專利名稱：可動(dòng)式接地裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于ー種接地裝置，且特別是有關(guān)于ー種可動(dòng)式接地裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程中，常常會(huì)難以避免的在元件的表面上累積ー些不希望出現(xiàn)的靜電，這些靜電若是不加以移除，將可能因而影響成品整體的合格率。舉例來說，以薄膜晶體管基板的干蝕刻制程為例，若是無法實(shí)時(shí)移除薄膜晶體管基板上的靜電，則有可能會(huì)因而發(fā)生電弧(arcing)現(xiàn)象，使得薄膜晶體管基板上的線路燒毀，而造成產(chǎn)品異常。傳統(tǒng)用以移除靜電的裝置可參照?qǐng)DIA與圖1B。升降裝置110可以相對(duì)于接地端120上下移動(dòng)，升降裝置110上具有導(dǎo)體材質(zhì)的支撐部112，用以承放如薄膜晶體管基板等物體，支撐部112上具有接地銅片114。如圖IA所示，當(dāng)升降裝置110上升時(shí)，接地銅片114不與接地端120接觸而保持絕緣狀。如圖IB所示，當(dāng)升降裝置110下降時(shí)，接地銅片114與接地端120接觸，而帶走支撐部112上的物體所帯的靜電。但是，接地銅片114在經(jīng)過長時(shí)間的作動(dòng)之后，接地銅片114的弾性容易因?yàn)榻饘倨诙档?，使得接地銅片114斷裂而喪失接地的功能。因此，如何提高接地裝置的使用壽命，便成為ー個(gè)重要的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是在提供一種可動(dòng)式接地裝置，用以解決傳統(tǒng)因接地銅片金屬疲勞而斷裂所導(dǎo)致的問題。本發(fā)明ー實(shí)施例提出一種可動(dòng)式接地裝置，包含接地端、相對(duì)于接地端升降的升降機(jī)構(gòu)、連接升降機(jī)構(gòu)的連接座、樞接于連接座的杠桿機(jī)構(gòu)，以及連接于杠桿機(jī)構(gòu)的一端的接觸元件。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端上升時(shí)，接觸元件與杠桿機(jī)構(gòu)不與接地端接觸，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端下降時(shí)，接觸元件接觸接地端。當(dāng)接觸元件接觸接地端時(shí)，杠桿機(jī)構(gòu)與接地端之間保持有一定的間距。本發(fā)明ー種可動(dòng)式接地裝置的另ー態(tài)樣為包含接地端、升降機(jī)構(gòu)、連接座、杠桿機(jī)構(gòu)與接觸元件。升降機(jī)構(gòu)相對(duì)于接地端升降，具有ー支撐部。連接座連接接地端。杠桿機(jī)構(gòu)，樞接于連接座。接觸元件連接于杠桿機(jī)構(gòu)的一端，其中當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端上升時(shí)，接觸元件與杠桿機(jī)構(gòu)不與支撐部接觸，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端下降時(shí)，接觸元件接觸支撐部。杠桿機(jī)構(gòu)可更包含一重錘，設(shè)置于相對(duì)接觸元件的另一端。前述的可動(dòng)式接地裝置可更包含一止復(fù)機(jī)構(gòu)，以提供杠桿機(jī)構(gòu)ー預(yù)傾角。止復(fù)機(jī)構(gòu)可包含設(shè)置于連接座的ー凸塊，杠桿機(jī)構(gòu)接觸該凸塊，杠桿機(jī)構(gòu)可更包含ー凸緣，接觸凸塊以定位?；蛘?，止復(fù)機(jī)構(gòu)可包含設(shè)置于連接座上之一斜面，杠桿機(jī)構(gòu)接觸斜面。連接座、杠桿機(jī)構(gòu)與接觸元件的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。接觸元件可為滾輪。連接座可為L形?？蓜?dòng)式接地裝置利用重力與杠桿原理，使得升降裝置上升時(shí)形成斷路，而升降裝置下降時(shí)形成導(dǎo)通?？蓜?dòng)式接地裝置利用杠桿機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，可以避免如習(xí)知技術(shù)一般因頻繁作動(dòng)導(dǎo)致接地銅片金屬疲勞而斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。


為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附圖式的詳細(xì)說明如下圖IA與圖IB為傳統(tǒng)用以移除靜電的裝置；圖2A與圖2B繪示本發(fā)明之可動(dòng)式接地裝置ー實(shí)施例于不同階段的側(cè)視圖；圖3繪示本發(fā)明之可動(dòng)式接地裝置另ー實(shí)施例的側(cè)視圖；圖4A與圖4B分別繪示本發(fā)明之可動(dòng)式接地裝置又一實(shí)施例的側(cè)視圖與上視圖；
第5A圖與圖5B分別繪示本發(fā)明之可動(dòng)式接地裝置再ー實(shí)施例于不同狀態(tài)的側(cè)視圖；圖6繪示本發(fā)明之可動(dòng)式接地裝置再ー實(shí)施例的側(cè)視圖。主要元件符號(hào)說明200:可動(dòng)式接地裝置210 :接地端220 :升降機(jī)構(gòu)222:支撐部230 :連接座232 :端234 :端236 :斜面240 :杠桿機(jī)構(gòu)242 :端244 :端246 :重錘250 :接觸元件260 :螺絲270:凸塊272:凸緣d:間距
