專利名稱：磷擴散爐抽風管緩沖箱的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體分立器件和太陽能電池片的制造領域。
背景技術：
磷擴散是半導體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術成熟的磷擴散技術主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進行大批量生產(chǎn)。磷擴散方法的結(jié)構圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
權利要求
1.磷擴散爐抽風管緩沖箱，其特征在于:包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱體后側(cè)壁上設有爐管開口，所述緩沖箱體前側(cè)敞口并設有密封門，所述密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設有鎖閉結(jié)構，所述密封門上設有導流結(jié)構，所述緩沖箱體右側(cè)壁上設有抽風管開口。
2.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐抽風管緩沖箱，其特征在于:所述密封門上邊沿、下邊沿及右邊沿設有密封條進行密封。
3.根據(jù)權利要求2 所述的磷擴散爐抽風管緩沖箱，其特征在于:所述導流結(jié)構為密封門左側(cè)邊沿的導流槽。
4.根據(jù)權利要求3所述的磷擴散爐抽風管緩沖箱，其特征在于:所述鎖閉結(jié)構包括導流槽中間安裝的掛鉤及緩沖箱體左側(cè)邊對應該掛鉤設置的掛扣。
5.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐抽風管緩沖箱，其特征在于:所述緩沖箱為312不銹鋼結(jié)構，所述緩沖箱內(nèi)壁涂覆有特氟龍涂層。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磷擴散爐抽風管緩沖箱，包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱體后側(cè)壁上設有爐管開口，所述緩沖箱體前側(cè)敞口并設有密封門，所述密封門右側(cè)與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側(cè)與緩沖箱體之間設有鎖閉結(jié)構，所述密封門上設有導流結(jié)構，所述緩沖箱體右側(cè)壁上設有抽風管開口。本發(fā)明的緩沖箱密封門上設有導流結(jié)構引導空氣進入，因而，可以利用自然空氣冷卻擴散爐管中排除的尾氣，防止熔化抽風管的特氟龍涂層。從而降低了抽風系統(tǒng)的腐蝕速度，避免了氣化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的發(fā)生。
文檔編號C30B31/16GK103103619SQ201310018329
公開日2013年5月15日 申請日期2013年1月17日 優(yōu)先權日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請人:陳功