微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，基于氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置先后控制金屬鹽溶液與還原劑溶液噴出，并按照相同的沉積軌跡沉積，沉積的還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。本發(fā)明微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，將微滴噴射自由成型技術(shù)與化學(xué)沉積技術(shù)相結(jié)合，將溶液微滴按照需求堆積在基板表面，通過化學(xué)反應(yīng)沉積形成柔性導(dǎo)電線路，解決了現(xiàn)有方法制備柔性織物導(dǎo)電線路影響織物柔軟性的問題，并且基板表面不受弧度的限制，操作簡單，節(jié)約材料，可控性好，能在織物表面得到微米級別的柔性導(dǎo)電線路。
【專利說明】微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于柔性導(dǎo)電線路制備【技術(shù)領(lǐng)域】，本發(fā)明涉及一種微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，本發(fā)明還涉及使用該方法制備柔性導(dǎo)電線路的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在柔性織物基板上制造導(dǎo)電線路的方法通常有絲網(wǎng)印刷或者刺繡、縫紉、編織等。刺繡、縫紉、編織等主要是將導(dǎo)電纖維或金屬絲植入到基板的紋理中，來實(shí)現(xiàn)各電子元件在基板上的集成，成型后的織物太硬、重量大、不易彎曲，從而影響織物的柔軟性。絲網(wǎng)印刷技術(shù)是印版(可通過油墨的網(wǎng)孔)在印刷時，通過一定的壓力使導(dǎo)電油墨通過印版的孔眼轉(zhuǎn)移到承印物上，形成所需的線路。然而絲網(wǎng)印刷技術(shù)它的基板表面會受到弧度的限制，所以只能針對一些平面的產(chǎn)品和部分微小弧度的產(chǎn)品，對于弧度超過某個數(shù)值的基板而言，此方法實(shí)現(xiàn)難度較大，并且印刷過程中無法實(shí)現(xiàn)墨量的精確控制，影響成形微細(xì)導(dǎo)電線路的制備精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，解決了現(xiàn)有方法制備柔性導(dǎo)電線路影響織物柔軟性的問題，并且基板表面不受弧度的限制。
[0004]本發(fā)明的另一個目的是提供使用該方法制備柔性導(dǎo)電線路的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置。
[0005]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，基于氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置先后控制金屬鹽溶液與還原劑溶液噴出，并按照相同的沉積軌跡沉積，沉積的還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。
[0006]本發(fā)明的特點(diǎn)還在于，
[0007]氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置包括三維移動平臺，三維移動平臺側(cè)面設(shè)置有CXD照相機(jī)，三維移動平臺上方設(shè)置有坩堝A和坩堝B，坩堝A通過接氣管A連接氣泵A，氣泵A與坩堝A之間的接氣管A上依次設(shè)置有電磁閥A和排氣閥A，坩堝B通過接氣管B連接氣泵B，氣泵B與坩堝B之間的接氣管B上依次設(shè)置有電磁閥B與排氣閥B ；電磁閥A、電磁閥B、三維移動平臺和CCD照相機(jī)均與控制設(shè)備相連接。
[0008]坩堝A與坩堝B分別鑲嵌有噴嘴；氣泵A與氣泵B分別連接有壓力表。
[0009]具體制備方法包括以下步驟:
[0010]步驟1:將基板搭載在三維移動平臺上，并在坩堝A與坩堝B中分別盛裝金屬鹽溶液與還原劑溶液；
[0011]步驟2:打開氣泵A與氣泵B，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓至合適范圍；
[0012]步驟3:啟動控制設(shè)備及三維移動平臺，控制設(shè)備控制金屬鹽溶液噴出，金屬鹽微滴按照三維移動平臺預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在基板上，金屬鹽溶液沉積完成后控制設(shè)備停止工作；
[0013]步驟4:再次啟動控制設(shè)備及三維移動平臺，控制設(shè)備控制還原劑溶液噴出，還原劑溶液的噴射軌跡與金屬鹽溶液的噴射軌跡相同，還原劑微滴按照金屬鹽微滴的沉積軌跡沉積在金屬鹽微滴上，還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。
[0014]步驟I中金屬鹽溶液為銀鹽類溶液，具體為硝酸銀、月桂酸銀、肉豆蘧酸銀，檸檬酸銀中的任意一種。
[0015]步驟I中還原劑溶液為乙二醇、NaBH4、三乙胺，抗壞血酸中的任意一種。
