專利名稱：：具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是關(guān)于一種多晶硅長(zhǎng)晶爐，尤其是指一種適用于具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐。
背景技術(shù)：
：請(qǐng)參閱圖l，其顯示為公知的長(zhǎng)晶爐的示意圖，如圖所示一加熱室90設(shè)置于長(zhǎng)晶爐9內(nèi)，于加熱室90內(nèi)容設(shè)有桌板91、與坩堝92，坩堝92中裝盛有熔融的硅漿。以支撐柱93固設(shè)于長(zhǎng)晶爐9的爐底蓋94，并支撐于桌板91、及坩堝92的下方。如1圖所示，電熱器95設(shè)置于坩堝92四周，以幅射熱對(duì)硅漿進(jìn)行加熱，對(duì)坩堝92上部、及下部則無法直接且均勻地加熱。又為了要提供坩堝92穩(wěn)固的支撐，桌板91制作的非常厚重，而導(dǎo)致桌板91的熱容量大。加熱時(shí)，桌板91需吸收大量的潛熱后才能逐漸達(dá)到設(shè)定溫度；在冷卻時(shí)，桌板91散熱不易，使得長(zhǎng)晶爐9浪費(fèi)許多不必要的能源。再者，由于桌板91散熱不易，使坩堝92內(nèi)的硅漿上、下冷卻不均勻，造成凝固后的晶碇內(nèi)部存有應(yīng)力，最終產(chǎn)出的硅碇質(zhì)量不佳。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，以期克服公知技術(shù)中存在的浪費(fèi)能源及產(chǎn)品質(zhì)量不佳的問題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，包括一爐體，包括有一爐上腔、及一爐底蓋，該爐底蓋是蓋合于該爐上腔下方、并共同圍繞形成一爐內(nèi)空間；一支撐桌體，容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)，該支撐桌體包括有一桌板、及復(fù)數(shù)根支撐柱，該桌板通過該復(fù)數(shù)根支撐柱以固設(shè)于該爐底蓋內(nèi)；其中一頂加熱器，容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)、并對(duì)應(yīng)位于該桌板上方，該頂加熱器包括有一第一層加熱器、及至少一第二層加熱器分別懸吊固設(shè)于該爐上腔內(nèi)，該第一層加熱器是高于該至少一第二層加熱器，該至少一第二層加熱器其外周并大于該第一層加熱器；以及一底加熱器，與該支撐桌體的該桌板組設(shè)一起。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，還包括有一加熱室容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)，該加熱室內(nèi)部形成有一室內(nèi)空間其內(nèi)至少容納有該支撐桌體的該桌板、該頂加熱器、與該底加熱器。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室是雙層結(jié)構(gòu)，包括有一內(nèi)層隔熱材及一外層保溫材。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室包括有一上罩、及一下隔板，通過該上罩蓋合于該下隔板上以共同圍繞形成該室內(nèi)空間。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，還包括有復(fù)數(shù)個(gè)穿孔、及復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒，該加熱室的該下隔板貫設(shè)有該復(fù)數(shù)個(gè)穿孔，該復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒穿設(shè)于該復(fù)數(shù)個(gè)穿孔內(nèi)，該復(fù)數(shù)根支撐柱分別穿過該復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒，并固設(shè)于爐底蓋內(nèi)。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室的該上罩包括有一上隔板、及復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板，該復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板彼此并排圍繞固設(shè)于該上隔板下方。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該頂加熱器的該第一層加熱器包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，該二石墨電極分別電連接至該環(huán)狀電阻。