專利名稱：半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電去除裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及液晶襯底表 面的靜電去除裝置，該裝置用于去除在半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中附著 在半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電。
背景技術(shù)：
以前，在半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中，由于半導(dǎo)體及液晶的襯底加 工、操作過程會(huì)使該襯底表面帶有靜電，因此經(jīng)常發(fā)生由該靜電造成 的半導(dǎo)體及液晶電路產(chǎn)生靜電損壞的問題。
為解決上述問題，在半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)裝置上設(shè)置了為了去除襯
底表面靜電的離子發(fā)生器(ionizer)。該離子發(fā)生器包括，使用高電 壓電離空氣的電氣離子發(fā)生器(electric ionizer)，以及向空氣輻射軟 X射線進(jìn)而將空氣離子化的軟X射線離子發(fā)生器。
所述電氣離子發(fā)生器雖然操作簡單，但也存在很多問題。例如由 于長時(shí)間高壓放電不但會(huì)因損耗電極而必須更換電極，而且產(chǎn)生的粉 塵也會(huì)附著在襯底上。甚至還存在產(chǎn)生高頻噪音從而嚴(yán)重影響到其它 器件的問題。
此外，由于軟X射線對(duì)人體有影響，故必須有阻止軟X射線離子 發(fā)生器發(fā)出的軟X射線向外部泄漏的結(jié)構(gòu)。但是，在下述的專利文獻(xiàn) 1公開的帶電物體的中和方法中，沒有考慮向外部泄漏的問題，并且 存在過濾器被暴露在軟X射線中而發(fā)生老化的問題。
3專利文獻(xiàn)日本專利申請(qǐng)第2749202號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種在半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中 的半導(dǎo)體及液晶的襯底表面靜電去除裝置。該裝置使用軟X射線離子
發(fā)生器，但阻止軟X射線向外部泄漏，同時(shí)還可以避免圓筒過濾器暴 露于軟X射線中而發(fā)生老化。
本發(fā)明通過采用以下方法解決了上述問題。即在引導(dǎo)容器內(nèi)，設(shè) 置有圓筒過濾器的凈化空氣生成部、設(shè)置有輻射通路的軟X射線輻射 部以及離子化凈化空氣噴出部沿送風(fēng)方向依次配置，同時(shí)，上述凈化 空氣生成部使用防護(hù)部件來阻止其被暴露于軟X射線中。并且凈化空 氣噴出部設(shè)置了只噴出被離子化了的凈化空氣并阻止軟X射線向引導(dǎo) 容器外部泄漏的噴出裝置。
由于本發(fā)明具有上述結(jié)構(gòu)，從圓筒過濾器噴出的凈化空氣在下游 的輻射通路中被軟X射線離子化，該離子化了的凈化空氣自噴出部沿 縱向方向再以均勻風(fēng)量噴出到襯底上，中和、去除該襯底表面的靜 電，因此在半導(dǎo)體襯底以及液晶襯底的加工、操作過程中，上述村底 的電路不會(huì)發(fā)生靜電損壞現(xiàn)象，因而可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。
此外，由于上述噴出部只噴出離子化了的凈化空氣，軟X射線不 會(huì)泄漏到引導(dǎo)容器外部，因此是安全的。
并且，圓筒過濾器還設(shè)置了阻止被軟X射線直接輻射的防護(hù)部 件，因此可以避免該圓筒過濾器老化的問題。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及 液晶襯底表面靜電去除裝置的縱向截面?zhèn)纫晥D。圖2是靜電去除裝置的縱向截面前視圖。
