專利名稱：硅單晶爐攝像頭安裝支架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅單晶爐攝像頭安裝結(jié)構(gòu)，尤其是涉及一種硅單晶爐攝像頭安裝支
背景技術(shù)：
硅單晶爐可以通過攝像頭獲取晶棒生長(zhǎng)過程中固液界面的圖像，請(qǐng)參閱圖1及圖 2所示，圖1為傳統(tǒng)的硅單晶爐攝像頭安裝結(jié)構(gòu)的示意圖，圖2為傳統(tǒng)的硅單晶爐攝像頭安 裝結(jié)構(gòu)的俯視圖，通常一臺(tái)單晶爐配合觀察窗1需要安裝第一攝像頭10和第二攝像頭11， 所述觀察窗1設(shè)置于單晶爐筒的豎直方向之上，第一攝像頭10采用長(zhǎng)焦鏡頭，聚焦在液面 中心，控制籽晶生長(zhǎng)；第二攝像頭11聚焦在晶棒外緣，控制晶棒生長(zhǎng)，安裝時(shí)，第一攝像頭 10和第二攝像頭11的中心在水平面上處同一圓周上，且在垂直面上有一定角度差別，這種 安裝結(jié)構(gòu)主要缺點(diǎn)是需要2個(gè)對(duì)立安裝支架，分別調(diào)整，安裝復(fù)雜，同時(shí)攝像頭的俯角受觀 察窗結(jié)構(gòu)限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種硅單晶爐攝像頭安裝支架，其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方 便，調(diào)整容易以及攝像頭的俯角受觀察窗尺寸限制小的特點(diǎn)。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)一種硅單晶爐攝像頭安裝支架，其包括設(shè)置于觀察窗上的立板，所述立板水平面 上與硅單晶爐筒徑向線平行，且所述立板之上并列設(shè)置有若干個(gè)攝像頭。特別地，所述攝像頭設(shè)置為2個(gè)，且水平面上鏡頭的設(shè)置與硅單晶爐筒徑向線重
I=I O本發(fā)明的有益效果為，所述硅單晶爐攝像頭安裝支架不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)；而 且安裝方便，調(diào)整容易，攝像頭的俯角受觀察窗尺寸限制小，適用面寬。


下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1為傳統(tǒng)的硅單晶爐攝像頭安裝結(jié)構(gòu)的示意圖，圖2為傳統(tǒng)的硅單晶爐攝像頭安裝結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3為本發(fā)明硅單晶爐攝像頭安裝支架的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4為本發(fā)明硅單晶爐攝像頭安裝支架的俯視圖。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參照?qǐng)D3及圖4所示，圖3為本發(fā)明硅單晶爐攝像頭安裝支架的結(jié)構(gòu)示意圖，圖 4為本發(fā)明硅單晶爐攝像頭安裝支架的俯視圖。于本實(shí)施例中，一種硅單晶爐攝像頭安裝支 架，其包括設(shè)置于觀察窗1上的立板3，所述觀察窗1平行于硅單晶爐筒徑向線4，所述立板3水平面上與硅單晶爐筒徑向線4平行，且所述立板3之上并列設(shè)置有第一攝像頭20和第 二攝像頭21，將第一攝像頭20和第二攝像頭21在水平面上放在爐筒徑向線4上。在垂直 面上位置錯(cuò)開，并各自可以調(diào)整俯視角。實(shí)際裝配時(shí)，水平面上將立板3與爐筒徑向線4平行，第一攝像頭20和第二攝像 頭21與徑向線4重合。然后在垂直面上調(diào)制攝像頭俯角。上述硅單晶爐攝像頭安裝支架不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)；而且安裝方便，調(diào)整容 易，攝像頭的俯角受觀察窗尺寸限制小，適用面寬。以上實(shí)施例只是闡述了本發(fā)明的基本原理和特性，可以隨攝像頭的設(shè)置個(gè)數(shù)的改 變而改變，本發(fā)明不受上述事例限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還有各 種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由 所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求
1.一種硅單晶爐攝像頭安裝支架，其特征在于包括設(shè)置于觀察窗上的立板，所述立 板水平面上與硅單晶爐筒徑向線平行，且所述立板之上并列設(shè)置有若干個(gè)攝像頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅單晶爐攝像頭安裝支架；其特征在于所述攝像頭設(shè)置為 2個(gè)，且水平面上鏡頭的設(shè)置與硅單晶爐筒徑向線重合。
全文摘要
本發(fā)明公開一種硅單晶爐攝像頭安裝支架，其包括設(shè)置于觀察窗上的立板，所述觀察窗平行于硅單晶爐筒徑向線，所述立板水平面上與硅單晶爐筒徑向線平行，且所述立板之上并列設(shè)置有第一攝像頭和第二攝像頭，將第一攝像頭和第二攝像頭在水平面上放在爐筒徑向線上，在垂直面上位置錯(cuò)開，并各自可以調(diào)整俯視角，實(shí)際裝配時(shí)，水平面上將立板與爐筒徑向線平行，第一攝像頭和第二攝像頭與徑向線重合，然后在垂直面上調(diào)制攝像頭俯角，上述硅單晶爐攝像頭安裝支架不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)；而且安裝方便，調(diào)整容易，攝像頭的俯角受觀察窗尺寸限制小，適用面寬。
文檔編號(hào)C30B29/06GK102134740SQ20111010165
公開日2011年7月27日 申請(qǐng)日期2011年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月22日
發(fā)明者惠夢(mèng)君 申請(qǐng)人:無錫市惠德晶體控制設(shè)備有限公司