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該頂加熱器的該至少一第二層加熱器包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，該二石墨電極分別電連接至該環(huán)狀電阻。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該底加熱器包括有復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條，分別設(shè)置于該支撐桌體的該桌板下方；每一支撐柱包括有一石墨電極支柱，支撐頂?shù)钟谠搹?fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條其中的一下方并彼此形成電性連接。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，還包括復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片，該復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片設(shè)置于該支撐桌體的該桌板與該復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條之間。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，每一支撐柱還包括有一調(diào)整螺帽，該石墨電極支柱頂端還設(shè)有一外螺牙，通過該調(diào)整螺帽螺合于該外螺牙上以支撐頂?shù)种搹澢娮钘l。所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該調(diào)整螺帽包括有一石墨調(diào)整螺帽。本發(fā)明的效果是可加速內(nèi)部硅原料吸收熱能，產(chǎn)生良性循環(huán)以快速熔融加熱整鍋坩堝內(nèi)的硅原料，故可節(jié)省能源與時(shí)間。再者，由于頂、底加熱器幾何線條簡(jiǎn)單，且各別加熱器其型狀對(duì)稱，除能對(duì)坩堝均勻加熱，除省能又方便加熱器加工，可節(jié)省加熱器制造成本。此外，長(zhǎng)晶爐的內(nèi)層隔熱材可隔絕加熱室能量外泄、外層保溫材更可加強(qiáng)保溫效果，如此可達(dá)節(jié)能的好處。圖l為公知長(zhǎng)晶爐的示意圖。圖2為本發(fā)明長(zhǎng)晶爐其一較佳實(shí)施例的剖視圖。圖3為本發(fā)明頂加熱器其一較佳實(shí)施例的示意圖。圖4為本發(fā)明底加熱器其一較佳實(shí)施例的示意圖。圖5為本發(fā)明底加熱器其一較佳實(shí)施例的立體圖。附圖中主要組件符號(hào)說明爐體l6爐內(nèi)空間IO爐上腔ll爐底蓋12支撐桌體2桌板21支撐柱22調(diào)整螺帽220石墨電極支柱221金屬電極柱222固定座223頂加熱器3第一層加熱器31石墨電極310,320電阻條板311第二層加熱器32電阻長(zhǎng)板321底加熱器4彎曲電阻條41加熱室5室內(nèi)空間50上罩51上隔板511側(cè)隔板512貫孔513下隔板52穿孔521負(fù)載框體6底板61側(cè)板62坩堝7,92長(zhǎng)晶爐9加熱室90桌板91支撐柱93爐底蓋94電熱器95絕緣壓片23套筒322高領(lǐng)套筒52具體實(shí)施例方式本發(fā)明的具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，包括一爐體、一支撐桌體、一頂加熱器、及一底加熱器。爐體包括有一爐上腔、及一爐底蓋，爐底蓋是蓋合于爐上腔下方、并共同圍繞形成一爐內(nèi)空間。支撐桌體容設(shè)于該爐體的爐內(nèi)空間內(nèi)，支撐桌體包括有一桌板、及復(fù)數(shù)根支撐柱，桌板通過復(fù)數(shù)根支撐柱以固設(shè)于爐底蓋內(nèi)。頂加熱器容設(shè)于爐體的爐內(nèi)空間內(nèi)、并對(duì)應(yīng)位于桌板上方，頂加熱器包括有一第一層加熱器、及至少一第二層加熱器分別懸吊固設(shè)于爐上腔內(nèi)，第一層加熱器是高于第二層加熱器，第二層加熱器其外周并大于第一層加熱器，二者共同形成一金字塔形狀。底加熱器與支撐桌體的桌板組設(shè)一起。8由頂、底加熱器一起對(duì)坩堝由上下方加熱，可以加速坩堝內(nèi)硅原料的熔融效率；同時(shí)，本實(shí)施例的第一層加熱器與第二層加熱器更依照硅原料堆棧而成的金字塔形狀設(shè)計(jì)排列，故可使其第一層加熱器與第二層加熱器更加靠近硅原料，更有利于硅原料初期的熱能吸收，一旦金字塔形外部的硅原料熔融后，變成熔融硅漿直接流入內(nèi)部硅原料的顆粒間，又可加速內(nèi)部硅原料吸收熱能，如此產(chǎn)生良性循環(huán)以快速熔融加熱整鍋坩堝內(nèi)的硅原料，故可節(jié)省能源與時(shí)間。再者，由于頂、底加熱器幾何線條簡(jiǎn)單，且各別加熱器其型狀對(duì)稱，除能對(duì)坩堝均勻加熱，除省能又方便加熱器加工，可節(jié)省加熱器制造成本。此外，長(zhǎng)晶爐可包括有一加熱室，其容設(shè)于爐體的爐內(nèi)空間內(nèi)，加熱室內(nèi)部形成有一室內(nèi)空間其內(nèi)至少容納有支撐桌體的桌板、頂加熱器、與底加熱器。