圖3是表示本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及 液晶襯底表面靜電去除裝置之整體立體圖。
圖4是表示在本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中，省略了 引導(dǎo)容器的半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電去除裝置之組件分解立體 圖。
圖5是表示在本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中，半導(dǎo)體 及液晶襯底表面的靜電去除裝置中離子化凈化空氣噴出部之組件分解 立體圖。
圖6是表示在本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中，半導(dǎo)體 及液晶襯底表面的靜電去除裝置中構(gòu)成離子化空氣噴出部的狹縫形成 板之平面圖。
圖7是表示在本發(fā)明所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中，半導(dǎo)體 及液晶襯底表面靜電去除裝置的使用狀態(tài)主要部分之立體圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了 一種安全的半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電去除裝 置。該裝置在引導(dǎo)容器內(nèi)沿送風(fēng)方向依次配置了具有圓筒過濾器的凈 化空氣生成部、軟X射線輻射部以及離子化凈化空氣噴出部，同時(shí)， 上述凈化空氣生成部使用防護(hù)部件來阻止其被暴露于軟X射線中，此 外凈化空氣噴出部通過只噴出被離子化了的凈化空氣以及阻止軟X射 線向引導(dǎo)容器外部泄漏，從而防止了圓筒過濾器老化，并防止了軟X 射線對(duì)人體產(chǎn)生影響。
實(shí)施例
參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說明。圖1是表示本發(fā)明 實(shí)施例1所涉及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及液晶襯底表面 的靜電去除裝置的縱截面?zhèn)纫晥D。圖2是縱截面前視圖。為了從靜電去除裝置高效噴出經(jīng)軟x射線輻射而離子化了的凈化空氣，凈化空氣 必須在離子再結(jié)合之前(再結(jié)合時(shí)間15mm/sec至30mm/sec)噴出
到靜電去除裝置外。鑒于上述觀點(diǎn)，如圖1及圖2所示，本發(fā)明所涉 及的半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及液晶的襯底表面的靜電去除
裝置具有下述結(jié)構(gòu)。即，通過在引導(dǎo)容器4內(nèi)沿送風(fēng)方向依次配置凈 化空氣生成部1、軟X射線輻射部2以及離子化凈化空氣噴出部3， 使上述軟X射線輻射部2與離子化凈化空氣噴出部3盡量靠近，從而 可以使離子化了的凈化空氣在短時(shí)間內(nèi)噴出到上述引導(dǎo)容器4外而不 會(huì)發(fā)生軟X射線的泄漏。
上述凈化空氣生成部1由圓筒過濾器5形成，并且該圓筒過濾器 5是將過濾介質(zhì)(filter media) 6壓制成型為圓筒并形成具有中空部的 通氣空間7的結(jié)構(gòu)，同時(shí)還是在其一側(cè)端部上固定有穿設(shè)了空氣供給 口 8的空氣供給環(huán)(ring) 9,而在其另 一側(cè)上緊貼固定有密封栓10 的結(jié)構(gòu)。所述圓筒過濾器5沒有必要特殊限定，優(yōu)選的是本專利申請(qǐng) 人的專利申請(qǐng)2003-23768文件中所制造的圓筒過濾器。
上述引導(dǎo)容器4在圖1中由圓筒的長筒體11形成，但長筒體并非 僅限于圓筒狀，也可以是多角形體。也就是說，引導(dǎo)容器4由分別固 定設(shè)置于長筒體11兩側(cè)端部的側(cè)壁板12、 13形成，并且該導(dǎo)航器4 內(nèi)存在向外周面部排放經(jīng)所述圓筒過濾器5過濾后的凈化空氣14的排 氣空間15,圓筒過濾器5的兩端部被分別固定于上述側(cè)壁板12、 13。
