專利名稱：一種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對晶體材料的要求越來越高，這也意味著對晶體材料的生 長工藝和生長設(shè)備的要求越來越高。晶體生長的工藝的關(guān)鍵在于設(shè)備以及對晶體生長速度 稱重法是晶體生長速度控制最重要的方法之一，其關(guān)鍵技術(shù)就是稱重機構(gòu)。目前 比價常用的稱重結(jié)構(gòu)有下稱法、懸臂上稱法和懸吊上稱法。這些方法都存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修 不方便，可靠性不強，怕振動等問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、安裝維修方便、抗干擾 能力及可靠性強的新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)。 本實用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)， —種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)，包括提拉機構(gòu)、晶體爐、夾板、傳感器、精密轉(zhuǎn)軸，其特 征在于；所述夾板為活動上夾板和固定于臺面的下夾板所構(gòu)成，在所述活動上夾板上設(shè)置 提拉機構(gòu)，所述晶體爐設(shè)在提拉機構(gòu)的右側(cè)，通過連接桿與提拉機構(gòu)相連，在所述提拉機構(gòu) 左側(cè)的夾板上設(shè)有平衡彈力機構(gòu)，傳感器設(shè)在所述平衡彈力機構(gòu)左邊的活動上夾板上，所 述精密轉(zhuǎn)軸設(shè)在提拉機構(gòu)右側(cè)夾板的中間位置。 所述平衡彈力機構(gòu)為彈簧、或橡皮墊、或線性及非線性彈力材料，除保持杠桿的平
衡外，還具有有效阻尼減震、提高精度的功能。 所述傳感器為高精度壓力或位移傳感器。 本實用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單合理，便于安裝維修，可有效避免振動對稱重 產(chǎn)生的影響，提高測量精度。

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下
面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。 如圖1所示，一種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)，包括提拉機構(gòu)1、晶體爐2、夾板3、傳感器 4、精密轉(zhuǎn)軸5，夾板3由活動上夾板6和固定于臺面的下夾板7所構(gòu)成，在活動上夾板6上 設(shè)置提拉機構(gòu)1，晶體爐2設(shè)在提拉機構(gòu)1的右側(cè)，通過連接桿8與提拉機構(gòu)1相連，在提拉 機構(gòu)1左側(cè)的夾板3上設(shè)有平衡彈力機構(gòu)9，平衡彈力機構(gòu)9為彈簧、或橡皮墊、或線性及非線性彈力材料，除保持杠桿的平衡外，還具有有效阻尼減震、提高精度的功能。傳感器4設(shè) 在平衡彈力機構(gòu)9左邊的活動上夾板6上，傳感器4為高精度壓力或位移傳感器。精密轉(zhuǎn) 軸5設(shè)在提拉機構(gòu)1右側(cè)夾板3的中間位置。 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型 要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求一種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)，包括提拉機構(gòu)、晶體爐、夾板、傳感器、精密轉(zhuǎn)軸，其特征在于；所述夾板為活動上夾板和固定于臺面的下夾板所構(gòu)成，在所述活動上夾板上設(shè)置提拉機構(gòu)，所述晶體爐設(shè)在提拉機構(gòu)的右側(cè)，通過連接桿與提拉機構(gòu)相連，在所述提拉機構(gòu)左側(cè)的夾板上設(shè)有平衡彈力機構(gòu)，傳感器設(shè)在所述平衡彈力機構(gòu)左邊的活動上夾板上，所述精密轉(zhuǎn)軸設(shè)在提拉機構(gòu)右側(cè)夾板的中間位置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)，其特征在于所述平衡彈力機構(gòu)為彈簧、 或橡皮墊、或線性及非線性彈力材料。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)，其特征在于所述傳感器為高精度壓力 或位移傳感器。
專利摘要一種新型晶體爐稱重結(jié)構(gòu)涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，包括提拉機構(gòu)、晶體爐、夾板、傳感器、精密轉(zhuǎn)軸，其特征在于；所述夾板為活動上夾板和固定于臺面的下夾板所構(gòu)成，在所述活動上夾板上設(shè)置提拉機構(gòu)，所述晶體爐設(shè)在提拉機構(gòu)的右側(cè)，通過連接桿與提拉機構(gòu)相連，在所述提拉機構(gòu)左側(cè)的夾板上設(shè)有平衡彈力機構(gòu)，傳感器設(shè)在所述平衡彈力機構(gòu)左邊的活動上夾板上，所述精密轉(zhuǎn)軸設(shè)在提拉機構(gòu)右側(cè)夾板的中間位置。本實用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單合理，便于安裝維修，可有效避免振動對稱重產(chǎn)生的影響，提高測量精度。
文檔編號C30B15/28GK201512605SQ20092021023
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月27日
發(fā)明者黃小衛(wèi) 申請人:上海元亮光電科技有限公司