專利名稱：一種籽晶桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種晶體生長設(shè)備領(lǐng)域，具體屬于一種提拉泡生法晶體生長所用的籽晶桿。
背景技術(shù)：
隨著LED光電產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，對晶體材料的需求量日益劇增，尤其是藍寶石單晶體。藍寶石晶體是α-Al2O3晶體，俗稱剛玉，是一種簡單配位型氧化物晶體，其具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強度高、硬度大、耐沖刷，可在接近2000攝氏度高溫下的惡劣環(huán)境工作，因而被廣泛用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光的窗口材料。低成本、高質(zhì)量的生長大尺寸藍寶石晶體已成為當前面臨的迫切任務(wù)。目前生長藍寶石晶體的方法主要有提拉法、泡生法、導(dǎo)膜法、下降法、溫梯法等，但是，上述方法都存在各自的缺點和局限性，較難滿足未來藍寶石晶體的大尺寸、高質(zhì)量、低成本的發(fā)展要求。泡生法是目前藍寶石單晶體生長的主要方法，生長的藍寶石單晶體比重已超過 70%，由于泡生法特有的溫場設(shè)計，要求通過冷卻循環(huán)水帶走晶體內(nèi)部潛熱?，F(xiàn)有技術(shù)給上稱重帶來干擾，嚴重降低了晶體質(zhì)量的檢測精度，同時使由上稱重控制的晶體生長自動化無法實現(xiàn)。因此在晶體的引晶和放肩階段，必須由技術(shù)嫻熟的工人進行人工操作，這就加大了勞動量、增加了晶體生長成本。

實用新型內(nèi)容實用新型目的本實用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)給上稱重帶來影響檢測晶體精度的問題，提供一種在提拉泡生法晶體生長中不會影響上稱重，從而提高藍寶石晶體質(zhì)量檢測精度，有利于實現(xiàn)上稱重控制晶體生長自動化的籽晶桿。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型公開了一種籽晶桿，包括上稱重和桿芯，上稱重與桿芯連接，在桿芯外設(shè)有外套筒，且外套筒與上稱重?zé)o連接；所述外套筒為中空結(jié)構(gòu)， 且外套筒上設(shè)有進水口和出水口 ；所述外套筒中的循環(huán)冷卻水自進水口流入，再經(jīng)出水口流出。本實用新型中，所述外套筒為兩個內(nèi)徑不同的筒體同軸密封而成。本實用新型中，優(yōu)選地，所述筒體橫截面形狀為圓形、三角形或多邊形。本實用新型中，進一步優(yōu)選地，所述筒體橫截面形狀為圓形。本實用新型中，進一步優(yōu)選地，桿芯與外套筒緊密熱接觸。本實用新型中，另一種方案所述外套筒為環(huán)繞桿芯的管狀結(jié)構(gòu)。由于采用了上述技術(shù)方案，使得冷卻循環(huán)水在外套筒中流動，既能起到冷卻籽晶桿，帶走晶體內(nèi)部潛熱的目的，又克服了原有冷卻水循環(huán)系統(tǒng)對上稱重的影響，提高了稱重的精準度，有利于通過上稱重實現(xiàn)晶體生長自動化，從而優(yōu)化晶體生長工藝，降低生產(chǎn)成本。
3[0013]有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點1)裝置簡單，成本低，減少了工作量；2)冷卻效果好，同時提高了稱重系統(tǒng)檢測晶體質(zhì)量的準確性；3)在不影響晶體質(zhì)量檢測的情況下，優(yōu)化了晶體生長工藝，易實現(xiàn)生長系統(tǒng)的自動化。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型做更進一步的具體說明，本實用新型的上述和/或其他方面的優(yōu)點將會變得更加清楚。