專利名稱：硅單晶爐翻板閥室觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅單晶爐翻板閥室，尤其涉及一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗。
背景技術(shù)：
硅單晶爐爐室部分由主室，翻板閥室和副室組成。翻板閥室在主室和副室之間，起聯(lián)通和隔斷作用。在晶體生長和取晶棒時都要經(jīng)過翻板閥室，所以它有一個觀察窗，當爐內(nèi)高溫時，由于熱輻射吸收使這個觀察窗發(fā)熱。與之相接觸的橡膠密封圈會過熱而失去密封作用，通常有兩個方案解決這個問題一是采用雙層(石英)玻璃，中間水冷。它的缺點是一旦玻璃碎了，水會涌入高溫爐室內(nèi)，照成安全隱患。此外結(jié)構(gòu)設(shè)計安裝都比較復(fù)雜。二是采用單層石英玻璃。為了減少過熱，將窗口尺寸減小很多。優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單，缺點是視野太小，觀察操作不便。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其具有結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便以及安全可靠性高的特點。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，其中，所述觀察玻璃位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有反光層。特別地，所述反光層設(shè)置為環(huán)形結(jié)構(gòu)，于觀察玻璃的中間位置留有透明的觀察小窗。特別地，所述觀察玻璃為石英玻璃，所述反光層為具有反光特性的金屬膜。特別地，所述觀察小窗為橢圓形或長圓形的任一種結(jié)構(gòu)。本實用新型的有益效果為，所述硅單晶爐翻板閥室觀察窗的觀察玻璃位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有環(huán)形的反光層，且于中間留有透明的觀察小窗，在起到觀察效果的同時，利用反光層反射掉爐內(nèi)的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，而且安裝方便，安全可靠性高。

下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明。圖1為本實用新型硅單晶爐翻板閥室觀察窗的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、觀察玻璃；2、反光層；3、觀察小窗。
具體實施方式
請參照圖1所示，圖1為本實用新型硅單晶爐翻板閥室觀察窗的結(jié)構(gòu)示意圖，于本實施例中，一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃1，所述觀察玻璃1為石英玻璃，且所述觀察玻璃1位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有反光層2，所述反光層2為具有反光特性的金膜，設(shè)置為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且于觀察玻璃1的中間位置留有透明的橢圓形結(jié)構(gòu)的觀察小窗3。所述觀察小窗3用于對室內(nèi)情況進行觀察，并利用反光層2反射掉爐內(nèi)的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，而且安裝方便，安全可靠性高。 以上實施例只是闡述了本實用新型的基本原理和特性，可隨著反光層的形狀以及觀察小窗的形狀的改變而改變。本實用新型不受上述事例限制，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還有各種變化和改變，這些變化和改變都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，其特征在于所述觀察玻璃位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有反光層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述反光層設(shè)置為環(huán)形結(jié)構(gòu)，于觀察玻璃的中間位置留有透明的觀察小窗。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述觀察玻璃為石英玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述反光層為具有反光特性的金屬膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅單晶爐翻板閥室觀察窗；其特征在于所述觀察小窗為橢圓形或長圓形的任一種結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實用新型公開一種硅單晶爐翻板閥室觀察窗，其包括安裝于翻板閥室之上的觀察玻璃，所述觀察玻璃位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有反光層，所述反光層設(shè)置為環(huán)形結(jié)構(gòu)，且于觀察玻璃的中間位置留有透明的橢圓形結(jié)構(gòu)的觀察小窗，上述硅單晶爐翻板閥室觀察窗的觀察玻璃位于翻板閥室室內(nèi)的表面上鍍有環(huán)形的反光層，且于中間留有透明的觀察小窗，在起到觀察效果的同時，利用反光層反射掉爐內(nèi)的輻射熱量，避免了與觀察玻璃接觸的膠密封圈會過熱而失去密封作用，不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，而且安裝方便，安全可靠性高。
文檔編號C30B35/00GK202054921SQ20112011893
公開日2011年11月30日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月21日
發(fā)明者惠夢君 申請人:無錫市惠德晶體控制設(shè)備有限公司