[0016]步驟2中氣壓的壓強(qiáng)為30KPa_250KPa。
[0017]本發(fā)明所采用的另一個技術(shù)方案是:使用上述方法制備柔性導(dǎo)電線路的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，包括三維移動平臺，三維移動平臺側(cè)面設(shè)置有CCD照相機(jī)，三維移動平臺上方設(shè)置有坩堝A和坩堝B，坩堝A通過接氣管A連接氣泵A，氣泵A與坩堝A之間的接氣管A上依次設(shè)置有電磁閥A和排氣閥A，坩堝B通過接氣管B連接氣泵B，氣泵B與坩堝B之間的接氣管B上依次設(shè)置有電磁閥B與排氣閥B ；電磁閥A、電磁閥B、三維移動平臺和CXD照相機(jī)均與控制設(shè)備相連接。
[0018]本發(fā)明的特點(diǎn)還在于，
[0019]坩堝A與坩堝B分別鑲嵌有噴嘴。
[0020]氣泵A與氣泵B分別連接有壓力表。
[0021]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，將微滴噴射自由成型技術(shù)與化學(xué)沉積技術(shù)相結(jié)合，將溶液微滴按照需求堆積在基板表面，通過化學(xué)反應(yīng)沉積形成柔性導(dǎo)電線路，解決了現(xiàn)有方法制備柔性織物導(dǎo)電線路影響織物柔軟性的問題，并且基板表面不受弧度的限制，操作簡單，節(jié)約材料，可控性好，能在織物表面得到微米級別的柔性導(dǎo)電線路。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明使用的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖中，1.接氣管A，2.電磁閥A，3.電磁閥B，4.基板，5.三維移動平臺，6.(XD照相機(jī)，7.控制設(shè)備，8.坩堝A，9.坩堝B，10.排氣閥A，11.排氣閥B，12.氣泵A，13.氣泵B，14.接氣管B。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0025]本發(fā)明微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，基于氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，如圖1所示，包括三維移動平臺5，三維移動平臺5側(cè)面設(shè)置有CCD照相機(jī)6，三維移動平臺5上方設(shè)置有坩堝AS和坩堝B9，坩堝AS與坩堝B9分別鑲嵌有噴嘴，噴嘴直徑為80-300 μ m,坩堝A8通過接氣管Al連接氣泵A12，氣泵A12與坩堝A8之間的接氣管Al上依次設(shè)置有電磁閥A2和排氣閥A10，坩堝B9通過接氣管B14連接氣泵B13，氣泵B13與坩堝B9之間的接氣管B14上依次設(shè)置有電磁閥B3與排氣閥BI I，氣泵A12與氣泵B13分別連接有壓力表；電磁閥A2、電磁閥B3、三維移動平臺5和CCD照相機(jī)6均與控制設(shè)備7相連接?？刂圃O(shè)備7包括北京卓立漢光的MC600-4B型控制器，MC600-4B型控制器通過USB接口或者RS232接口與計(jì)算機(jī)相連，實(shí)現(xiàn)對三維運(yùn)動平臺5的運(yùn)動軌跡及電磁閥A2、電磁閥B3打開與關(guān)閉的控制，實(shí)現(xiàn)微滴噴射過程的控制。
[0026]上述裝置先后控制金屬鹽溶液與還原劑溶液噴出，并按照相同的沉積軌跡沉積，沉積的還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路，具體包括以下步驟:
[0027]步驟1:將基板4搭載在三維移動平臺5上，并在坩堝AS與坩堝B9中分別盛裝金屬鹽溶液與還原劑溶液；此處的金屬鹽溶液為銀鹽溶液，具體為硝酸銀、月桂酸銀、肉豆蘧酸銀，檸檬酸銀中的任意一種；還原劑溶液為乙二醇、NaBH4、三乙胺，抗壞血酸中的任意一種；
[0028]步驟2:打開氣泵A12與氣泵B13，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓壓強(qiáng)在30KPa-250KPa范圍內(nèi)，具體壓強(qiáng)主要與噴嘴的直徑大小有關(guān)，噴嘴直徑小所需壓強(qiáng)大；
[0029]步驟3:啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制金屬鹽溶液噴出，金屬鹽微滴按照三維移動平臺5預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在基板4上，金屬鹽溶液沉積完成后控制設(shè)備7停止工作；
[0030]步驟4:再次啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制還原劑溶液噴出，還原劑溶液的噴射軌跡與金屬鹽溶液的噴射軌跡相同，還原劑微滴按照金屬鹽微滴的沉積軌跡沉積在金屬鹽微滴上，還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。
