專(zhuān)利名稱(chēng)：真空充氣燃料爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于晶體材料生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其是指一種真空充氣燃料爐。
背景技術(shù)：
燒結(jié)爐主要應(yīng)用在鋼鐵行業(yè)、冶金行業(yè)、電子行業(yè)等。是一種在高溫下，使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián)，晶粒長(zhǎng)大，空隙和晶界漸趨減少，通過(guò)物質(zhì)的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體的爐具。在對(duì)難熔合金如鎢、鑰及其合金的粉末成型燒結(jié)時(shí)，普通燒結(jié)爐難以生長(zhǎng)出符合標(biāo)準(zhǔn)的晶體，成品率低。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種真空充氣燃料爐，以解決難熔物質(zhì)晶體生長(zhǎng)成品率低的問(wèn)題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是電極與燒料爐內(nèi)部固定連接，燒料爐與爐架固定連接，高真空管道一端與燒料爐下端固定連接，高真空管道另一端通過(guò)擴(kuò)散泵進(jìn)口法蘭與擴(kuò)散泵固定連接，擴(kuò)散泵通過(guò)擴(kuò)散泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道通過(guò)羅茨泵進(jìn)口法蘭與羅茨泵固定連接，羅茨泵通過(guò)羅茨泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道與牽引電磁鐵固定連接，牽引電磁鐵通過(guò)泵閥連接件與機(jī)械泵固定連接，空氣閥與高真空管道固定連接，真空蝶閥安裝在高真空管道中部，壓力真空表與高真空管道固定連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎，使晶體生長(zhǎng)在真空系統(tǒng)中進(jìn)行，保證了晶體的成品率，提高了難熔性物質(zhì)的結(jié)晶質(zhì)量。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
電極17與燒料爐I內(nèi)部固定連接，燒料爐I與爐架5固定連接，高真空管道6 —端與燒料爐I下端固定連接，高真空管道6另一端通過(guò)擴(kuò)散泵進(jìn)口法蘭10與擴(kuò)散泵2固定連接，擴(kuò)散泵2通過(guò)擴(kuò)散泵出口法蘭11與低真空管道7固定連接，低真空管道7通過(guò)羅茨泵進(jìn)口法蘭12與羅茨泵3固定連接，羅茨泵3通過(guò)羅茨泵出口法蘭13與低真空管道7固定連接，低真空管道7與牽引電磁鐵9固定連接，牽引電磁鐵9通過(guò)泵閥連接件8與機(jī)械泵4固定連接，空氣閥14與高真空管道6固定連接，真空蝶閥16安裝在高真空管道6中部，壓力真空表15與高真空管道6固定連接。
權(quán)利要求1. 一種真空充氣燃料爐，其特征在于電極與燒料爐內(nèi)部固定連接，燒料爐與爐架固定連接，高真空管道一端與燒料爐下端固定連接，高真空管道另一端通過(guò)擴(kuò)散泵進(jìn)口法蘭與擴(kuò)散泵固定連接，擴(kuò)散泵通過(guò)擴(kuò)散泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道通過(guò)羅茨泵進(jìn)口法蘭與羅茨泵固定連接，羅茨泵通過(guò)羅茨泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道與牽引電磁鐵固定連接，牽引電磁鐵通過(guò)泵閥連接件與機(jī)械泵固定連接，空氣閥與高真空管道固定連接，真空蝶閥安裝在高真空管道中部，壓力真空表與高真空管道固定連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種真空充氣燃料爐，屬于晶體材料生產(chǎn)領(lǐng)域。電極與燒料爐內(nèi)部固定連接，燒料爐與爐架固定連接，高真空管道一端與燒料爐下端固定連接，高真空管道另一端通過(guò)擴(kuò)散泵進(jìn)口法蘭與擴(kuò)散泵固定連接，擴(kuò)散泵通過(guò)擴(kuò)散泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道通過(guò)羅茨泵進(jìn)口法蘭與羅茨泵固定連接，羅茨泵通過(guò)羅茨泵出口法蘭與低真空管道固定連接，低真空管道與牽引電磁鐵固定連接，牽引電磁鐵通過(guò)泵閥連接件與機(jī)械泵固定連接，空氣閥與高真空管道固定連接，真空蝶閥安裝在高真空管道中部，壓力真空表與高真空管道固定連接。優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎，使晶體生長(zhǎng)在真空系統(tǒng)中進(jìn)行，保證了晶體的成品率，提高了難熔性物質(zhì)的結(jié)晶質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B35/00GK202482493SQ20122005032
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月16日
發(fā)明者靜宇, 靜楓 申請(qǐng)人:吉林省賽爾光電技術(shù)有限公司