專利名稱：一種長壽命微波放電內(nèi)導(dǎo)體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種長壽命微波放電內(nèi)導(dǎo)體，屬于機(jī)械測試領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
微波放電內(nèi)導(dǎo)體工作在高溫及氧化性的環(huán)境中，要求內(nèi)導(dǎo)體能夠在高溫條
件下(200(TC以上)長期工作而不被氧化或熔化。但由于內(nèi)導(dǎo)體處在高溫等離 子體環(huán)境中，熱量不易散發(fā)，即使耐高溫的金屬鎢和鉑也被熔化，嚴(yán)重制約了 內(nèi)導(dǎo)體的使用壽命。
目前主要采用如圖l所示的內(nèi)導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，由密封陶瓷、可伐和實(shí)心內(nèi)導(dǎo)體 組成。密封陶瓷與可伐焊接，內(nèi)導(dǎo)體一端與可伐的一端焊接。
目前內(nèi)導(dǎo)體的缺點(diǎn)和不足
① 內(nèi)導(dǎo)體的熱量不能散發(fā)，導(dǎo)致內(nèi)導(dǎo)體熔化，使用壽命不足100小時(shí)；
② 由于內(nèi)導(dǎo)體使用壽命短，需要經(jīng)常更換，導(dǎo)致放電不能連續(xù)，降低了設(shè)
備使用效率；
③ 由于需經(jīng)常更換內(nèi)導(dǎo)體，而且，內(nèi)導(dǎo)體是由昂貴的鎢或鉑制作，設(shè)備使
用成本大大增加；
④ 熔化的內(nèi)導(dǎo)體對等離子體造成污染，影響了等離子體的純度。
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、成本低、使用壽命長微波放電內(nèi) 導(dǎo)體。
本實(shí)用新型的目的是通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
本實(shí)用新型的一種長壽命微波放電內(nèi)導(dǎo)體，由可伐、密封陶瓷、空心內(nèi)導(dǎo) 體、冷卻水管組成；其鏈接關(guān)系為可伐和密封陶瓷通過焊接鏈接；可伐的一 端與空心內(nèi)導(dǎo)體的一端焊接；冷卻水管伸入到內(nèi)導(dǎo)體的內(nèi)部。內(nèi)導(dǎo)體的內(nèi)部為 空心，冷卻水管伸入到天線內(nèi)部；在空心內(nèi)導(dǎo)體中可引入一根冷卻水管，冷卻水可到達(dá)內(nèi)導(dǎo)體的端部并沿著內(nèi)導(dǎo)體內(nèi)壁回流，利用冷卻水將內(nèi)導(dǎo)體的熱量帶 走，達(dá)到冷卻冷導(dǎo)體的目的。
其工作原理為通過冷卻水管將去離子水送入到空心內(nèi)導(dǎo)體端部，將內(nèi)導(dǎo) 體的熱量帶走，從而達(dá)到降溫的目的。經(jīng)過水冷降溫后，內(nèi)導(dǎo)體不再熔化，因 此，不需要使用昂貴的耐高溫的金屬鉤或鉑，可使用不銹鋼材料制作內(nèi)導(dǎo)體。
本實(shí)用新型的發(fā)明點(diǎn)為
① 本發(fā)明將實(shí)心內(nèi)導(dǎo)體改為空心內(nèi)導(dǎo)體，并在空心內(nèi)導(dǎo)體中通入冷卻水， 直接對內(nèi)導(dǎo)體頭部進(jìn)行冷卻；
② 由于內(nèi)導(dǎo)體經(jīng)水冷卻后的溫度在IO(TC以下，不再有嚴(yán)重的氧化和熔化 問題，內(nèi)導(dǎo)體不需要使用昂貴的鎢或鉑制作，可用不銹鋼材料代替。
有益效果本實(shí)用新型的內(nèi)導(dǎo)體通過將實(shí)心內(nèi)導(dǎo)體改為空心內(nèi)導(dǎo)體并用去 離子水冷卻內(nèi)導(dǎo)體頭部，達(dá)到降低內(nèi)導(dǎo)體頭部溫度的目的，克服了由于長期使 用實(shí)心內(nèi)導(dǎo)體，熱量不能及時(shí)散發(fā)，導(dǎo)致內(nèi)導(dǎo)體頭部熔化、氧化的缺點(diǎn)，有效 解決了內(nèi)導(dǎo)體使用壽命短的難題；使用壽命由原來的不足100小時(shí)，提高到 10000小時(shí)以上；由于用不銹鋼材料代替昂貴的耐高溫金屬鉤或鉑制作，使內(nèi)
