排氣壓力控制方法，而對(duì)依據(jù)本發(fā)明的快速熱處理(RTP)排氣系統(tǒng)所添加的系統(tǒng)組件及其功能。
在依據(jù)本發(fā)明的快速熱處理排氣系統(tǒng)中，在各處理室中添加一排氣壓力量測(cè)計(jì)，此排氣壓力量測(cè)計(jì)被設(shè)置在快速熱處理系統(tǒng)的主機(jī)體上，并被連接至快速熱處理反應(yīng)室的排氣管線，且具有一上限感測(cè)器及一下限感測(cè)器安裝于其上，用以控制快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力在由上限感測(cè)器及下限感測(cè)器所偵測(cè)的范圍之內(nèi)。
快速熱處理反應(yīng)室的排氣管線的備用氣體連接器被連接至排氣壓力量測(cè)計(jì)，此連接器原來是用作氧氣(O2)感測(cè)器，并且遠(yuǎn)離開閘門閥及PCV閥，以便能夠取得正確的排氣壓力讀數(shù)。
此外，一排氣樣本收集埠及一訊號(hào)連接器亦被設(shè)置于排氣壓力量測(cè)計(jì)上，排氣樣本收集埠是用來收集排氣樣本，訊號(hào)連接器則經(jīng)由一訊號(hào)線而與主機(jī)體上的備用聯(lián)鎖訊號(hào)連接器相連接。
有三個(gè)備用聯(lián)鎖訊號(hào)連接器被設(shè)置在主機(jī)體上，一個(gè)是CUST INTLK訊號(hào)連接器、一個(gè)是主機(jī)體排氣(M/F EXHAUST)訊號(hào)連接器、及另一個(gè)是主機(jī)體門(M/F DOOR)訊號(hào)連接器，各聯(lián)鎖訊號(hào)連接器與一限制感測(cè)器訊號(hào)線相連接，當(dāng)排氣限制感測(cè)器被打開時(shí)，訊號(hào)線會(huì)將訊號(hào)送到快速熱處理系統(tǒng)，然后聯(lián)鎖就被觸發(fā)。
因此，在將排氣壓力量測(cè)計(jì)添加入快速熱處理排氣系統(tǒng)中之后，人們能夠控制處理室的排氣，以便能夠減少沉積于反射器上的某些物質(zhì)，這將有利于制程中的壓力控制，并且也可以減低PM頻率。
其次，參照?qǐng)D1的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制的流程圖來詳細(xì)敘述快速熱處理系統(tǒng)的處理室的排氣壓力控制方法。
圖1顯示了依據(jù)本發(fā)明的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制的流程圖。
在快速熱處理排氣系統(tǒng)中添加入排氣壓力量測(cè)計(jì)之后，此排氣壓力量測(cè)計(jì)藉由與其連接的備用氣體連接器來讀取正確的排氣壓力值，如果處理室內(nèi)的排氣壓力值是超過由上限感測(cè)器所設(shè)定的上限，則會(huì)發(fā)出訊號(hào)給系統(tǒng)以致使主機(jī)體排氣，然后通知系統(tǒng)控制器。隨后，系統(tǒng)控制器發(fā)出機(jī)器警報(bào)，并顯示出警報(bào)訊息，而后使制程停止，最后呼叫維護(hù)工程師來進(jìn)行檢查及調(diào)整排氣系統(tǒng)的調(diào)整器。
如果處理室內(nèi)的排氣壓力值系低過由下限感測(cè)器所設(shè)定的下限，則會(huì)發(fā)出訊號(hào)給系統(tǒng)以致能CUST INTLK訊號(hào)連接器，然后通知系統(tǒng)控制器。隨后，系統(tǒng)控制器發(fā)出機(jī)器警報(bào)，并顯示出警報(bào)訊息，而后使制程停止，最后呼叫維護(hù)工程師來進(jìn)行檢查及調(diào)整排氣系統(tǒng)的調(diào)整器。
因此，在采取此措施之后，人們能夠控制處理室的排氣，就不會(huì)有任何臟東西殘留在探針上，便能夠更有效率地控制處理室的溫度。而且，也不會(huì)有下面的情事發(fā)生，即如果快速熱處理系統(tǒng)的處理室的排氣壓力太低，則晶片中的一些物質(zhì)將會(huì)由于釋氣原因而殘留在反射器上，這將會(huì)影響RS值及均勻性。
故由前述本發(fā)明的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制流程圖實(shí)例的詳細(xì)說明可知，本發(fā)明提供一種新穎的快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制方法，可有效地改善已知的快速熱處理系統(tǒng)的缺點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種快速熱處理系統(tǒng)的排氣壓力控制方法，其中，一排氣壓力量測(cè)計(jì)被設(shè)置在快速熱處理系統(tǒng)的主機(jī)體上，該排氣壓力量測(cè)計(jì)連接至快速熱處理反應(yīng)室排氣管線，并具有一上限感測(cè)器及一下限感測(cè)器，以檢視快速熱處理系統(tǒng)的排氣是否超出規(guī)格，在該方法中當(dāng)排氣值超出規(guī)格時(shí)，訊號(hào)線會(huì)將訊號(hào)送到快速熱處理系統(tǒng)，然后該系統(tǒng)將會(huì)顯示出警報(bào)訊息，以便通知系統(tǒng)維護(hù)人員來調(diào)整排氣系統(tǒng)的調(diào)整器，藉此，能夠?qū)⒃摽焖贌崽幚矸磻?yīng)室的排氣控制在預(yù)定的范圍內(nèi)，以利于制程中的壓力控制。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種快速熱處理(RTP)系統(tǒng)的排氣壓力控制方法，其中，一排氣壓力量測(cè)計(jì)被設(shè)置在快速熱處理系統(tǒng)的主機(jī)體上，此排氣壓力量測(cè)計(jì)連接至快速熱處理反應(yīng)室排氣管線，并具有一上限感測(cè)器及一下限感測(cè)器，以檢視快速熱處理系統(tǒng)的排氣是否超出規(guī)格，在本方法中當(dāng)排氣值超出規(guī)格時(shí)，訊號(hào)線會(huì)將訊號(hào)送到快速熱處理系統(tǒng)，然后系統(tǒng)將會(huì)顯示出警報(bào)訊息，以便通知操作人員來調(diào)整排氣的調(diào)整器，藉此，能夠?qū)⒃摽焖贌崽幚矸磻?yīng)室的排氣控制在預(yù)定的范圍內(nèi)，以利于制程中的壓力控制。在將排氣壓力量測(cè)計(jì)添加入快速熱處理排氣系統(tǒng)中之后，人們能夠控制處理室的排氣，以便減少沉積于反射器上的某些物質(zhì)，這將有利于制程中的壓力控制，并且也可以減低PM頻率。
文檔編號(hào)C30B33/00GK1611643SQ20031010814
公開日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2003年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年10月27日
發(fā)明者陳騰宏, 盧祺, 沈成剛, 周利明 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司