在上述一側(cè)的側(cè)壁板12上開口形成了與上述圓筒過濾器5的空氣 供給環(huán)9相連通的空氣導(dǎo)入口 16,該空氣導(dǎo)入口 16還與壓縮空氣供 給管17的前端部相連接，該壓縮空氣供給管17內(nèi)的壓縮空氣是由送 風(fēng)機(jī)(圖未示)提供。此外，在上述引導(dǎo)容器4內(nèi)的圓筒過濾器5的 下游，沿送風(fēng)方向依次配置了由軟X射線離子發(fā)生器18輻射出軟X射線19的輻射通路20,以及位于該引導(dǎo)容器4內(nèi)下游端部的離子化 凈化空氣噴出部3。上述軟X射線離子發(fā)生器18構(gòu)成上述軟X射線 輻射部2。
此外，上述側(cè)板壁12的一側(cè)面向由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的引導(dǎo)容器4的 輻射通路20。在上述側(cè)板壁12的一側(cè)，貫通固定了軟X射線離子發(fā) 生器18，從而形成上述軟X射線輻射部2。圖中21是將來自電源22 的電力供給上述軟X射線離子發(fā)生器18的電纜。
為了包裹圍繞上述圓筒過濾器5，在上述引導(dǎo)容器4內(nèi)的圓筒過 濾器5的通氣空間7和排出過濾的凈化空氣14的排氣空間15之間配 置了防護(hù)部件23。該防護(hù)部件23是用于阻止來自軟X射線離子發(fā)生 器18的軟X射線19直接輻射到上述圓筒過濾器5的結(jié)構(gòu)。
即，上述防護(hù)部件23上配i殳有內(nèi)側(cè)罩(inner cover) 24和外側(cè)罩 (outer cover) 25，在內(nèi)側(cè)罩24和外側(cè)罩25之間具有間隔部26,同 時(shí)在該內(nèi)側(cè)罩24和外側(cè)罩25上開口形成多個(gè)分別沿送風(fēng)方向相互不 連通的鋸齒(zigzag)狀長方形通氣狹縫27、 28，該通氣狹縫27、 28 是來自上述圓筒過濾器5的凈化空氣14的通路。該結(jié)構(gòu)可阻止上述軟 X射線19的直接輻射，同時(shí)迫使該凈化空氣14迂回流動(dòng)，從而形成 紊流。此外，雖然上述內(nèi)側(cè)罩24和外側(cè)罩25在實(shí)施例中是圓筒的， 但也可以是多角形體。
接著，由上述結(jié)構(gòu)構(gòu)成的防護(hù)部件23在內(nèi)側(cè)罩24和圓筒過濾器 5之間具有間隔部29,同時(shí)將上述防護(hù)部件23的兩端部安裝固定在上 述引導(dǎo)容器4的兩側(cè)壁板12、 13上。
在上述引導(dǎo)容器4的下游側(cè)面30的縱向方向兩側(cè)分別突出設(shè)置了 向兩旁擴(kuò)展的導(dǎo)航片31，同時(shí)在該下游側(cè)面30上穿設(shè)了具有規(guī)定間 隔的多個(gè)貫通孔32，從而形成了引導(dǎo)板33。引導(dǎo)板33載置于引導(dǎo)容器4內(nèi)的下游側(cè)面30上，該引導(dǎo)容器4上穿設(shè)有與上述各貫通孔32 相連通的連通孔34。固定于上述離子化凈化空氣噴出部3上的噴出裝 置36,分別貫通上述各貫通孔32和連通孔34并噴出由上述軟X線 19離子化凈化空氣35。
即，來自上述圓筒過濾器5的凈化空氣14在輻射通路20內(nèi)被軟 X射線19輻射而離子化，形成了離子化凈化空氣35。噴出裝置36只 噴出該離子化凈化空氣35到半導(dǎo)體及液晶襯底B上，并阻止軟X射 線19向上述引導(dǎo)容器4外泄漏。
上述噴出裝置36由噴出引導(dǎo)板37以及安裝固定于該引導(dǎo)板37上 的狹縫形成板38組成。上述噴出引導(dǎo)板37具有以下結(jié)構(gòu)，在兩側(cè)端 邊緣垂直設(shè)置了折曲片39的長方形襯底40的中央，突出設(shè)置了具有 向上游側(cè)方向開口的石宛狀凹部41的引導(dǎo)管42，同時(shí)在該凹部41的下 游側(cè)中央穿設(shè)了使離子化凈化空氣35流通的通氣孔43，此外，為了 橫斷上述凹部41的中央，在上述引導(dǎo)管42的凹部41的內(nèi)周壁面上， 固定了與上述基板40的縱向方向相平行的防護(hù)桿(rod) 45 ,該防護(hù) 桿45位于能夠阻斷軟X射線19從上述通氣孔43向外部泄漏的位 置，并在與上述通氣孔43之間具有間隔44。上述結(jié)構(gòu)使軟X射線19 不能直接輻射通氣孔43,從而阻止了軟X射線19向引導(dǎo)容器4外泄