[0031]本發(fā)明使用的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置工作原理為:在控制設(shè)備7中建立柔性導(dǎo)電線路的數(shù)字化模型，該模型在建立過程中，主要依據(jù)“逐層疊加”的思想，先設(shè)計(jì)出所需的模型，然后進(jìn)行分層處理，根據(jù)每個層片的信息，再將層面信息離散為線和點(diǎn)，最后結(jié)合工藝參數(shù)，生成數(shù)控代碼。通過線路的數(shù)控代碼，實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動平臺5的數(shù)字化驅(qū)動；同時通過控制設(shè)備7控制金屬鹽溶液和還原劑溶液噴射，兩者協(xié)調(diào)控制，將金屬鹽微滴和還原劑微滴按照相同的預(yù)設(shè)軌跡先后沉積在基板4上，金屬鹽微滴與還原劑微滴發(fā)生還原反應(yīng)，在基板4上形成柔性導(dǎo)電線路。
[0032]其中，氣泵A12和氣泵B13為坩堝A8和坩堝B9提供所需的噴射壓力；
[0033]電磁閥A2和電磁閥B3分別控制坩堝AS和坩堝B9中的壓力，電磁閥打開時坩堝中充氣，關(guān)閉時坩堝中停止充氣；
[0034]三維移動平臺5承載基板4，根據(jù)規(guī)劃的路徑運(yùn)動；
[0035]坩堝AS和坩堝B9鑲嵌有噴嘴，分別盛裝金屬鹽溶液和還原劑溶液，也是微滴的發(fā)生裝置，是微滴形成的發(fā)生器；
[0036]排氣閥AlO與排氣閥Bll分別用于排除坩堝AS和坩堝B9中多余的氣體，使坩堝中形成一定的負(fù)壓，促進(jìn)微滴的斷裂形成。
[0037]CCD相機(jī)6對噴射動態(tài)過程進(jìn)行采集，將采集到的信息傳至控制設(shè)備7，控制設(shè)備7對微滴的尺寸及沉積形態(tài)進(jìn)行分析，便于調(diào)節(jié)噴射過程中各參數(shù)，有助于修正微滴的尺寸和定位偏差，得到優(yōu)良性能的柔性導(dǎo)電線路。
[0038]實(shí)施例1
[0039]步驟1:將織物搭載在三維移動平臺5上，并在坩堝AS中盛裝硝酸銀溶液，在坩堝B9中盛裝抗壞血酸溶液；
[0040]步驟2:打開氣泵A12與氣泵B13，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓壓強(qiáng)為30KPa (噴嘴直徑為300 μ m)；
[0041 ] 步驟3:啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制硝酸銀溶液噴出，硝酸銀微滴按照三維移動平臺5預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在織物指定位置，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥A2的打開與斷開，電磁閥A2打開時，氣體通過接氣管Al進(jìn)入坩堝AS中，其中的硝酸銀溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥A2斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝AS中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的硝酸銀液體因失去壓力作用從而回流斷裂；硝酸銀溶液沉積完成后，控制設(shè)備7停止工作；
[0042]步驟4:三維移動平臺5沿Z軸下降一段微小距離，再次啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制抗壞血酸溶液噴出，三維移動平臺5的運(yùn)動軌跡為步驟3中預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡的逆運(yùn)動，以保證抗壞血酸溶液的噴射軌跡與硝酸銀溶液的噴射軌跡完全重合，抗壞血酸微滴沉積在硝酸銀微滴上，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥B3的打開與斷開，電磁閥B3打開時，氣體通過接氣管B14進(jìn)入坩堝B9中，其中的抗壞血酸溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥B3斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝B9中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的抗壞血酸液體因失去壓力作用從而回流斷裂；沉積在織物上的抗壞血酸微滴與硝酸銀微滴發(fā)生還原反應(yīng)，在織物表面形成柔性導(dǎo)電線路。
[0043]實(shí)施例2
[0044]步驟1:將織物搭載在三維移動平臺5上，并在坩堝AS中盛裝月桂酸銀溶液，在坩堝B9中盛裝NaBH4溶液；
[0045]步驟2:打開氣泵A12與氣泵B13，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓壓強(qiáng)為150KPa (噴嘴直徑為180 μ m)；
