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      一種晶棒拼接裝置的制作方法

      文檔序號:8158815閱讀:307來源:國知局
      專利名稱:一種晶棒拼接裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及晶棒拼接夾具技術(shù)領(lǐng)域,尤其是一種單、多晶棒通用拼接裝置。
      背景技術(shù)
      根據(jù)目前行業(yè)內(nèi)現(xiàn)有鑄硅錠、拉單晶工藝,晶棒截斷去除雜質(zhì)后可使用晶棒長短不一,為滿足各機(jī)型設(shè)備加工能力,需將這些短棒在粘棒工序進(jìn)行拼接處理后使用。參考文獻(xiàn)CN101550603 —種硅單晶棒的拼裝裝置,該裝置為手工方法,擠壓短棒粘合,在拼接處存在較大縫隙,且表面不平整一致,再與晶托粘接極易出現(xiàn)空穴局部無膠,在切割過程中產(chǎn)生掉片、斷線,等問題;使用硅單晶棒拼棒裝置,上下左右前后固定緊密拼接使其無縫,在產(chǎn)線員工操作繁瑣,且不易去除多余膠,晶棒拼接后再與晶托粘接該工序流轉(zhuǎn)耗時較長,同時僅適用于單晶硅。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中之不足,提供一種拼接晶棒操作簡單,粘棒工序操作時間短,員工能及時去除多余粘接劑,同時調(diào)整晶棒在晶托玻璃板上的位置,并通用于單、多晶硅棒通用拼接的工裝。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種晶棒拼接裝置,包括底座,所述底座左右兩端垂直固定有左擋板和右擋板,在左擋板和右擋板的如側(cè)活動固定有如檔桿,所述晶棒拼接裝置還包括右活動擋板,右活動擋板的一端固定連接有穿過右擋板的導(dǎo)螺桿,所述導(dǎo)螺桿的另一端連接有手輪;所述的左擋板開有倒角空洞;所述的前檔桿中部設(shè)有凹槽,凹槽上裝有滑扣擋塊。進(jìn)一步地,所述的左擋板和右擋板通過緊固螺栓與底座固定。進(jìn)一步地,所述的前檔桿左右設(shè)置兩個加緊螺栓,前檔桿通過加緊螺栓活動連接在左擋板和右擋板上。進(jìn)一步地,所述的導(dǎo)螺桿的兩側(cè)平行的設(shè)有導(dǎo)向桿,所述導(dǎo)向桿的一端固定連接在右活動擋板上。進(jìn)一步地,所述的手輪上裝有圓形手柄。進(jìn)一步地,所述底座的底部安裝有底座墊帽。左擋板留有空洞,可以便于員工及時去除粘棒粘接劑,避免放棒時與晶棒碰撞發(fā)生崩邊缺角不良,同時便于員工確認(rèn)晶棒放置位置與玻璃板前后對正;前檔桿上左右設(shè)置兩個加緊螺栓,便于員工手動搬移放棒,無阻礙,加緊螺栓位置可確定所粘接晶棒在晶托玻璃板上的位置;前檔桿設(shè)計(jì)中部凹陷,便于去除該部位被擠壓出的膠體,同時附上兩塊滑扣擋塊,可根據(jù)晶棒長短左右調(diào)整位置,易去膠同時便于保證該面平整;導(dǎo)向桿起到加緊定位導(dǎo)向、穩(wěn)固導(dǎo)螺桿的作用,當(dāng)晶棒距離右活動擋板較遠(yuǎn)時,員工可快速搖動手柄,當(dāng)晶棒距離右活動擋板較近時使用圓形手輪,便于員工在加緊處微調(diào),進(jìn)程較慢避免兩棒對接處碰撞造成崩邊或缺角;底座四個底座墊帽便于工裝調(diào)整角度,晶棒擠壓時不易外滑動,與底座保持平整。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型適用于車間批量使用,操作簡單,可在單、多晶硅棒各自拼接通用,實(shí)現(xiàn)左右加緊,緊密無縫,前后對齊拼接,易去除多余殘留膠,達(dá)到四面平整,同時縮短整個粘棒工序流轉(zhuǎn)時間,降低因硅棒間存在空隙,去膠不干凈,造成的線切不穩(wěn)進(jìn)而產(chǎn)生的跳線、斷線問題,同時解決在制備過程中滯留較長的問題,從而提高單、多晶硅棒切片良率,提 高粘棒效率。
      以下結(jié)合附圖
      和實(shí)施方式對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中I.左擋板,2.加緊螺栓,3.前檔桿,4.滑扣擋塊,5.右活動擋板,6.導(dǎo)向桿,
      7.手輪,8.手柄,9.緊固螺栓,10.底座墊帽,11.底座,12.右擋板,13.倒角空洞,14.導(dǎo)螺桿。
      具體實(shí)施方式