而且，加熱室是雙層結(jié)構(gòu)包括有一內(nèi)層隔熱材、及一外層保溫材。內(nèi)層隔熱材可隔絕加熱室能量外泄、外層保溫材更可加強(qiáng)保溫效果，如此可達(dá)節(jié)能的好處。其中，加熱室可包括有一上罩、及一下隔板，通過上罩蓋合于下隔板上以共同圍繞形成室內(nèi)空間。加熱室的下隔板固設(shè)于爐底蓋內(nèi)，加熱室的下隔板貫設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)穿孔，復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒穿設(shè)于復(fù)數(shù)個(gè)穿孔內(nèi)，該復(fù)數(shù)根支撐柱分別穿過該復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒并固設(shè)于爐底蓋內(nèi)。加熱室的上罩包括有一上隔板、及復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板，復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板彼此并排圍繞固設(shè)于上隔板下方。而且，頂加熱器的第一層加熱器可包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，二石墨電極分別電連接至環(huán)狀電阻以提供電力令第一層加熱器發(fā)熱用，也可設(shè)第三層加熱器，其外圍大于第二層加熱器，甚至增加外圍更大的第四、第五層…使其圍成金字塔形狀。另亦可串連成多角形、或圓形環(huán)狀等以配合各種形狀的坩堝使用。頂加熱器的第二層加熱器可包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，二石墨電極分別電連接至環(huán)狀電阻以提供電力令第二層加熱器發(fā)熱用。底加熱器可包括有復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條，分別設(shè)置于支撐桌體的桌板下方。每一支撐柱包括有一石墨電極支柱，支撐頂?shù)钟趶?fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條其中的一下方并彼此形成電性連接。長(zhǎng)晶爐還包括復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片，復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片設(shè)置于支撐桌體的桌板與復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條之間。再者，每一支撐柱可包括有一調(diào)整螺帽，石墨電極支柱頂端還設(shè)有一外螺牙，通過調(diào)整螺帽螺合于外螺牙上以支撐頂?shù)种鴱澢娮钘l。除可加大電性接觸的接觸面積外，又能增加支撐桌板的穩(wěn)固性，而且，調(diào)整螺帽包括有一石墨調(diào)整螺帽。請(qǐng)參閱圖2，為本發(fā)明長(zhǎng)晶爐其一較佳實(shí)施例的剖視圖。如圖所示，本發(fā)明是關(guān)于一種具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，包括一爐體l(fUmacebody)、一支撐桌體2(supportingtable)、一頂加熱器3(topheater)、及一底加熱器4(bottomheater)。爐體l包括有一爐上腔ll、及一爐底蓋12，爐底蓋12是蓋合于爐上腔ll下方、并共同圍繞形成一爐內(nèi)空間IO。支撐桌體2容設(shè)于爐體1的爐內(nèi)空間10內(nèi)，支撐桌體2包括有一桌板21、及八根支撐柱22，桌板21通過八根支撐柱22以固設(shè)于爐底蓋12內(nèi)。如圖2所示，一加熱室5(heatingroom)容設(shè)于爐體l的爐內(nèi)空間10內(nèi)。加熱室5包括有一上罩5K及一下隔板52。上罩51是固設(shè)于爐上腔11內(nèi)，下隔板52是固設(shè)于爐底蓋12內(nèi)，并通過上罩51蓋合于下隔板52上以共同圍繞形成一室內(nèi)空間50。于室內(nèi)空間50其內(nèi)至少容納有支撐桌體2的桌板21、頂加熱器3、與底加熱器4。而且，加熱室5的下隔板52貫設(shè)有八個(gè)穿孔521，八個(gè)高領(lǐng)套筒522分別穿設(shè)于八個(gè)穿孔內(nèi)，八根支撐柱22分別穿過八個(gè)高領(lǐng)套筒522，并固設(shè)于爐底蓋12內(nèi)。加熱室5的該上罩51包括有一上隔板511、及四個(gè)側(cè)隔板512，四個(gè)側(cè)隔板512彼此并排圍繞固設(shè)于上隔板511下方。上隔板511貫設(shè)有四貫孔513，四貫孔513并分別套設(shè)有四套筒322，又四根石墨電極310,320分別穿設(shè)于四套筒322，并固設(shè)于爐上腔ll內(nèi)。