[0046]步驟3:啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制月桂酸銀溶液噴出，月桂酸銀微滴按照三維移動平臺5預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在織物指定位置，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥A2的打開與斷開，電磁閥A2打開時，氣體通過接氣管Al進(jìn)入坩堝AS中，其中的月桂酸銀溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥A2斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝AS中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的月桂酸銀液體因失去壓力作用從而回流斷裂；月桂酸銀溶液沉積完成后，控制設(shè)備7停止工作；
[0047]步驟4:三維移動平臺5沿Z軸下降一段微小距離，再次啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制NaBH4溶液噴出，三維移動平臺5的運(yùn)動軌跡為步驟3中預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡的逆運(yùn)動，以保證NaBH4溶液的噴射軌跡與月桂酸銀溶液的噴射軌跡完全重合，NaBH4微滴沉積在月桂酸銀微滴上，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥B3的打開與斷開，電磁閥B3打開時，氣體通過接氣管B14進(jìn)入坩堝B9中，其中的NaBH4溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥B3斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝B9中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的NaBHjf體因失去壓力作用從而回流斷裂；沉積在織物上的NaBH4微滴與月桂酸銀微滴發(fā)生還原反應(yīng)，在織物表面形成柔性導(dǎo)電線路。
[0048]實(shí)施例3
[0049]步驟1:將織物搭載在三維移動平臺5上，并在坩堝AS中盛裝檸檬酸銀溶液，在坩堝B9中盛裝三乙胺溶液；
[0050]步驟2:打開氣泵A12與氣泵B13，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓壓強(qiáng)為250KPa (噴嘴直徑為80 μ m)；[0051]步驟3:啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制檸檬酸銀溶液噴出，檸檬酸銀微滴按照三維移動平臺5預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在織物指定位置，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥A2的打開與斷開，電磁閥A2打開時，氣體通過接氣管Al進(jìn)入坩堝AS中，其中的檸檬酸銀溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥A2斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝AS中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的檸檬酸銀液體因失去壓力作用從而回流斷裂；檸檬酸銀溶液沉積完成后，控制設(shè)備7停止工作；
[0052]步驟4:三維移動平臺5沿Z軸下降一段微小距離，再次啟動控制設(shè)備7及三維移動平臺5，控制設(shè)備7控制三乙胺溶液噴出，三維移動平臺5的運(yùn)動軌跡為步驟3中預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡的逆運(yùn)動，以保證三乙胺溶液的噴射軌跡與檸檬酸銀溶液的噴射軌跡完全重合，三乙胺微滴沉積在檸檬酸銀微滴上，具體控制過程為:控制設(shè)備7通過脈沖信號控制電磁閥B3的打開與斷開，電磁閥B3打開時，氣體通過接氣管B14進(jìn)入坩堝B9中，其中的三乙胺溶液在受到壓力后，由噴嘴噴出；電磁閥B3斷開時，通氣瞬間斷開，坩堝B9中的壓力變小，懸掛在噴嘴口的三乙胺液體因失去壓力作用從而回流斷裂；沉積在織物上的三乙胺微滴與檸檬酸銀微滴發(fā)生還原反應(yīng)，在織物表面形成柔性導(dǎo)電線路。
[0053]本發(fā)明的有益效果是:
[0054](I)微滴大小、微滴沉積位置可控；
[0055](2)整個制造過程工藝簡單，生產(chǎn)成本低，與基板的結(jié)合性好；
[0056](3)其金屬鹽和還原劑接觸后在室溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積出所需的柔性電路，此方法現(xiàn)有條件下最小可實(shí)現(xiàn)100 μ m左右寬度的導(dǎo)電線路的制備；
[0057](4)微滴噴射技術(shù)仍處在起步階段，采用微滴噴射技術(shù)沉積柔性導(dǎo)電線路的方法，為微滴噴射技術(shù)的發(fā)展起到一定的推動作用，為微滴噴射技術(shù)的應(yīng)用提供新的方向。
【權(quán)利要求】