      現(xiàn)在結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖I所不的一種晶棒拼接裝置,包括底座11,所述底座11左右兩端通過緊固螺栓9垂直固定有左擋板I和右擋板12,前檔桿3左右設(shè)置兩個加緊螺栓2,通過加緊螺栓2活動連接在左擋板I和右擋板12上,所述晶棒拼接裝置還包括右活動擋板5,右活動擋板5的一端固定連接有穿過右擋板12的導(dǎo)螺桿14,所述導(dǎo)螺桿14的另一端連接有手輪7 ;所述的左擋板I開有倒角空洞13 ;所述的前檔桿3中部設(shè)有凹槽,凹槽上裝有滑扣擋塊4 ;所述的導(dǎo)螺桿14的兩側(cè)平行的設(shè)有導(dǎo)向桿6,導(dǎo)向桿6的一端固定連接在右活動擋板5上;所述的手輪7上裝有手柄8 ;所述底座11的底部安裝有底座墊帽10。這種晶棒拼接裝置使用步驟為a).將這種裝置放于平整桌臺,調(diào)整四個底座墊帽10,使其水平放置;b).松開加緊螺栓2,卸下前檔桿3,將粘有玻璃板的晶托放在底座11上;c).將粘棒膠涂抹于玻璃板上,將拼接膠分別涂抹在需拼接的兩個晶棒截面上,將涂抹好的A晶棒放置在涂抹后的玻璃板上; d) 將B晶棒緊挨A晶棒放置,間距約2-3_ ;e).安裝前檔桿3并根據(jù)晶棒長短來調(diào)整滑扣擋塊4,固定好晶棒位置;f)左手扶右活動擋板5,右手旋動手柄8,俯視晶棒,如兩晶棒拼接處前后上下均有膠水?dāng)D出,停止加緊;g)刮除兩晶棒拼接處多余膠水,同時查看是否留有縫隙,如殘留有小縫隙,及時將膠水增補(bǔ)至小縫隙處;h)兩晶棒上壓上鐵托,等待粘接劑的出固時間約20min,再次刮除溢流膠。本裝置適用于切片前工序中單、多晶硅棒粘接;亦適用于開方工序前的單晶拼接。但是,該方法只適用于拼接膠與粘棒膠混合后無異常反應(yīng)。本裝置亦適用于將兩個晶棒先在工裝上拼接好后,再與晶托粘接。(僅需在底座11上放置活動墊塊。)本裝置亦適用于開方前工序圓棒粘接-拼接單晶圓棒,后再與晶托粘接開方。(使用時,僅需調(diào)節(jié)底座上的底座墊帽10,傾斜角度約15-20度。)使用本裝置,最終能使晶棒無縫對接,對接后整體表面平整,如后對齊,晶棒與晶棒之間、晶棒與晶托之間粘接一起進(jìn)行。上述實(shí)施方式只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn),其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技 術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并加以實(shí)施,并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍,凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
      權(quán)利要求1.一種晶棒拼接裝置,包括底座(11),所述底座(11)左右兩端垂直固定有左擋板(I)和 右擋板(12),在左擋板(I)和右擋板(12)的前側(cè)活動固定有前檔桿(3),其特征在于所述晶棒拼接裝置還包括右活動擋板(5),右活動擋板(5)的一端固定連接有穿過右擋板(12)的導(dǎo)螺桿(14),所述導(dǎo)螺桿(14)的另一端連接有手輪(7);所述的左擋板⑴開有倒角空洞(13);所述的前檔桿(3)中部設(shè)有凹槽,凹槽上裝有滑扣擋塊(4)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶棒拼接裝置,其特征在于所述的左擋板(I)和右擋板(12)通過緊固螺栓(9)與底座(11)固定。
      3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶棒拼接裝置,其特征在于所述的前檔桿(3)左右設(shè)置兩個加緊螺栓(2),前檔桿(3)通過加緊螺栓(2)活動連接在左擋板(I)和右擋板(12)上。
      4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶棒拼接裝置,其特征在于所述的導(dǎo)螺桿(14)的兩側(cè)平行的設(shè)有導(dǎo)向桿¢),所述導(dǎo)向桿¢)的一端固定連接在右活動擋板(5)上。
      5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶棒拼接裝置,其特征在于所述的手輪(7)上裝有手柄⑶。
      6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶棒拼接裝置,其特征在于所述底座(11)的底部安裝有底座墊帽(10)。
      專利摘要本實(shí)用新型涉及一種單、多晶棒通用拼接裝置。一種晶棒拼接裝置,包括底座,底座左右兩端垂直固定有左擋板和右擋板,在左擋板和右擋板的前側(cè)活動固定有前檔桿;該裝置還包括右活動擋板,其一端固定連接有穿過右擋板的導(dǎo)螺桿,導(dǎo)螺桿的另一端連接有手輪;左擋板開有倒角空洞;前檔桿中部設(shè)有凹槽,凹槽上裝有滑扣擋塊。本實(shí)用新型適用于車間批量使用,操作簡單,可在單、多晶硅棒各自拼接通用,實(shí)現(xiàn)左右加緊,緊密無縫,前后對齊拼接,易去除多余殘留膠,從而提高單、多晶硅棒切片良率,提高粘棒效率。
      文檔編號C30B33/06GK202492617SQ20122006000
      公開日2012年10月17日 申請日期2012年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月23日
      發(fā)明者劉煥煥 申請人:常州天合光能有限公司
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