其中，加熱室5是雙層結(jié)構(gòu)包括有一內(nèi)層隔熱材，例如，采用內(nèi)層石墨隔熱材、及一外層保溫材，例如，采用外層氧化鋁纖維保溫材。內(nèi)層隔熱材可隔絕加熱室能量外泄、外層保溫材更可加強(qiáng)保溫效果，如此可達(dá)節(jié)能的好處。如圖2所示，另有一負(fù)載框體6(loadingframe),被承置于支撐桌體2的桌板21上方，負(fù)載框體6包括有一底板61、及四個(gè)側(cè)板62，四個(gè)側(cè)板62是環(huán)繞并立設(shè)于底板61上方、并共同圍繞形成一內(nèi)凹空間，用以容裝一坩堝7于其內(nèi)。在圖2中，頂加熱器3容設(shè)于爐內(nèi)空間10的加熱室5內(nèi)、并對(duì)應(yīng)位于桌板21上方，頂加熱器3包括有至少二層的加熱結(jié)構(gòu)，例如，一第一層加熱器31、及一第二層加熱器32，其分別懸吊固設(shè)于爐上腔ll內(nèi)。第一層加熱器31的設(shè)置位置是高于第二層加熱器32，第一層加熱器31與第二層加熱器32兩者皆呈中空框狀，且第二層加熱器32其外周并大于第一層加熱器31，二者共同形成一金字塔形狀。底加熱器4與支撐桌體2的桌板21組設(shè)一起。請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明頂加熱器其一較佳實(shí)施例的示意圖。如圖所示，頂加熱器3的第一層加熱器31包括有一由四支電阻條板311頭尾串連起來形成四方形狀以配合四方形的坩堝7使用的環(huán)狀電阻、及二石墨電極310，二石墨電極310分別電連接至該環(huán)狀電阻以提供電力令第一層加熱器31發(fā)熱用。頂加熱器3的第二層加熱器32包括有一由四支較長(zhǎng)的電阻長(zhǎng)板321頭尾串連起來形成四方形狀的環(huán)狀電阻、及二石墨電極320，二石墨電極320分別電連接至環(huán)狀電阻以提供電力令第二層加熱器32發(fā)熱用。請(qǐng)參閱圖4再一并參閱圖2，圖4為本發(fā)明底加熱器其一較佳實(shí)施例的示意圖。如圖所示，底加熱器4包括有四個(gè)彎曲電阻條41，分別設(shè)置于支撐桌體2的桌板21下方。每一支撐柱22包括有一石墨電極支柱221，支撐頂li抵于四個(gè)彎曲電阻條41其中的一下方并彼此形成電性連接，其可通過石墨電極支柱221提供電力令彎曲電阻條41發(fā)熱用，如圖2所示，復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片23設(shè)置于支撐桌體2的桌板21與四個(gè)彎曲電阻條41之間。如圖2所示，上述支撐柱22是先將固定座223焊固于于爐壁上，再以其固定座223將石墨電極支柱221與金屬電極柱222結(jié)合鎖固于其內(nèi)部并彼此電性連接。請(qǐng)參閱圖5，為本發(fā)明底加熱器其一較佳實(shí)施例的立體圖。如圖所示，每一支撐柱22包括有一調(diào)整螺帽220，其中，調(diào)整螺帽220為一石墨調(diào)整螺帽。此外，石墨電極支柱221頂端還設(shè)有一外螺牙，通過調(diào)整螺帽220螺合于外螺牙上以支撐頂?shù)种鴱澢娮钘l41，除可加大電性接觸的接觸面積外，又能增加支撐桌板21的穩(wěn)固性。如上述，由頂、底加熱器3、4一起對(duì)坩堝7由上下方加熱，可以加速坩堝7內(nèi)硅原料的熔融效率；同時(shí)，本實(shí)施例的第一層加熱器31與第二層加熱器32還依照硅原料堆棧而成的金字塔形狀設(shè)計(jì)排列，故可使其第一層加熱器31與第二層加熱器32更加靠近硅原料，更有利于硅原料初期的熱能吸收，一旦金字塔形外部的硅原料熔融后，變成熔融硅漿直接流入內(nèi)部硅原料的顆粒間，又可加速內(nèi)部硅原料吸收熱能，如此產(chǎn)生良性循環(huán)以快速熔融加熱整鍋坩堝7內(nèi)的硅原料，故可節(jié)省能源與時(shí)間。又如圖3、及圖4所示，由于頂、底加熱器3、4其幾何線條簡(jiǎn)單，且各別加熱器其型狀對(duì)稱，除能對(duì)坩堝7均勻加熱外，既省能又方便加熱器加工，可節(jié)省制造成本。上述實(shí)施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)的權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。權(quán)利要求1、一種具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，包括一爐體，包括有一爐上腔、及一爐底蓋，該爐底蓋是蓋合于該爐上腔下方、并共同圍繞形成—爐內(nèi)空間；一支撐桌體，容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)，該支撐桌體包括有一桌板、及復(fù)數(shù)根支撐柱，該桌板通過該復(fù)數(shù)根支撐柱以固設(shè)于該爐底蓋內(nèi)；其中一頂加熱器，容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)、并對(duì)應(yīng)位于該桌板上方，該頂加熱器包括有一第一層加熱器、及至少一第二層加熱器分別懸吊固設(shè)于該爐上腔內(nèi)，該第一層加熱器是高于該至少一第二層加熱器，該至少一第二層加熱器其外周并大于該第一層加熱器；以及一底加熱器，與該支撐桌體的該桌板組設(shè)一起。