漏o
此外，構(gòu)成上述噴出裝置36的狹縫形成板38是由兩片狹縫構(gòu)成 片46、 47構(gòu)成的，該狹縫構(gòu)成片46、 47可形成沿中央縱向方向噴出 上述離子化凈化空氣35的噴出狹縫50。即，狹縫形成板38可形成相 對(duì)的鉤狀切口區(qū)(cut region)48、 49,該切口區(qū)48、 49分別設(shè)置在具有 可插入上述噴出引導(dǎo)板37的各折曲片39之間的兩片狹縫構(gòu)成片46、 47各自內(nèi)側(cè)方，同時(shí)，當(dāng)把上述兩片狹縫構(gòu)成片46、 47對(duì)接在一起時(shí)，由上述各切口區(qū)48、 49形成在中央徑向方向?yàn)殚L方形的狹縫 50,離子化凈化空氣35通過該狹縫50噴出。
接著，將構(gòu)成上述狹縫形成板38的各狹縫構(gòu)成片46、 47插入上 述噴出引導(dǎo)板37的各折曲片39之間從而使上述嵌合部48、 49對(duì)接在 一起，同時(shí)將上述引導(dǎo)管42分別插入上述長筒體11的連通孔34以及 引導(dǎo)板33的貫通孔32中，用螺釘51將噴出裝置36 —體連接固定于 長筒體11。此外，圖中52是表示向圓筒過濾器5內(nèi)輸送壓縮空氣53 的壓力的壓力計(jì)。
中，半導(dǎo)體襯底以及液晶襯底表面靜電去除裝置的作用進(jìn)行說明。當(dāng) 構(gòu)成凈化空氣生成部1的圓筒過濾器5的通氣空間7內(nèi)導(dǎo)入來自壓縮 空氣供給管17的壓縮空氣53時(shí)，由于上述圓筒過濾器5的另一側(cè)端 部被密封栓10閉塞，因此該壓縮空氣53在通氣空間7內(nèi)形成紊流， 經(jīng)過濾介質(zhì)(filter media) 6過濾后，從上述圓筒過濾器5整個(gè)區(qū)域沿 縱向方向噴出形成了均勻風(fēng)量的凈化空氣14。首先會(huì)在設(shè)置于排氣空 間15內(nèi)的防護(hù)部件23的內(nèi)側(cè)罩24和上述圓筒過濾器5之間的間隔部 29內(nèi)噴出。
接著，上述間隔部29內(nèi)沿縱向方向以均勻風(fēng)量噴出的凈化空氣 14,從上述內(nèi)側(cè)罩24的通氣狹縫27向該內(nèi)側(cè)罩24與外側(cè)罩25之間 的間隔部26噴出，再從該外側(cè)罩25的通氣狹縫28向防護(hù)部件23外 的排氣空間15噴出，然后流入構(gòu)成下游側(cè)軟X射線輻射部2的輻射 通路20內(nèi)。
由于設(shè)置了上述防護(hù)部件23，從圓筒過濾器5整個(gè)區(qū)域噴出的凈 化空氣14,在構(gòu)成防護(hù)部件23的內(nèi)外側(cè)罩24、 25內(nèi)形成紊流，再以 均勻的流速流入到上述輻射通路20內(nèi)。另一方面，當(dāng)插入電源22使軟X射線離子發(fā)生器18通電時(shí)，該 軟X射線離子發(fā)生器18就會(huì)向上述輻射通路20內(nèi)輻射軟X射線 19。接著，在上述輻射通3各20內(nèi)沿上述縱向方向以均勻風(fēng)量流入的凈 化空氣14被上述軟X射線19離子化54 (正離子、負(fù)離子)。在上述軟X射線19的輻射通路20中，來自上述圓筒過濾器5的 凈化空氣14由于該軟X射線的輻射而被離子化，形成了沿縱向方向 風(fēng)量均勻的離子化凈化空氣35,之后向構(gòu)成離子化凈化空氣噴出部3 下游側(cè)的噴出裝置36方向輸送該離子化凈化空氣35。
