一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管的制作方法
【專利摘要】本專利講述的是一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管。該新型的尾氣管是在舊式尾氣管的結(jié)構(gòu)上做了極大的改進(jìn)。說明書對本裝置進(jìn)行了詳細(xì)的說明，并給出具體實(shí)施方案。
【專利說明】一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是一種新型結(jié)構(gòu)的尾氣管，用于閉管擴(kuò)散爐的尾排系統(tǒng)中。該結(jié)構(gòu)的主要目是利用少量N2持續(xù)吹掃的方式來防止長期運(yùn)行擴(kuò)散工藝后導(dǎo)致尾氣管難以拆卸的問題。

【背景技術(shù)】
[0002]進(jìn)入21世紀(jì)，電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高速發(fā)展激勵和帶動了集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這就為微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了空前廣闊的發(fā)展空間，也為半導(dǎo)體專用設(shè)備提供了巨大的市場潛力。
[0003]在所有半導(dǎo)體專用設(shè)備中，擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進(jìn)行摻雜，但是熱擴(kuò)散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體集成電路工藝的基礎(chǔ)設(shè)備，它與半導(dǎo)體工藝互相依存、互相促進(jìn)、共同發(fā)展。
[0004]擴(kuò)散工序作為電池制造中的最重要的一個環(huán)節(jié)，為了維持其工藝過程的穩(wěn)定性需要對擴(kuò)散的尾排系統(tǒng)做周期性的維護(hù)。而尾氣管的清洗維護(hù)是擴(kuò)散設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)的主要內(nèi)容，但長時間運(yùn)行工藝產(chǎn)生的偏磷酸凝結(jié)在尾氣管與擴(kuò)散反應(yīng)管接口處導(dǎo)致尾氣管無法拆卸，這對擴(kuò)散的尾排系統(tǒng)維護(hù)造成了極大的不便。故而，發(fā)明一種新型的便于拆卸的尾氣管是很有必要的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明針對電池制造擴(kuò)散工序清洗維護(hù)中遇到的難題而設(shè)計的一種新型結(jié)構(gòu)的尾氣管。利用少量N2持續(xù)吹掃的方式來防止工藝運(yùn)行中產(chǎn)生的偏磷酸氣體滯留在尾氣管與擴(kuò)散反應(yīng)管的接口處，這樣就不會產(chǎn)生偏磷酸凝固在接口處而導(dǎo)致尾氣管無法拆卸的問題。
[0006]本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0007]1、一種新型的尾氣管，包括:材質(zhì)、結(jié)構(gòu)尺寸和技術(shù)要求。
[0008]2、如權(quán)利要求1所述的該新型的尾氣管，其特征在于，材質(zhì)為石英。
[0009]3、如權(quán)利要求2所述的該新型的尾氣管，其特征在于在前端50mm長接口處有一個
N2進(jìn)氣通道。
[0010]4、如權(quán)利要求3所述的該新型的尾氣管，其特征在于便于拆卸和清洗，使用壽命長。
[0011]本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0012]1.便于拆卸，進(jìn)而極大地延長了尾氣管的使用壽命。
[0013]2.便于清洗維護(hù)。
[0014]3.降低了因擴(kuò)散尾排維護(hù)的使用成本，增加了設(shè)備實(shí)際使用時間。
[0015]本發(fā)明具有如下缺點(diǎn):
[0016]1.新型的尾氣管制作工藝較比舊式尾氣管復(fù)雜一點(diǎn)

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1舊式尾氣管結(jié)構(gòu)
[0018]圖2新型尾氣管結(jié)構(gòu)

【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
[0020]一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管，包括:材質(zhì)、結(jié)構(gòu)尺寸和技術(shù)要求。
[0021]1.材質(zhì)和技術(shù)要求
[0022]該尾氣管材質(zhì):石英
[0023]2.結(jié)構(gòu)尺寸
[0024]總長度2260mm。
[0025]主管道管徑，外徑Φ200ι?πιΧ壁厚1.5mm。
[0026]前端接口球碗，35/25標(biāo)準(zhǔn)球碗。該球碗尾部延長外徑Φ 28mmX壁厚1.5mm的管道外包于尾氣管主管道，且垂直外接內(nèi)徑Φ 1mmX壁厚1.5mm的N2進(jìn)氣管道。
[0027]后端接口球碗，28/15標(biāo)準(zhǔn)球碗。
[0028]3.技術(shù)要求
[0029]I)最聞耐溫 1200 C
[0030]2)退火消除內(nèi)應(yīng)力。
[0031]以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管，包括:材質(zhì)、結(jié)構(gòu)尺寸和技術(shù)要求。
2.如權(quán)利要求1所述的該新型的尾氣管，其特征在于，材質(zhì)為石英。
3.如權(quán)利要求2所述的該新型的尾氣管，其特征在于在前端50mm長接口處有一個N2進(jìn)氣通道。
4.如權(quán)利要求3所述的該新型的尾氣管，其特征在于便于拆卸和清洗，使用壽命長。
【文檔編號】C30B31/16GK104294367SQ201310303700
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2013年7月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月18日
【發(fā)明者】侯國峰 申請人:北京中科信電子裝備有限公司