2、如權(quán)利要求l所述的長(zhǎng)晶爐，其中，包括有一加熱室容設(shè)于該爐體的該爐內(nèi)空間內(nèi)，該加熱室內(nèi)部形成有一室內(nèi)空間其內(nèi)至少容納有該支撐桌體的該桌板、該頂加熱器、與該底加熱器。3、如權(quán)利要求2所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室是雙層結(jié)構(gòu)，包括有一內(nèi)層隔熱材及一外層保溫材。4、如權(quán)利要求2所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室包括有一上罩、及一下隔板，通過該上罩蓋合于該下隔板上以共同圍繞形成該室內(nèi)空間。5、如權(quán)利要求4所述的長(zhǎng)晶爐，其中，包括有復(fù)數(shù)個(gè)穿孔、及復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒，該加熱室的該下隔板貫設(shè)有該復(fù)數(shù)個(gè)穿孔，該復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒穿設(shè)于該復(fù)數(shù)個(gè)穿孔內(nèi)，該復(fù)數(shù)根支撐柱分別穿過該復(fù)數(shù)個(gè)高領(lǐng)套筒，并固設(shè)于爐底蓋內(nèi)。6、如權(quán)利要求4所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該加熱室的該上罩包括有一上隔板、及復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板，該復(fù)數(shù)個(gè)側(cè)隔板彼此并排圍繞固設(shè)于該上隔板下方。7、如權(quán)利要求l所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該頂加熱器的該第一層加熱器包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，該二石墨電極分別電連接至該環(huán)狀電阻。8、如權(quán)利要求l所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該頂加熱器的該至少一第二層加熱器包括有一環(huán)狀電阻、及二石墨電極，該二石墨電極分別電連接至該9、如權(quán)利要求l所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該底加熱器包括有復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條，分別設(shè)置于該支撐桌體的該桌板下方；每一支撐柱包括有一石墨電極支柱，支撐頂?shù)钟谠搹?fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條其中的一下方并彼此形成電性連接。10、如權(quán)利要求9所述的長(zhǎng)晶爐，其中，包括復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片，該復(fù)數(shù)個(gè)絕緣壓片設(shè)置于該支撐桌體的該桌板與該復(fù)數(shù)個(gè)彎曲電阻條之間。11、如權(quán)利要求9所述的長(zhǎng)晶爐，其中，每一支撐柱包括有一調(diào)整螺帽，該石墨電極支柱頂端設(shè)有一外螺牙，通過該調(diào)整螺帽螺合于該外螺牙上以支撐頂?shù)种搹澢娮钘l。12、如權(quán)利要求ll所述的長(zhǎng)晶爐，其中，該調(diào)整螺帽包括有一石墨調(diào)整螺帽。全文摘要本發(fā)明是關(guān)于一種具有加熱改良構(gòu)造的長(zhǎng)晶爐，其中，頂加熱器的第一層加熱器與第二層加熱器依照硅原料堆棧而成的金字塔形狀設(shè)計(jì)排列，可利于硅原料初期的熱能吸收，當(dāng)金字塔形外部的硅原料熔融后，直接流入內(nèi)部硅原料的顆粒間，又可加速內(nèi)部硅原料吸收熱能，如此產(chǎn)生良性循環(huán)以快速熔融加熱整鍋坩堝內(nèi)的硅原料。再以底加熱器直接于坩堝下方加熱，更可加速坩堝內(nèi)硅原料的熔融效率，因此，可節(jié)省長(zhǎng)晶爐所耗費(fèi)的能源與時(shí)間。再者，頂、底加熱器的各別形狀對(duì)稱，能對(duì)坩堝均勻加熱，既節(jié)省能源又方便加熱器加工，除省能外亦可節(jié)省制造成本。文檔編號(hào)C30B28/06GK101498038SQ20081000495公開日2009年8月5日申請(qǐng)日期2008年1月31日優(yōu)先權(quán)日2008年1月31日發(fā)明者呂秀正,林和龍申請(qǐng)人:綠能科技股份有限公司