具體實(shí)施例方式以下將以圖式及詳細(xì)說明清楚說明本發(fā)明的精神，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在了解本發(fā)明的較佳實(shí)施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教示的技術(shù)，加以改變及修飾，其并不脫離本發(fā)明的精神與范圍。參照?qǐng)D2A與圖2B，其繪示本發(fā)明的可動(dòng)式接地裝置ー實(shí)施例于不同階段的側(cè)視圖?？蓜?dòng)式接地裝置200包含有接地端210、升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240以及接觸元件250。其中升降機(jī)構(gòu)220可以相對(duì)于接地端210進(jìn)行升降。連接座230可以連接于升降機(jī)構(gòu)220上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230。接觸元件250連接于杠桿機(jī)構(gòu)240的一端242，尤其是設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240面對(duì)接地端210的一端242。升降機(jī)構(gòu)220上更具有支撐部222，用以承放對(duì)象，支撐部222可以為升降機(jī)構(gòu)220的一部分，或是與連接座230 —體成形。升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。如圖2A所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210上升時(shí)，接觸元件250與杠桿機(jī)構(gòu)240不與接地端210接觸。而如圖2B所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210下降時(shí)，接觸元件250會(huì)接觸接地端210，使得對(duì)象上累積的靜電可以經(jīng)由支撐部222、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250傳遞至接地端210被帶走。當(dāng)接觸元件250接觸接地端210時(shí)，杠桿機(jī)構(gòu)240與接地端210之間仍然具有間距d。接觸元件250較佳地為滾輪，使得接觸元件250接觸接地端210時(shí)，接觸元件250可以相對(duì)于接地端210滑動(dòng)，以減少因直接摩擦而在接地端210上產(chǎn)生刮痕的情形。
連接座230可以為L形連接座，連接座230的一端232藉由螺絲260鎖固于升降機(jī)構(gòu)220上，連接座230的另一端234則是與杠桿機(jī)構(gòu)240樞接?？蓜?dòng)式接地裝置200更包含有止復(fù)機(jī)構(gòu)，用以提供杠桿機(jī)構(gòu)240預(yù)傾角，使杠桿機(jī)構(gòu)240沿著設(shè)定的方向相對(duì)于連接座230樞轉(zhuǎn)。止復(fù)機(jī)構(gòu)可以為設(shè)置于連接座230上的凸塊270，凸塊270較佳地為設(shè)置于連接座230的一端234與杠桿機(jī)構(gòu)240之間，使得杠桿機(jī)構(gòu)240在自然下落的狀態(tài)，即圖2A所示的狀態(tài)中，杠桿機(jī)構(gòu)240會(huì)接觸凸塊270，使得杠桿機(jī)構(gòu)240與接地端210之間不會(huì)垂直而夾有預(yù)傾角。參照?qǐng)D3，其繪示本發(fā)明的可動(dòng)式接地裝置另ー實(shí)施例的側(cè)視圖?？蓜?dòng)式接地裝置200包含有接地端210、升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240以及接觸元件250。其中升降機(jī)構(gòu)220可以相對(duì)于接地端210進(jìn)行升降。連接座230可以連接于升降機(jī)構(gòu)220上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230。接觸元件250連接于杠桿機(jī)構(gòu)240的一端242，尤其是設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240面對(duì)接地端210的一端242。升降機(jī)構(gòu)220上更具有支撐部222，用以承放對(duì)象，支撐部222可以為升降機(jī)構(gòu)220的一部分，或是與連接座230 —體成形。升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。接觸元件250可以為滾輪。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210上升時(shí)，接觸元件250與杠桿機(jī)構(gòu)240不與接地端210接觸。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210下降時(shí)，接觸元件250會(huì)接觸接地端210，使得對(duì)象上累積的靜電可以經(jīng)由支撐部222、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250傳遞至接地端210被帶走。本實(shí)施例中，連接座230為一字形連接座，止復(fù)機(jī)構(gòu)包含設(shè)置于連接座230上的斜面236，當(dāng)杠桿機(jī)構(gòu)240呈自然下落狀態(tài)時(shí)，杠桿機(jī)構(gòu)240會(huì)與斜面236接觸，以定位杠桿機(jī)構(gòu)240并提供所需的預(yù)傾角。參照?qǐng)D4A與圖4B，其分別繪示本發(fā)明的可動(dòng)式接地裝置又一實(shí)施例的側(cè)視圖與上視圖?？蓜?dòng)式接地裝置200包含有接地端210、升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240以及接觸元件250。其中升降機(jī)構(gòu)220可以相對(duì)于接地端210進(jìn)行升降。連接座230可以連接于升降機(jī)構(gòu)220上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230。