專利名稱：具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法，且特別是有關于一種利用繼電裝置進行異常檢測的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法。
背景技術：
一般在半導體相關的制造工藝步驟中，通常會使用一加熱系統(tǒng)(如三相加熱系統(tǒng))來進行退火(anneal)制造工藝，藉以去除水氣或雜質，并使產品本身有更好的物理特性。請參照圖1，為繪示現有三相加熱系統(tǒng)的方塊示意圖。此三相加熱系統(tǒng)100包含三相電源110、繼電器120、加熱器130、加熱爐140、溫度檢測器150以及溫度控制器160。三相電源110是用以輸入電壓源至繼電器120中，以供繼電器120運作。繼電器120是用以控制加熱器130的開啟或關閉，并通過加熱器130對加熱爐140進行加熱的動作。加熱爐140則是受溫度檢測器150檢測，再經由溫度檢測器150將檢測到的溫度信號傳送至溫度控制器160中，通過溫度控制器160控制繼電器120，使得繼電器120藉此控制加熱器130的開啟或關閉，進而保持加熱爐140中的溫度條件。
請參照圖2，為繪示繼電器與加熱器耦接的示意圖。系統(tǒng)中的三個繼電器210是以三角形的接法相互耦接，且兩兩繼電器210依序首尾相連接，并分別將相連的點引出作為三相電源R、S、T的三個相線。三組加熱器220則是分別與兩兩繼電器210耦接，并通過繼電器210的控制而進行加熱動作，其中各組件在正常狀況下呈三相平衡狀態(tài)。然而，由于系統(tǒng)中并無任何檢測繼電器210故障異常的裝置，因此當三個繼電器210其中之一發(fā)生損壞時，三相平衡狀態(tài)即會發(fā)生欠相的情形，使得加熱制造工藝條件也因而受到影響。此時，在操作者無法實時察覺異常的情況之下，經過加熱制造工藝的產品便不合乎原先預期的標準，也間接增加了制作成本。
因此，需要一種三相加熱系統(tǒng)，具有異常檢測的功能，可藉以在操作時得知發(fā)生異常的情形。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是在提供一種具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法，藉以在進行產品制造工藝而使用三相加熱系統(tǒng)時，可檢測得知制造工藝異常的情形以及判斷故障發(fā)生。
依照本發(fā)明一實施例，提出一種具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)。此系統(tǒng)包含復數個繼電器以及一檢測裝置。繼電器是用以控制系統(tǒng)中加熱器的開啟或關閉。檢測裝置電性耦接于繼電器，并用以檢測繼電器是否有異常狀態(tài)，且包含復數個電性接點以及一切換開關，其中繼電器分別電性耦接于電性接點至少其中之一，而切換開關則是電性耦接于電性接點至少其中之一，且于檢測裝置檢測到繼電器其中之一具異常狀態(tài)時受觸發(fā)而作切換，藉以輸出一檢測信號告知發(fā)生異常狀態(tài)。
依照本發(fā)明另一實施例，提出一種檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法。此方法包含將一檢測繼電器電性耦接于一三相加熱系統(tǒng)中用以開啟或關閉加熱器的復數個繼電器；將一電源繼電器電性耦接于檢測繼電器；在繼電器其中的一具異常狀態(tài)時觸發(fā)檢測繼電器以輸出一檢測信號；根據檢測信號觸發(fā)電源繼電器；通過電源繼電器激活一異常指示器。
通過本發(fā)明的具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法，可于三相加熱系統(tǒng)因三相電源發(fā)生欠相情形，或系統(tǒng)內部控制加熱器開關的繼電器發(fā)生損壞時，實時檢測故障異常的情形，避免產品因溫度條件改變而不符合原先標準，并且可讓操作者更方便、迅速地得知系統(tǒng)異常，供操作者進行實時的修復工作。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點與實施例能更明顯易懂，所附圖式的詳細說明如下圖1為繪示現有三相加熱系統(tǒng)的方塊示意圖。
圖2為繪示繼電器與加熱器耦接的示意圖。
圖3為繪示依照本發(fā)明一實施例的具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)的方塊示意圖。
圖4為繪示依照本發(fā)明一實施例的三相加熱系統(tǒng)中檢測電路的連接構造示意圖。
圖5為繪示如圖4所示的檢測繼電器的示意圖。
圖6為繪示依照本發(fā)明一實施例的檢測三相加熱系統(tǒng)的方法的流程圖。
附圖標號100、300三相加熱系統(tǒng) 380輸出處理裝置110、310三相電源 430檢測繼電器120、210、320、410繼電器 440電源繼電器130、220、330、420加熱器 450異常指示器140、340加熱爐460故障指示器150、350溫度檢測器470重置開關160、360溫度控制器600～608步驟370檢測裝置 SW1、SW2、SW3切換開關具體實施方式