沿縱向方向以均勻風(fēng)量向上述下游側(cè)的上述各噴出裝置36輸送的 離子化凈化空氣35,通過各引導(dǎo)板33的各導(dǎo)航片31被引流至下游側(cè) 面30的中央方向，然后沿構(gòu)成各噴出裝置36的碗狀凹部41的內(nèi)周壁 面流下，通過由上述圓筒過濾器5以均勻風(fēng)量沿徑向方向噴出凈化空 氣35的方式，使該凈化空氣35經(jīng)通氣孔43從狹縫50沿離子化凈化 空氣噴出部3的徑向方向以均勻風(fēng)量噴出到襯底B上，vt人而中和、去 除了該襯底B表面的靜電。
為了將上述離子化凈化空氣35從各噴出狹縫沿縱向方向以均勻風(fēng) 量噴出，設(shè)定上述噴出狹縫50的開口寬度從而使圓筒過濾器5內(nèi)的壓 力高于引導(dǎo)容器4內(nèi)的壓力。
如上所述，防護(hù)部件23在其內(nèi)側(cè)罩24和外側(cè)罩25上分別沿直徑 方向開口形成了多個(gè)相互不連通的鋸齒狀通氣狹縫27、 28。由于采用 了包繞圓筒過濾器5的結(jié)構(gòu)，因而使上述圓筒過濾器5的過濾介質(zhì) (filter media) 6不會(huì)受到軟X射線輻射，從而使過濾介質(zhì)(filter media) 6不會(huì)老化。
此外，在上述輻射通路20和各噴出狹縫50之間，配設(shè)了碗狀凹 部41和4黃斷該凹部41的防護(hù)桿45。該防護(hù)桿45位于該石宛狀凹部41的內(nèi)周壁面，并與通氣孔43之間具有間隔44。并且，由于軟X射線 19的輻射方向與離子化凈化空氣35的排氣方向在角度上相差90度， 因此，上述結(jié)構(gòu)不但可以阻止軟X射線19的直接輻射，而且由于上 述凹部41為碗狀，即使軟X射線19輻射到凹部41的內(nèi)周壁面上， 二次軟X射線也會(huì)向上游側(cè)方向以及橫向方向放射，而不會(huì)放射到離 子噴出方向部。此外，防護(hù)桿45還進(jìn)一步阻止了軟X射線19直接進(jìn) 入通氣筒孔43,從而使對(duì)人體有害的軟X射線19不能泄露在引導(dǎo)容 器外。另外，由于上述防護(hù)桿45的截面為圓形，減小了離子化凈化空 氣35從噴出狹縫50噴出時(shí)的流體阻力，因此風(fēng)量均勻的離子化凈化 空氣35就可以從各噴出狹縫50沿縱向方向噴出到襯底B上。
權(quán)利要求
1.一種在半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電去除裝置，其特征在于在引導(dǎo)容器內(nèi)沿送風(fēng)方向依次配置有，設(shè)置了圓筒過濾器的凈化空氣生成部、設(shè)置了輻射通路的軟X射線輻射部以及離子化凈化空氣噴出部，同時(shí)，所述凈化空氣生成部使用防護(hù)部件來阻止其被暴露于軟X射線中，并且所述凈化空氣噴出部設(shè)置了沿縱向方向以均勻風(fēng)量只噴出離子化了的凈化空氣進(jìn)而阻止軟X射線向引導(dǎo)容器外部泄漏的噴出裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體及液晶生產(chǎn)制造過程中的半導(dǎo)體及液晶襯底表面的靜電去除裝置，該裝置可使圓筒過濾器不被暴露于軟X射線中，也可防止軟X射線泄漏到引導(dǎo)容器外。該靜電去除裝置包括設(shè)置了圓筒過濾器(5)的凈化空氣生成部(1)、軟X射線輻射部(2)以及離子化凈化空氣噴出部(3)，所述各部在引導(dǎo)容器(4)內(nèi)沿送風(fēng)方向依次配置，同時(shí)，所述凈化空氣生成部(1)使用防護(hù)部件(23)來阻止其被暴露于軟X射線(19)中，此外所述凈化空氣噴出部(3)設(shè)置了沿縱向方向以均勻風(fēng)量只噴出離子化凈化空氣(35)并阻止軟X射線(19)向引導(dǎo)容器(4)外部泄漏的結(jié)構(gòu)。
文檔編號(hào)H05F3/06GK101297609SQ200580051890
公開日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2005年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月21日
發(fā)明者岡田誠, 木崎原稔郎, 本田康, 飯?zhí)锷兴?申請(qǐng)人:近藤工業(yè)株式會(huì)社;劍橋?yàn)V片株式會(huì)社