接觸元件250連接于杠桿機(jī)構(gòu)240的一端242，尤其是設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240面對(duì)接地端210的一端242。升降機(jī)構(gòu)220上更具有支撐部222，用以承放對(duì)象，支撐部222可以為升降機(jī)構(gòu)220的一部分，或是與連接座230 —體成形。升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。接觸元件250可以為滾輪。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210上升時(shí)，接觸元件250與杠桿機(jī)構(gòu)240不與接地端210接觸。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210下降時(shí)，接觸元件250會(huì)接觸接地端210，使得對(duì)象上累積的靜電可以經(jīng)由支撐部222、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250傳遞至接地端210被帶走。本實(shí)施例中，連接座230為ー字形的連接座。止復(fù)機(jī)構(gòu)包含有設(shè)置于連接座230上的凸塊270與位于杠桿機(jī)構(gòu)240上的凸緣272。凸緣272位于杠桿機(jī)構(gòu)240相對(duì)于接觸元件250的另一端上244，并位于 凸塊270與接地端210之間。當(dāng)杠桿機(jī)構(gòu)240位于自然下落狀態(tài)時(shí)，凸緣272會(huì)接觸凸塊270，以定位杠桿機(jī)構(gòu)240，以及提供杠桿機(jī)構(gòu)240所需要的預(yù)傾角。參照?qǐng)D5A與圖5B，其分別繪示本發(fā)明的可動(dòng)式接地裝置再ー實(shí)施例于不同狀態(tài)的側(cè)視圖。可動(dòng)式接地裝置200包含有接地端210、升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240以及接觸元件250。其中升降機(jī)構(gòu)220可以相對(duì)于接地端210進(jìn)行升降。連接座230可以設(shè)置在接地端210上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230。升降機(jī)構(gòu)220上更具有支撐部222，用以承放對(duì)象。接觸元件250連接于杠桿機(jī)構(gòu)240的一端242，尤其是設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240面對(duì)支撐部222的一端242。升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。接觸元件250可以為滾輪。如圖5A所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210上升時(shí)，接觸元件250與杠桿機(jī)構(gòu)240不與支撐部222接觸，即接觸元件250與支撐部222之間具有間隔。如圖5B所示，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210下降時(shí)，接觸元件250會(huì)接觸支撐部222，使得對(duì)象上累積的靜電可以經(jīng)由支撐部222、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250傳遞至接地端210
被帶走。為了維持接觸元件250上揚(yáng)以便于接觸支撐部222，杠桿機(jī)構(gòu)240更包含重錘246,設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240相對(duì)于接觸兀件250的另一端244。杠桿機(jī)構(gòu)240的長度與重錘246的重量與位置可以依照下壓距離或是重量加以設(shè)計(jì)，但是重錘246較佳地為不與接地端210接觸。本實(shí)施例中，連接座230為L形連接座，連接座230的一端232利用螺絲260鎖固于接地端210上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230的另一端232。止復(fù)機(jī)構(gòu)包含設(shè)置于連接座230上的凸塊270。凸塊270位于連接座230與杠桿機(jī)構(gòu)240之間，使得杠桿機(jī)構(gòu)240因重錘246的重力自然下落時(shí)，如圖5A所示，杠桿機(jī)構(gòu)240接觸凸塊270，以定位杠桿機(jī)構(gòu)240并提供所需要的預(yù)傾角。參照?qǐng)D6，其繪示本發(fā)明的可動(dòng)式接地裝置再ー實(shí)施例的側(cè)視圖?？蓜?dòng)式接地裝置200包含有接地端210、升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240以及接觸元件250。其中升降機(jī)構(gòu)220可以相對(duì)于接地端210進(jìn)行升降。連接座230可以設(shè)置在接地端210上，杠桿機(jī)構(gòu)240樞接于連接座230。升降機(jī)構(gòu)220上更具有支撐部222，用以承放對(duì)象。接觸元件250連接于杠桿機(jī)構(gòu)240的一端242，尤其是設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240面對(duì)支撐部222的一端242。升降機(jī)構(gòu)220、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。接觸元件250可以為滾輪。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210上升時(shí)，接觸元件250與杠桿機(jī)構(gòu)240不與支撐部222接觸，即接觸元件250與支撐部222之間具有間隔。