請參照圖3，為繪示依照本發(fā)明一實施例的具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)的方塊示意圖。在此三相加熱系統(tǒng)300中，三相電源310是用以輸入電壓源至繼電器320中，以供繼電器320運作。繼電器320是用以控制加熱器330的開啟或關閉，并通過加熱器330對加熱爐340進行加熱的動作。加熱爐340則是受溫度檢測器350檢測，再經由溫度檢測器350將檢測到的溫度信號傳送至溫度控制器360中，通過溫度控制器360控制繼電器320，使得繼電器320藉此控制加熱器330的開啟或關閉，進而保持加熱爐340中的溫度條件。此外，三相加熱系統(tǒng)300中還具有一檢測電路，用以檢測繼電器320是否發(fā)生故障異常。此檢測電路包含一檢測裝置370以及一輸出處理裝置380，其中檢測裝置370是用以判別繼電器320是否發(fā)生故障的情形，而輸出處理裝置380則是顯示異常指示信號以供操作者判讀。
請參照圖4，為繪示依照本發(fā)明一實施例的三相加熱系統(tǒng)中檢測電路的連接構造示意圖。在本實施例中，系統(tǒng)中的三個繼電器410是以三角形的接法相互耦接，且兩兩繼電器410依序首尾相連接，并分別將相連的點引出作為三相電源R、S、T的三個相線。三組加熱器420則是分別與兩兩繼電器410耦接，并通過繼電器410的控制而進行加熱動作，其中各組件在正常狀況下呈三相平衡狀態(tài)。此外，還使用一檢測繼電器430以及一電源繼電器440分別作為檢測裝置以及輸出處理裝置來使用，其中檢測繼電器430可為一欠相檢測保護繼電器。檢測繼電器430分別電性耦接于三個繼電器410，并用以檢測繼電器410是否有異常的狀態(tài)，而電源繼電器440則是電性耦接于檢測繼電器430以及一異常指示器450，并根據檢測繼電器430所檢測到的信號激活異常指示器450，藉以供操作者判讀，其中異常指示器450可為一蜂鳴器或一指示燈。
圖5為繪示如圖4所示的檢測繼電器的示意圖。請同時參照圖4以及圖5，檢測繼電器430內包含有數個電性接點以及一切換開關SW1，其中三個繼電器410分別電性耦接于檢測繼電器430內的電性接點，而切換開關SW1也電性耦接于電性接點，且在檢測繼電器430檢測到其中的一個繼電器410具異常狀態(tài)時，受到觸發(fā)而作切換，以輸出一檢測信號DS告知發(fā)生異常狀態(tài)，且檢測信號DS被傳送至電源繼電器440中。電源繼電器內440還包含兩切換開關SW2和SW3，分別電性耦接于檢測繼電器430，其中切換開關SW2還電性耦接于異常指示器450，并在受到檢測繼電器430所輸出的檢測信號DS觸發(fā)時作切換，以激活異常指示器450供操作者判讀。而切換開關SW3則是同樣在受到檢測繼電器430所輸出的檢測信號DS觸發(fā)時作切換，同時形成一自保持回路，使得切換開關SW3在切換后所輸出的觸發(fā)信號再傳送至切換開關SW3本身，以維持切換開關SW3切換后的狀態(tài)。
此外，系統(tǒng)內還可包含一故障指示器460以及一重置開關470。故障指示器460是用以電性耦接于切換開關SW3，并在切換開關SW3作切換后通過切換開關SW3激活，且由于切換開關SW3在自保持回路中維持切換后的狀態(tài)，使得故障指示器460可持續(xù)被激活，以供操作者判讀。重置開關470則是位于切換開關SW3所形成的自保持回路中，待操作者將故障排除后，供操作者使用以重置自保持回路，使得切換開關SW3回復至原先尚未切換的狀態(tài)。
請參照圖6，為繪示依照本發(fā)明一實施例的檢測三相加熱系統(tǒng)的方法的流程圖。首先，將檢測繼電器電性耦接于三相加熱系統(tǒng)中用以開啟或關閉加熱器的繼電器，通過檢測繼電器來判別控制加熱器的繼電器是否有故障異常的情形發(fā)生(步驟600)。接著，將電源繼電器電性耦接于檢測繼電器，用以接收由檢測繼電器所輸出的檢測信號(步驟602)。然后，在其中的一個繼電器具異常狀態(tài)時觸發(fā)檢測繼電器，通過檢測繼電器輸出檢測信號告知發(fā)生異常狀態(tài)(步驟604)。之后，再根據檢測繼電器所輸出的檢測信號觸發(fā)電源繼電器(步驟606)。最后，在電源繼電器受到觸發(fā)后通過電源繼電器激活異常指示器，以供操作者判讀(步驟608)。
此外，還可將電源繼電器設計形成一自保持回路，使得電源繼電器在受到檢測信號觸發(fā)后維持切換后的狀態(tài)。再者，還可將一故障指示器電性耦接于電源繼電器并在電源繼電器受到觸發(fā)后通過電源繼電器激活故障指示器，且由于電源繼電器在自保持回路中維持切換后的狀態(tài)，使得故障指示器可持續(xù)被激活，以供操作者判讀。另外，也可將一重置開關電性耦接于電源繼電器，并使其位于電源繼電器形成的自保持回路中，供操作者使用以重置自保持回路，而使得電源繼電器回復至尚未切換的狀態(tài)。
由上述本發(fā)明的實施例可知，本發(fā)明的具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)及其檢測方法可于三相加熱系統(tǒng)因三相電源發(fā)生欠相情形，或系統(tǒng)內部控制加熱器開關的繼電器發(fā)生損壞時，用以實時檢測故障異常的情形，避免產品因溫度條件改變而不符合原先標準，并且可讓操作者更方便、迅速地得知系統(tǒng)異常，供操作者進行實時的修復工作。
雖然本發(fā)明已以實施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，當可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視權利要求所界定者為準。
權利要求
