專利名稱：一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種調(diào)節(jié)器，特別是一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中硅單晶是最重要的基本材料。其拉晶過程是把原料多硅晶塊放入石英 坩堝中，在單晶爐中加熱融化，再將一根棒狀晶種浸入融液中，融液中的硅原子會順著晶種 的硅原子排列，在固液交界面上形成規(guī)則的結(jié)晶，成為單晶體。把晶種向上提升，融液中的 硅原子會在前面形成的單晶體上繼續(xù)結(jié)晶，并延續(xù)其規(guī)則的原子排列結(jié)構(gòu)。若整個結(jié)晶環(huán)境 穩(wěn)定，就可以周而復(fù)始的形成結(jié)晶，最后形成一根圓柱形的原子排列整齊的硅單晶晶體，即 硅單晶錠。
在拉晶開始之前，需要先引出一定長度和一定直徑要求的細(xì)頸，以消除結(jié)晶錯位，這個 過程叫做引晶。由于引晶時有一定的要求，引晶過程的好壞與晶體等徑生長的好壞有較大的 影響，而在此過程中操作人員需要隨時進(jìn)行調(diào)整晶種上升速度以使引晶達(dá)到要求，所以在引晶 時需要不斷調(diào)節(jié)晶種向上提升的速度。
現(xiàn)有的引晶控制器是用一個電位器調(diào)整控制電壓來改變晶種提升速度的提升電路，該電 位器要求使用多圈電位器以便達(dá)到可以微量地改變控制電壓的目的.但用此種電位器進(jìn)行較 大變化的調(diào)節(jié)時卻顯得不方便且速度調(diào)節(jié)不易達(dá)到要求，對操作人員的熟練程度有較高的要 求，引晶效率較低，影響以后的成晶成品率，操作也不方便。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于，提供一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器，以便快速便捷的改變引晶狀 態(tài)的晶種提升速度，轉(zhuǎn)換操作速度加快，效率提高，可以提高引晶效率及以后的成晶成品率
本實用新型的技術(shù)方案 一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器，它包括提升電路和電位器甲，電 位器甲的一端與電源的正極連接，電位器甲的另一端與電源的負(fù)極連接；電位器甲的滑動臂 經(jīng)二極管甲與提升電路連接；它還包括電位器乙，電位器乙與按鈕開關(guān)串連后與電位器甲的 兩端并連，電位器乙的滑動臂經(jīng)二極管乙與提升電路連接。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型由于在現(xiàn)有的電位器上又并連了一個電位器，可以分別調(diào)
3整快速引晶和一般引晶時的提升速度，通過速度的改變來控制引晶的直徑，調(diào)整好之后，可 以通過按鈕開關(guān)在引晶直徑變大時將較慢的晶種提升速度轉(zhuǎn)換為快速的的晶種提升速度，轉(zhuǎn) 換操作速度加快，效率提高，直徑控制更便易，可以提高引晶效率及以后的成晶成品率。

圖l是本實用新型的電路圖； 圖2是現(xiàn)有技術(shù)的電路圖。
附圖中的標(biāo)記為l-提升電路，2-電位器甲，3-二極管甲，4-電位器乙，5-按鈕開關(guān)， 6-二極管乙。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的調(diào)節(jié)引晶速度的裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但并 不作為對本實用新型做任何限制的依據(jù)。
現(xiàn)有技術(shù)的電路如圖2所示，它只有一個電位器甲2，電位器甲2的一端與電源的正極連 接，電位器甲2的另一端與電源的負(fù)極連接，電位器甲2的滑動臂直接與提升電路1連接，為 提升電路l提供提升控制信號；本實用新型如圖l所示，它是在現(xiàn)有的電位器甲2兩端又并連 了一個電位器乙4與按鈕開關(guān)5串連的電路，電位器甲2的滑動臂經(jīng)二極管甲3與提升電路l連 接；電位器乙4的滑動臂經(jīng)二極管乙6與提升電路1連接。增加二極管甲和二極管乙的作用是 避免在轉(zhuǎn)換為快速提升速度時慢速提升電位器的低電壓拉低控制電壓和避免在恢復(fù)為低速引 晶時電位器4的滑動臂拉低結(jié)點1處的電壓。具體實施時，按圖1接線，確認(rèn)接線無誤后，進(jìn) 行提升速度調(diào)節(jié)。
本實用新型的調(diào)節(jié)過程
拉晶提升速度的調(diào)節(jié)，釋放按鈕開關(guān)5，使按鈕開關(guān)5處于斷開位置，調(diào)節(jié)電位器甲2， 使晶種的提升速度滿足快速引晶要求。
引晶提升速度的調(diào)節(jié)，按下按鈕開關(guān)5，使按鈕開關(guān)5處于接通位置，調(diào)節(jié)電位器乙4， 使晶種的提升速度滿足引晶要求。
操作過程需要引晶速度慢時，釋放按鈕開關(guān)5，晶種以慢速將晶種提升，如果需要改 變速度還可以通過調(diào)整電位器甲2進(jìn)行調(diào)節(jié)。當(dāng)需要快速引晶時，按下按鈕開關(guān)5，晶種的提 升速度加快。以提高晶種提升速度，如果引晶提升速度不合適也可以通過電位器乙4進(jìn)行微 調(diào)。 一般情況下，當(dāng)生產(chǎn)條件不變的時，在生產(chǎn)前調(diào)整好，就不需要再進(jìn)行調(diào)節(jié)了，慢速引 晶時釋放按鈕開關(guān)5進(jìn)行操作，直徑需要變細(xì)時按下按鈕開關(guān)5就可以達(dá)到快速引晶的提升速 度。
權(quán)利要求權(quán)利要求1一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器，它包括提升電路(1)和電位器甲(2)，電位器甲(2)的一端與電源的正極連接，電位器甲(2)的另一端與電源的負(fù)極連接；其特征在于電位器甲(2)的滑動臂經(jīng)二極管甲(3)與提升電路(1)連接；它還包括電位器乙(4)，電位器乙(4)與按鈕開關(guān)(5)串連后與電位器甲(2)的兩端并連，電位器乙(4)的滑動臂經(jīng)二極管乙(6)與提升電路(1)連接。
專利摘要本實用新型公開了一種晶種提升裝置的調(diào)節(jié)器。它包括提升電路1和電位器甲2，電位器甲2的一端與電源的正極連接，電位器甲2的另一端與電源的負(fù)極連接；電位器甲2的滑動臂經(jīng)二極管甲3與提升電路1連接；它還包括電位器乙4，電位器乙4與按鈕開關(guān)5串連后與電位器甲2的兩端并連，電位器乙4的滑動臂經(jīng)二極管乙6與提升電路1連接。本實用新型可以快速便捷的改變引晶狀態(tài)的晶種提升速度，轉(zhuǎn)換操作速度加快，效率提高，可以提高引晶效率及以后的成晶成品率。
文檔編號C30B15/30GK201288225SQ200820302769
公開日2009年8月12日 申請日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者丁宇翔, 何紫平, 胥敬東 申請人:湖州新元泰微電子有限公司