專(zhuān)利名稱(chēng)：一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種防諧振裝置，特別是一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中硅單晶是最重要的基本材料。其拉晶過(guò)程是把原料多硅晶塊放入石英 坩堝中，在單晶爐中加熱融化，再將一根棒狀晶種浸入融液中，融液中的硅原子會(huì)順著晶種 的硅原子排列，在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶，成為單晶體。把晶種向上提升，融液中的 硅原子會(huì)在前面形成的單晶體上繼續(xù)結(jié)晶，并延續(xù)其規(guī)則的原子排列結(jié)構(gòu)。若整個(gè)結(jié)晶環(huán)境 穩(wěn)定，就可以周而復(fù)始的形成結(jié)晶，最后形成一根圓柱形的原子排列整齊的硅單晶晶體，即 硅單晶錠。
晶種在向上提升的過(guò)程中，要求提升速度保持恒定不變，也不能出現(xiàn)左右晃動(dòng)，如果出 現(xiàn)提升速度不穩(wěn)定或左右晃動(dòng)，將會(huì)造成單晶拉制失敗。現(xiàn)有的晶種提升裝置在提升過(guò)程中 ，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生抖動(dòng)，嚴(yán)重影響了拉晶的成品率。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于，提供一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘，以消除拉晶時(shí)晶種 的抖動(dòng)現(xiàn)象，提高成晶的成品率。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案 一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘，包括重錘，重錘的直徑
為180 220mm。
上述的防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘中，所述重錘的直徑為200mm最佳。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型由于加大了重錘的直徑，因此使得重錘的重量增加，避開(kāi) 了諧振點(diǎn)，可以消除拉晶過(guò)程中晶種的抖動(dòng)現(xiàn)象，提高成晶的成品率。

圖l是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖2是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘作進(jìn)一步的詳細(xì) 說(shuō)明，但并不作為對(duì)本實(shí)用新型作任何限制的依據(jù)。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)如圖l所示。本實(shí)用新型是對(duì)現(xiàn)有拉晶裝置上重錘的改進(jìn)，現(xiàn)有的重 錘如圖2所示，重錘l的直徑D為80mm左右，重量為10Kg，在提升過(guò)程中由于諧振的作用，會(huì) 產(chǎn)生諧振抖動(dòng)，造成單晶錠報(bào)廢。本實(shí)用新型將重錘l的直徑D加大至200mm左右，重量為 25Kg，在拉晶過(guò)程中避開(kāi)了諧振點(diǎn)，在使用過(guò)程中未出現(xiàn)抖動(dòng)現(xiàn)象，大大提高了拉晶的成品
沖< 。
權(quán)利要求權(quán)利要求1一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘，它包括重錘(1)；其特征在于重錘(1)的直徑(D)為180～220mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘，其特征在 于重錘(1)的直徑(D)為200讓。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種防止拉晶時(shí)產(chǎn)生諧振抖動(dòng)的重錘。包括重錘(1)；重錘(1)的直徑(D)為180～220mm。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型由于加大了重錘的直徑，因此使得重錘的重量增加，避開(kāi)了諧振點(diǎn)，可以消除拉晶時(shí)晶種的抖動(dòng)現(xiàn)象，提高成晶的成品率。
文檔編號(hào)C30B15/30GK201305650SQ200820302768
公開(kāi)日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者丁宇翔, 何紫平, 胥敬東 申請(qǐng)人:湖州新元泰微電子有限公司