1.一種具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)包含復數個繼電器，用以控制系統(tǒng)中加熱器的開啟或關閉；以及一檢測裝置，電性耦接于所述的繼電器并用以檢測所述的繼電器是否有異常狀態(tài)，該檢測裝置包含復數個電性接點，所述的繼電器分別電性耦接于所述的電性接點至少其中之一；以及一切換開關，電性耦接于所述的電性接點至少其中之一，且于所述的檢測裝置檢測到所述的繼電器其中之一具異常狀態(tài)時受觸發(fā)而作切換，藉以輸出一檢測信號告知發(fā)生異常狀態(tài)。
2.如權利要求1所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)還包含一電源繼電器，電性耦接于所述的檢測裝置，并根據該檢測信號以激活一異常指示器。
3.如權利要求2所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，所述的切換開關是在檢測到所述的繼電器其中之一具異常狀態(tài)時作切換而傳送所述的檢測信號至所述的電源繼電器。
4.如權利要求2所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，所述的電源繼電器還包含一第二切換開關，電性耦接于所述的檢測裝置，并根據所述的檢測信號而作切換，以激活所述的異常指示器。
5.如權利要求4所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，所述的電源繼電器還包含一第三切換開關，電性耦接于所述的檢測裝置，并根據所述的檢測信號而作切換，且形成一自保持回路，使得該第三切換開關維持切換后的狀態(tài)。
6.如權利要求5所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)還包含一故障指示器，電性耦接于所述的第三切換開關，并在該第三切換開關作切換后激活。
7.如權利要求5所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，該系統(tǒng)還包含一重置開關，電性耦接于所述的第三切換開關，用以重置所述的自保持回路而使得該第三切換開關回復至尚未切換的狀態(tài)。
8.如權利要求1所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，所述的檢測裝置為一欠相檢測保護繼電器。
9.如權利要求1所述的三相加熱系統(tǒng)，其特征是，所述的異常指示器為一蜂鳴器或一指示燈。
10.一種檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，該方法包含將一檢測繼電器電性耦接于一三相加熱系統(tǒng)中用以開啟或關閉加熱器的復數個繼電器；將一電源繼電器電性耦接于所述的檢測繼電器；在所述的繼電器其中之一具異常狀態(tài)時觸發(fā)所述的檢測繼電器以輸出一檢測信號；根據該檢測信號觸發(fā)所述的電源繼電器；以及通過該電源繼電器激活一異常指示器。
11.如權利要求10所述的檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，該方法還包含使所述的電源繼電器形成一自保持回路，以致所述的電源繼電器在受到所述的檢測信號觸發(fā)后維持切換后的狀態(tài)。
12.如權利要求11所述的檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，該方法還包含將一故障指示器電性耦接于所述的電源繼電器，使得該故障指示器在該電源繼電器維持切換后的狀態(tài)時持續(xù)被激活。
13.如權利要求11所述的檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，該方法還包含將一重置開關電性耦接于所述的電源繼電器，并通過該重置開關重置所述的自保持回路而使得該電源繼電器回復至尚未切換的狀態(tài)。
14.如權利要求10所述的檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，所述的檢測繼電器為一欠相檢測保護繼電器。
15.如權利要求10所述的檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法，其特征是，所述的異常指示器為一蜂鳴器或一指示燈。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具異常檢測功能的三相加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含數個繼電器以及檢測裝置。繼電器是用以控制系統(tǒng)中加熱器的開啟或關閉。檢測裝置則是電性耦接于繼電器，并用以檢測繼電器是否有異常狀態(tài)，且包含數個電性接點以及切換開關，其中繼電器分別電性耦接于電性接點至少其中之一，而切換開關則是電性耦接于電性接點至少其中之一，且于檢測裝置檢測到繼電器其中之一具異常狀態(tài)時受觸發(fā)而作切換，藉以輸出一檢測信號告知發(fā)生異常狀態(tài)。一種檢測三相加熱系統(tǒng)異常的方法也在此揭示。本發(fā)明可實時檢測故障異常的情形，避免產品因溫度條件改變而不符合原先標準，并且可讓操作者更方便、迅速地得知系統(tǒng)異常，供操作者進行實時的修復工作。
文檔編號H05B1/02GK101026296SQ20071008834
公開日2007年8月29日 申請日期2007年3月16日 優(yōu)先權日2007年3月16日
發(fā)明者曾振助, 陳士元, 王維揚, 林少陵 申請人:友達光電股份有限公司