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型公開了一種籽晶桿，包括上稱重1和桿芯3，上稱重1與桿芯3連接，其特征為，在桿芯3外設(shè)有外套筒2，且外套筒2與上稱重1無連接；所述外套筒為中空結(jié)構(gòu)，且外套筒上設(shè)有進水口 4和出水口 5 ；桿芯3與外套筒2緊密熱接觸效果最優(yōu)，當然也可以非緊密接觸；所述外套筒2中的循環(huán)冷卻水自進水口 4流入，再經(jīng)出水口 5 流出。所述外套筒2為兩個內(nèi)徑不同的筒體同軸密封而成。所述筒體橫截面形狀可以為圓形、三角形或多邊形。所述的上稱重1顯示晶體生長的質(zhì)量。另一種實施方案，所述外套筒2為環(huán)繞桿芯3的管狀結(jié)構(gòu)(圖中未示出)。實施例1本實用新型的籽晶桿，包括上稱重1、外套筒2和桿芯3，上稱重1與桿芯3連接， 外套筒2與上稱重1無連接，上稱重1顯示晶體生長的質(zhì)量，外套筒2與上稱重1無連接， 外套筒2為兩個內(nèi)徑不同的圓筒狀材料同軸密封而成，其上設(shè)有進水口 4與出水口 5。實施例2本實用新型的籽晶桿，包括上稱重1、外套筒2和桿芯3，上稱重1與桿芯3連接， 外套筒2與上稱重1無連接，上稱重1顯示晶體生長的質(zhì)量，外套筒2與上稱重1無連接， 外套筒2為兩個內(nèi)徑不同的四方筒狀材料同軸密封而成，其上設(shè)有進水口 4與出水口 5。如圖1所示，循環(huán)冷卻水在外套筒2內(nèi)的流動既起到冷卻籽晶桿，帶走晶體內(nèi)部潛熱的目的，又對上稱重1對晶體質(zhì)量的檢測不產(chǎn)生任何影響，有利于上稱重控制的晶體生長自動化的實現(xiàn)。本實用新型提供了一種籽晶桿的思路及方法，具體實現(xiàn)該技術(shù)方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。
權(quán)利要求1.一種籽晶桿，包括上稱重⑴和桿芯(3)，上稱重⑴與桿芯(3)連接，其特征為，在桿芯(3)外設(shè)有外套筒O)，且外套筒(2)與上稱重(1)無連接；所述外套筒為中空結(jié)構(gòu)，且外套筒上設(shè)有進水口⑷和出水口(5)；所述外套筒(2)中的循環(huán)冷卻水自進水口⑷流入，再經(jīng)出水口(5)流出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶桿，其特征在于，所述外套筒( 為兩個內(nèi)徑不同的筒體同軸密封而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的籽晶桿，其特征在于，所述筒體橫截面形狀為圓形、三角形或多邊形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的籽晶桿，其特征在于，所述筒體橫截面形狀為圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶桿，其特征在于，桿芯(3)與外套筒(2)緊密熱接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的籽晶桿，其特征在于，所述外套筒(2)為環(huán)繞桿芯(3)的管狀結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型公開了一種籽晶桿，包括上稱重和桿芯，上稱重與桿芯連接，在桿芯外設(shè)有外套筒，且外套筒與上稱重?zé)o連接；所述外套筒為中空結(jié)構(gòu)，且外套筒上設(shè)有進水口和出水口；所述外套筒中的循環(huán)冷卻水自進水口流入，再經(jīng)出水口流出。本實用新型具有以下優(yōu)點1)裝置簡單，成本低，減少了工作量；2)冷卻效果好，同時提高了稱重系統(tǒng)檢測晶體質(zhì)量的準確性；3)在不影響晶體質(zhì)量檢測的情況下，優(yōu)化了晶體生長工藝，易實現(xiàn)生長系統(tǒng)的自動化。
文檔編號C30B35/00GK201962422SQ20112000474
公開日2011年9月7日 申請日期2011年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月10日
發(fā)明者于海歐, 唐慧麗, 徐軍, 李紅軍, 錢小波, 陳偉超 申請人:中科協(xié)鑫(蘇州)工業(yè)研究院有限公司