一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，該工具包括第一直角塊、第二直角塊和一個長方塊，整體呈T字形；其中，兩個直角塊分別由橫邊和縱邊組成；第一直角塊的縱邊與第二直角塊的縱邊相互貼緊，長方塊位于兩個直角塊的橫邊外側(cè)并通過螺釘與兩個直角塊固定，長方塊開有兩條滑槽，四個螺釘分別位于兩條滑槽內(nèi)；兩個直角塊的橫邊通過螺桿連接，該螺桿穿過第一直角塊的橫邊，其端部穿入第二直角塊的橫邊，通過旋擰該螺桿可調(diào)節(jié)兩直角塊之間的距離。當(dāng)線圈由于變形導(dǎo)致線圈縫變窄后，采用本實用新型能較方便的擴寬線圈縫。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、實用。
【專利說明】—種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前半導(dǎo)體工業(yè)用的硅單晶主要是用直拉法(CZ)生長的。而區(qū)熔法(FZ)生長的單晶由于含氧低和幾乎沒有金屬污染的特點，使其適合用在大功率器件上。由于用大尺寸單晶制造芯片可以極大的節(jié)省生產(chǎn)成本，目前市場主流區(qū)熔單晶采用直徑為大直徑區(qū)熔單晶。生長的單晶直徑的增大，所用線圈直徑也相應(yīng)增大。在區(qū)熔法生長單晶時，線圈的作用是傳遞能量以熔化多晶，在這一過程中，線圈的法蘭端開縫由于形變?nèi)菀鬃冋?。?dāng)線圈縫變窄后，線圈在高頻電壓下更容易放電打火。這就需要一個合適的工具，能方便有效的擴寬線圈縫。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，當(dāng)線圈由于變形導(dǎo)致線圈縫變窄后，能較方便的擴寬線圈縫。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，該工具包括第一直角塊、第二直角塊和一個長方塊，整體呈T字形；其中，兩個直角塊分別由橫邊和縱邊組成；第一直角塊的縱邊與第二直角塊的縱邊相互貼緊，長方塊位于兩個直角塊的橫邊外側(cè)并通過螺釘與兩個直角塊固定，長方塊開有兩條滑槽，四個螺釘分別位于兩條滑槽內(nèi)；兩個直角塊的橫邊通過螺桿連接，該螺桿穿過第一直角塊的橫邊，其端部穿入第二直角塊的橫邊，通過旋擰該螺桿可調(diào)節(jié)兩直角塊之間的距離。
[0006]所述第一直角塊、第二直角塊的橫邊及長方塊通過螺釘連接線圈的法蘭，第一直角塊、第二直角塊的縱邊置于線圈縫內(nèi)。
[0007]所述第一直角塊和第二直角塊的縱邊寬度之和小于線圈縫。
[0008]所述螺桿的數(shù)量為2個，對稱設(shè)置在兩個直角塊的橫邊內(nèi)。
[0009]本實用新型的優(yōu)點在于:
[0010]當(dāng)線圈由于變形導(dǎo)致線圈縫變窄后，采用本實用新型能較方便的擴寬線圈縫。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、實用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的主視圖。
[0012]圖2為本實用新型的側(cè)視圖。
[0013]圖3為第二直角塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】[0014]以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步說明。
[0015]本實用新型采用不銹鋼材料制成，適用于區(qū)熔單晶爐內(nèi)普遍使用的加熱線圈。此類線圈一般包括線圈本體和外側(cè)的兩個線圈法蘭，線圈縫即為線圈本體在兩個線圈法蘭之間形成的縫隙。
[0016]如圖1、2所示，本實用新型包括第一直角塊1、第二直角塊2和一個長方塊3，整體呈T字形；其中，第一直角塊I的縱邊4與第二直角塊2的縱邊5相互貼緊，長方塊3位于兩個直角塊的橫邊6、7外側(cè)，長方塊3開有兩個滑槽11，長方塊3通過四個螺釘8與直角塊1、2相對固定，該四個螺釘8位于滑槽11內(nèi)；兩個直角塊的橫邊通過兩個螺桿9連接，該螺桿9穿過第一直角塊I的橫邊6，其端部穿入第二直角塊2的橫邊7，兩個螺桿對稱設(shè)置。通過旋擰該螺桿9可調(diào)節(jié)兩個直角塊之間的距離。第一直角塊、第二直角塊的橫邊及長方塊設(shè)有螺釘孔IO，用于通過螺釘連接到線圈的法蘭上。
[0017]本實用新型在使用時，第一直角塊、第二直角塊的橫邊及長方塊通過螺釘連接線圈的法蘭上，第一直角塊、第二直角塊的縱邊置于線圈縫內(nèi)。第一直角塊和第二直角塊的縱邊貼緊后的寬度要小于變窄的線圈縫的寬度。
[0018]當(dāng)采用本實用新型對由于變形而變窄的線圈縫進行擴充時，將該工具的相互貼近的兩個直角塊的縱邊4、5插入兩個法蘭之間的線圈縫內(nèi)，用2個螺釘8將第一直角塊I和長方塊3固定在一個法蘭上，再用另外2個螺釘8將第二直角塊2和長方塊3固定在另一個法蘭上。然后向旋緊的方向旋擰螺桿9 (兩個螺桿交替旋擰)，兩個螺桿9推動第二直角塊遠離第一直角塊，此時，位于其中兩個直角塊上的螺釘8相應(yīng)的在滑槽中移動，第一直角塊I的縱邊4與第二直角塊2的縱邊5分離，兩個直角塊的縱邊分別抵推線圈縫的兩側(cè)面，在兩個直角塊的縱邊的抵推作用下，線圈縫被擴寬到所需要的尺寸。
【權(quán)利要求】
1.一種用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，其特征在于，該工具包括第一直角塊、第二直角塊和一個長方塊，整體呈T字形；其中，兩個直角塊分別由橫邊和縱邊組成；第一直角塊的縱邊與第二直角塊的縱邊相互貼緊，長方塊位于兩個直角塊的橫邊外側(cè)并通過螺釘與兩個直角塊固定，長方塊開有兩條滑槽，四個螺釘分別位于兩條滑槽內(nèi)；兩個直角塊的橫邊通過螺桿連接，該螺桿穿過第一直角塊的橫邊，其端部穿入第二直角塊的橫邊，通過旋擰該螺桿可調(diào)節(jié)兩直角塊之間的距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，其特征在于，所述第一直角塊、第二直角塊的橫邊及長方塊通過螺釘連接線圈的法蘭，第一直角塊、第二直角塊的縱邊置于線圈縫內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，其特征在于，所述第一直角塊和第二直角塊的縱邊寬度之和小于線圈縫。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于擴寬區(qū)熔單晶爐內(nèi)線圈縫的工具，其特征在于，所述螺桿的數(shù)量為2個，對稱設(shè)置在兩個直角塊的橫邊內(nèi)。
【文檔編號】C30B13/20GK203602750SQ201320782686
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年12月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月2日
【發(fā)明者】陳海濱, 閆志瑞, 李明飛 申請人:有研半導(dǎo)體材料股份有限公司, 國泰半導(dǎo)體材料有限公司