1.微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，基于氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，所述氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置先后控制金屬鹽溶液與還原劑溶液噴出，并按照相同的沉積軌跡沉積，沉積的還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。
2.如權(quán)利要求1所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，所述氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置包括三維移動平臺(5)，所述三維移動平臺(5)側(cè)面設(shè)置有CCD照相機(jī)(6)，所述三維移動平臺(5)上方設(shè)置有坩堝A(S)和坩堝B(9)，所述坩堝A(S)通過接氣管A(I)連接氣泵A(12)，所述氣泵A(12)與所述坩堝A(S)之間的接氣管A(I)上依次設(shè)置有電磁閥A(2)和排氣閥A(10)，所述坩堝B(9)通過接氣管B(14)連接氣泵B(13)，所述氣泵B(13)與所述坩堝B(9)之間的接氣管B(14)上依次設(shè)置有電磁閥B(3)與排氣閥B(Il);所述電磁閥A(2)、電磁閥B(3)、三維移動平臺(5)和CCD照相機(jī)(6)均與控制設(shè)備(7)相連接。
3.如權(quán)利要求2所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，所述坩堝A (8)與坩堝B (9)分別鑲嵌有噴嘴；所述氣泵A (12)與氣泵B (13)分別連接有壓力表。
4.如權(quán)利要求1-3中任一權(quán)利要求所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，具體制備方法包括以下步驟: 步驟1:將基板(4)搭載在三維移動平臺(5)上，并在坩堝A(S)與坩堝B (9)中分別盛裝金屬鹽溶液與還原劑溶液； 步驟2:打開氣泵A (12)與氣泵B (13)，根據(jù)壓力表的示數(shù)，調(diào)節(jié)氣壓至合適范圍； 步驟3:啟動控制設(shè)備(7)及三維移動平臺(5)，控制設(shè)備(7)控制金屬鹽溶液噴出，金屬鹽微滴按照三維移動平臺(5)預(yù)設(shè)運(yùn)動軌跡沉積在基板(4)上，金屬鹽溶液沉積完成后控制設(shè)備(7)停止工作； 步驟4:再次啟動控制設(shè)備(7)及三維移動平臺(5)，控制設(shè)備(7)控制還原劑溶液噴出，還原劑溶液的噴射軌跡與金屬鹽溶液的噴射軌跡相同，還原劑微滴按照金屬鹽微滴的沉積軌跡沉積在金屬鹽微滴上，還原劑微滴與金屬鹽微滴發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成柔性導(dǎo)電線路。
5.如權(quán)利要求4所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，所述步驟I中金屬鹽溶液為銀鹽類溶液，具體為硝酸銀、月桂酸銀、肉豆蘧酸銀，檸檬酸銀中的任意一種。
6.如權(quán)利要求4所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，所述步驟I中還原劑溶液為乙二醇、NaBH4、三乙胺，抗壞血酸中的任意一種。
7.如權(quán)利要求4所述的微滴噴射與化學(xué)沉積技術(shù)制備柔性導(dǎo)電線路的方法，其特征在于，所述步驟2中氣壓的壓強(qiáng)為30KPa-250KPa。
8.一種使用如權(quán)利要求1所述方法制備柔性導(dǎo)電線路的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，其特征在于，包括三維移動平臺(5)，所述三維移動平臺(5)側(cè)面設(shè)置有CXD照相機(jī)(6)，所述三維移動平臺(5)上方設(shè)置有坩堝A(S)和坩堝B (9)，所述坩堝A(8)通過接氣管A(I)連接氣泵A(12)，所述氣泵A(12)與所述坩堝A(S)之間的接氣管A(I)上依次設(shè)置有電磁閥A(2)和排氣閥A(10)，所述坩堝B(9)通過接氣管B(14)連接氣泵B(13)，所述氣泵B (13)與所述坩堝B (9)之間的接氣管B (14)上依次設(shè)置有電磁閥B (3)與排氣閥B(Il);所述電磁閥A(2)、電磁閥B(3)、三維移動平臺(5)和CCD照相機(jī)(6)均與控制設(shè)備(7)相連接。
9.如權(quán)利要求8所述的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，其特征在于，所述坩堝A(S)與坩堝B (9)分別鑲嵌有噴嘴。
10.如權(quán)利要求8所述的氣壓驅(qū)動雙噴頭微滴噴射裝置，其特征在于，所述氣泵A(12)與氣泵B (13)分別連接有壓力表。
【文檔編號】H05K3/14GK104010446SQ201410239569
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月30日
【發(fā)明者】肖淵, 陳蘭, 黃亞超, 張丹, 蔣龍 申請人:西安工程大學(xué)