導(dǎo)體的制作成本由原來3000元/個(gè)，降到了 100元/個(gè)；與目前使用的內(nèi)導(dǎo)體相
比較，具有成本低、使用壽命長、自身污染小等優(yōu)點(diǎn)。

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圖l一以前內(nèi)導(dǎo)體結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2—本發(fā)明內(nèi)導(dǎo)體結(jié)構(gòu)示意圖中l(wèi)一可伐、2 —密封陶瓷、3 —實(shí)心內(nèi)導(dǎo)體、4一空心內(nèi)導(dǎo)體、5 —冷卻 水管。
具體實(shí)施方式實(shí)施例
本實(shí)用新型由可伐l、密封陶瓷2、空心內(nèi)導(dǎo)體4、冷卻水管5組成?？煞?1和密封陶瓷2通過焊接鏈接；可伐1的一端與空心內(nèi)導(dǎo)體4的一端焊接；內(nèi) 導(dǎo)體的內(nèi)部為空心，冷卻水管伸入到天線內(nèi)部；在空心內(nèi)導(dǎo)體4中可引入一根冷卻水管5，冷卻水可到達(dá)內(nèi)導(dǎo)體4的端部并沿著內(nèi)導(dǎo)體4內(nèi)壁回流，利用冷
卻水將內(nèi)導(dǎo)體的熱量帶走，達(dá)到冷卻冷導(dǎo)體的目的。
本實(shí)用新型的主要功能是將微波能傳入到放電室；微波通過密封陶瓷2傳 入到放電室內(nèi)部，產(chǎn)生高溫等離子體；空心內(nèi)導(dǎo)體4處在高溫等離子體中，溫
度可達(dá)200(TC以上，足以將所有金屬熔化；通過將冷卻水引入到空心內(nèi)導(dǎo)體4 的端部，使熱量及時(shí)被帶走，從而確?？招膬?nèi)導(dǎo)體4的溫度在IO(TC以下，減 少等離子體對內(nèi)導(dǎo)體的氧化或者避免熔化，使內(nèi)導(dǎo)體的使用壽命增加，提高等 離子體的純度。
權(quán)利要求1、一種長壽命微波放電內(nèi)導(dǎo)體，由可伐(1)、密封陶瓷(2)、空心內(nèi)導(dǎo)體(4)、冷卻水管(5)組成；其特征在于可伐(1)和密封陶瓷(2)通過焊接鏈接；可伐(1)的一端與空心內(nèi)導(dǎo)體(4)的一端焊接；內(nèi)導(dǎo)體的內(nèi)部為空心，冷卻水管伸入到天線內(nèi)部；在空心內(nèi)導(dǎo)體(4)中可引入一根冷卻水管(5)，冷卻水可到達(dá)內(nèi)導(dǎo)體(4)的端部并沿著內(nèi)導(dǎo)體(4)內(nèi)壁回流，利用冷卻水將內(nèi)導(dǎo)體的熱量帶走，達(dá)到冷卻冷導(dǎo)體的目的。
專利摘要本實(shí)用新型專利公布了一種微波放電內(nèi)導(dǎo)體，適用于利用微波能產(chǎn)生高密度等離子體的放電裝置。其結(jié)構(gòu)由可伐、密封陶瓷、空心內(nèi)導(dǎo)體和冷卻水管組成。其特點(diǎn)在于內(nèi)導(dǎo)體是空心的，冷卻水管可以深入到內(nèi)導(dǎo)體的內(nèi)部，把冷卻水送入內(nèi)導(dǎo)體溫度最高的端部。由于能夠使內(nèi)導(dǎo)體的放電端部得到充分冷卻，減輕了高溫氧化性氣體對內(nèi)導(dǎo)體端部的氧化，并避免了熔化，使內(nèi)導(dǎo)體的使用壽命延長了一百倍以上。內(nèi)導(dǎo)體可用不銹鋼材料代替耐高溫的鎢或鉑，制作成本降低為原成本的三十分之一。因而，具有成本低、結(jié)構(gòu)可靠和使用壽命長的特點(diǎn)。
文檔編號H05H1/26GK201153346SQ20072019100
公開日2008年11月19日 申請日期2007年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者李中華, 王敬宜, 鄭闊海 申請人:中國航天科技集團(tuán)公司第五研究院第五一〇研究所