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      一種利于定向凝固的散熱平臺的制作方法

      文檔序號:8170777閱讀:324來源:國知局
      專利名稱:一種利于定向凝固的散熱平臺的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及多晶硅鑄錠爐技術(shù)領(lǐng)域,尤其是多晶硅鑄錠爐熱場保溫技術(shù)領(lǐng)域。
      技術(shù)背景 多晶硅鑄錠爐隔熱籠包括頂板、底板和四周的側(cè)板,且隔熱籠側(cè)板分為上下兩部分和內(nèi)外兩層,隔熱籠上部分內(nèi)側(cè)隔熱板離側(cè)面加熱器較近且隔熱板為石墨碳氈材料,長時間高溫?zé)竞蟾魺岚鍟霈F(xiàn)嚴重粉化;當(dāng)隔熱籠側(cè)板上下運動時,側(cè)板與頂板書摩擦使粉化的石墨粉滑落。長此下去側(cè)面內(nèi)側(cè)隔熱板就會變薄,進而影響隔熱籠的整體保溫效果,導(dǎo)致運行時加熱功率増加和熱場的溫度梯度出現(xiàn)不均勻,從而導(dǎo)致硅錠長晶時出現(xiàn)陰影?;涞氖圻M入粉化的硅液中,使硅錠的碳化物嚴重超標(biāo)。為了保證爐子的正常使用和硅錠的質(zhì)量指標(biāo),隔熱籠上部分內(nèi)側(cè)保溫板使用I年左右就需要更換。這樣,無疑増加了成本,且在一定程度上影響生產(chǎn)進度。因此解決好此問題很有必要。

      實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供ー種利于定向凝固的散熱平臺。為了達到上述目的,本實用新型的技術(shù)方案是,ー種利于定向凝固的散熱平臺陶瓷石墨結(jié)構(gòu)支撐柱位置平臺四角,有效避開熱均衡器散熱位置,開關(guān)結(jié)構(gòu)位于支撐柱內(nèi)側(cè),不用額外開孔來避開支撐柱;按照散熱位置的實際需求對散熱平臺做切削打磨處理,使中心部位散熱加快,周邊呈現(xiàn)蓄熱保溫效果。根據(jù)坩堝底部尺寸對石墨平臺進行切削,并使切削后的平臺更加符合晶體垂直生長所需的熱場梯度變化,實現(xiàn)對晶體生長過程的溫度梯度控制。所述散熱平臺中心厚度減薄,平臺中心向外呈現(xiàn)階梯狀(或平滑)增厚。所述支撐柱采用專利“一種陶瓷石墨結(jié)構(gòu)的支撐柱”,改變原來三根支撐方式為四角支撐。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有以下優(yōu)點一、散熱平臺中心厚度減薄,平臺中心向外呈現(xiàn)階梯狀(或平滑)增厚,以便增加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量,能夠快遞反映到坩堝底部,以使得中心點散熱較邊緣加快,形成從中心向邊緣散熱的過程,從而使得爐內(nèi)籽晶得到良好的保護的同吋,使得晶體生長過程得到有效控制,晶體生長垂直性得到優(yōu)化ニ、支撐柱采用專利“ー種混合材質(zhì)的支撐柱”,改變原來三根支撐方式為四角支撐使得石墨平臺更加容易調(diào)整,并使下部散熱的均衡性得到提高,避開了原設(shè)計中石墨柱支撐點靠近中心位置,下部開關(guān)設(shè)計在支撐柱內(nèi)側(cè)既可完成開合及散熱效果,下部保溫處理更加易于處理,從而増加了保溫效果達到節(jié)能效果。

      [0010]圖1、圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3、圖4、圖5、圖6為本實用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。
      具體實施方式
      以下結(jié)合結(jié)構(gòu)示意圖對本實用新型作進ー步詳細說明。圖1、圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖,如圖1、圖2所示,散熱平臺I為階梯狀分布,其底部1-1經(jīng)切削處理為槽型(或穹頂)結(jié)構(gòu),上部為石墨構(gòu)件1-2,増加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量;四角為支撐柱2,使得石墨平臺更加容易調(diào)整,并使下部散熱的均衡性得到提高;在平臺兩邊預(yù)留叉車插入口 3,利于鑄錠后的處理工作;。圖3、圖4、圖5、圖6為實用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。
      權(quán)利要求1.一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征是散熱平臺底部(1-1)為中間高四周低的階梯結(jié)構(gòu);陶瓷石墨結(jié)構(gòu)支撐柱(2)位于散熱平臺四角。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征在于中心向外的階梯結(jié)構(gòu),包括外圓內(nèi)方、外圓內(nèi)圓、外方內(nèi)方、外方內(nèi)圓、多邊形結(jié)構(gòu);內(nèi)部切削方式以階梯狀為主,包括階梯深淺分布、平滑過渡的切削方式。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征在于開關(guān)結(jié)構(gòu)位于支撐柱⑵內(nèi)側(cè)。
      專利摘要一種利于定向凝固的散熱平臺,中心厚度減薄,平臺中心向外呈現(xiàn)階梯狀(或平滑)增厚,以便增加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量,能夠快速反映到坩堝底部,以使得中心點散熱較邊緣加快,形成從中心向邊緣散熱的過程從而使得爐內(nèi)籽晶得到良好保護的同時,使得晶體生長過程得到有效控制,晶體生長垂直性得到優(yōu)化。同時配合專利“一種陶瓷石墨結(jié)構(gòu)的支撐柱”,改變原來三根支撐方式,改為四角支撐,使得石墨平臺更加容易調(diào)整,并使下部散熱的均衡性得到提高,避開了原設(shè)計中石墨柱支撐點靠近中心位置,下部開關(guān)設(shè)計在支撐柱內(nèi)側(cè)既可完成開合并達到所需的散熱效果;有效解決了原來石墨支撐柱對運動隔板的影響,使得下部保溫裝置更加易于處理,從而增加了保溫效果達到節(jié)能效果。
      文檔編號C30B28/06GK202881447SQ201220417069
      公開日2013年4月17日 申請日期2012年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月13日
      發(fā)明者王有林, 張春慶, 王星, 王水林 申請人:王有林
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