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)220相對(duì)于接地端210下降時(shí)，接觸元件250會(huì)接 觸支撐部222，使得對(duì)象上累積的靜電可以經(jīng)由支撐部222、連接座230、杠桿機(jī)構(gòu)240與接觸元件250傳遞至接地端210被帶走。杠桿機(jī)構(gòu)240更包含重錘246,設(shè)置于杠桿機(jī)構(gòu)240相對(duì)于接觸兀件250的另一端244。杠桿機(jī)構(gòu)240的長度與重錘246的重量與位置可以依照下壓距離或是重量加以設(shè)計(jì)，但是重錘246較佳地為不與接地端210接觸。本實(shí)施例中，連接座230為L形連接座，止復(fù)機(jī)構(gòu)包含設(shè)置于連接座230的一端234上的斜面236。斜面236與接地端210之間夾有夾角，當(dāng)杠桿機(jī)構(gòu)240因重錘246的重力自然下落時(shí)，杠桿機(jī)構(gòu)240接觸斜面236，以定位杠桿機(jī)構(gòu)240并提供所需要的預(yù)傾角。由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn)?？蓜?dòng)式接地裝置利用重力與杠桿原理，使得升降裝置上升時(shí)形成斷路，而升降裝置下降時(shí)形成導(dǎo)通?？蓜?dòng)式接地裝置利用杠桿機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，可以避免如習(xí)知技術(shù)一般因頻繁作動(dòng)導(dǎo)致接地銅片金屬疲勞而斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，包含 一接地端； 一升降機(jī)構(gòu)，相對(duì)于該接地端升降； ー連接座，連接該升降機(jī)構(gòu)； ー杠桿機(jī)構(gòu)，樞接于該連接座；以及 一接觸元件，連接于該杠桿機(jī)構(gòu)的一端，其中當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)相對(duì)該接地端上升時(shí)，該接觸元件與該杠桿機(jī)構(gòu)不與該接地端接觸，當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)相對(duì)該接地端下降時(shí)，該接觸元件接觸該接地端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在干，當(dāng)該接觸元件接觸該接地端吋，該杠桿機(jī)構(gòu)與該接地端之間具有一間距。
3.一種可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，包含 一接地端； 一升降機(jī)構(gòu)，相對(duì)于該接地端升降，具有一支撐部； ー連接座，連接該接地端； ー杠桿機(jī)構(gòu)，樞接于該連接座；以及 一接觸元件，連接于該杠桿機(jī)構(gòu)的一端，其中當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)相對(duì)該接地端上升時(shí)，該接觸元件與該杠桿機(jī)構(gòu)不與該支撐部接觸，當(dāng)該升降機(jī)構(gòu)相對(duì)該接地端下降時(shí)，該接觸元件接觸該支撐部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在干，該杠桿機(jī)構(gòu)更包含一重錘，設(shè)置于相對(duì)該接觸元件的另一端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，更包含一止復(fù)機(jī)構(gòu)，以提供該杠桿機(jī)構(gòu)ー預(yù)傾角。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在干，該止復(fù)機(jī)構(gòu)包含設(shè)置于該連接座的一凸塊，該杠桿機(jī)構(gòu)接觸該凸塊。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在干，該杠桿機(jī)構(gòu)更包含ー凸緣，接觸該凸塊以定位。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，該止復(fù)機(jī)構(gòu)包含設(shè)置于該連接座上的一斜面，該杠桿機(jī)構(gòu)接觸該斜面。
9.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，該連接座、該杠桿機(jī)構(gòu)與該接觸元件的材質(zhì)為金屬或可導(dǎo)電材質(zhì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，該接觸元件為ー滾輪。
11.根據(jù)權(quán)利要求I或3所述的可動(dòng)式接地裝置，其特征在于，該連接座為L形。
全文摘要
一種可動(dòng)式接地裝置，包含接地端、相對(duì)于接地端升降的升降機(jī)構(gòu)、連接升降機(jī)構(gòu)的連接座、樞接于連接座的杠桿機(jī)構(gòu)，以及連接于杠桿機(jī)構(gòu)的一端的接觸元件。當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端上升時(shí)，接觸元件與杠桿機(jī)構(gòu)不與接地端接觸，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)相對(duì)接地端下降時(shí)，接觸元件接觸接地端。
文檔編號(hào)H05F3/02GK102647841SQ20121010871
公開日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2012年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月10日
發(fā)明者羅再昇, 陳峰毅 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司