專利名稱：一種石墨基座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域外延層的生長技術(shù)中的基座，特別是涉及ー種石墨基座。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的6寸(即15.24cm)石墨基座只能用在生長6寸外延層的腔體，試用比較單一。由于在半導(dǎo)體領(lǐng)域涉及生產(chǎn)訂單更換比較平凡，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，大尺寸的外延片需求是市場所需，考慮到以后5寸外延片逐步淘汰，所需的5寸石墨基座也可能逐步
淘汰，所以在做石墨備品備件時(shí)，由于石墨基座價(jià)格比較昂貴，為了減少5寸石墨基座的米購量，需要用6寸的石墨基座來代替使用。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供ー種石墨基座，可以生產(chǎn)兩種尺寸的外延片。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是提供ー種石墨基座，包括底座，所述底座上設(shè)置有安裝位，所述安裝位內(nèi)安裝有可拆卸的石英圓環(huán)，所述石英圓環(huán)的外圈與所述安裝位的內(nèi)圈緊密貼合。所述安裝位有8個，均勻分布在所述底座上表面。所述石英圓環(huán)的內(nèi)徑為12. 7cm。所述石英圓環(huán)的厚度為O. 36mm。有益效果由于采用了上述的技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果本實(shí)用新型是在傳統(tǒng)的6寸石墨基座的每ー個安裝位內(nèi)放上一個可拆卸的石英圓環(huán)，使石英圓環(huán)的外圈緊貼安裝位的外圏。這樣就可保證6寸的石墨基座可以生產(chǎn)兩種尺寸的外延片。需要長6寸外延片時(shí)只要將8個石英圓環(huán)從6寸的基座上拿下來，而需要安裝5寸時(shí)將8個石英環(huán)裝上就可以，起到了很好的兼容性。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)ー步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型作各種改動或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。本實(shí)用新型的實(shí)施方式涉及ー種石墨基座，如圖I所示，包括底座，所述底座上設(shè)置有安裝位，所述安裝位內(nèi)安裝有可拆卸的石英圓環(huán)，所述石英圓環(huán)的外圈與所述安裝位的內(nèi)圈緊密貼合。其中，安裝位共有8個，均勻分布在所述底座上表面。石英圓環(huán)的內(nèi)徑為12. 7cm (即5寸),厚度約為O. 36mm。不難發(fā)現(xiàn)，本實(shí)用新型是在傳統(tǒng)的6寸石墨基座的每ー個安裝 位內(nèi)放上一個可拆卸的石英圓環(huán)，使石英圓環(huán)的外圈緊貼安裝位的外圏。這樣就可保證6寸的石墨基座可以生產(chǎn)兩種尺寸的外延片。需要長6寸外延片時(shí)只要將8個石英圓環(huán)從6寸的基座上拿下來，而需要安裝5寸時(shí)將8個石英環(huán)裝上就可以，起到了很好的兼容性。
權(quán)利要求1.一種石墨基座，包括底座(I)，所述底座(I)上設(shè)置有安裝位(2)，其特征在于，所述安裝位⑵內(nèi)安裝有可拆卸的石英圓環(huán)(3)，所述石英圓環(huán)(3)的外圈與所述安裝位(2)的內(nèi)圈緊密貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨基座，其特征在于，所述安裝位(2)有8個，均勻分布在所述底座(I)上表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨基座，其特征在于，所述石英圓環(huán)(3)的內(nèi)徑為12.7cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨基座，其特征在于，所述石英圓環(huán)(3)的厚度為O.36mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種石墨基座，包括底座(1)，所述底座(1)上設(shè)置有安裝位(2)，所述安裝位(2)內(nèi)安裝有可拆卸的石英圓環(huán)(3)，所述石英圓環(huán)(3)的外圈與所述安裝位(2)的內(nèi)圈緊密貼合。本實(shí)用新型是在傳統(tǒng)的6寸石墨基座的每一個安裝位內(nèi)放上一個可拆卸的石英圓環(huán)，使石英圓環(huán)的外圈緊貼安裝位的外圈。這樣就可保證6寸的石墨基座可以生產(chǎn)兩種尺寸的外延片。
文檔編號C30B25/12GK202576645SQ20122017711
公開日2012年12月5日 申請日期2012年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月24日
發(fā)明者童科峰, 田達(dá)晰, 王震, 占傳奇, 陳華 申請人:浙江金瑞泓科技股份有限公司