一種箱式石英坩堝檢測裝置制造方法
【專利摘要】一種箱式石英坩堝檢測裝置，適用于硅單晶生產(chǎn)中對石英坩堝是否存在裂紋、氣泡、沾污、劃痕等缺陷的檢測。本實(shí)用新型所述的檢測裝置，主要是由箱體（1）、旋轉(zhuǎn)盤（2）、滾輪（3）、支撐架（4）、檢測燈（5）、防碰撞玻璃（6）、軸承（8）、不銹鋼圓柱（10）、保護(hù)套（11）構(gòu)成；其中兩個滾輪（3）通過支撐架（4）平行安裝固定在立方形狀的箱體（1）下底面上設(shè)置的旋轉(zhuǎn)盤（2）上，箱體（1）的后立面上裝有一個圓形檢測燈（5）。將石英坩堝（7）放置在兩個滾輪（3）上，打開檢測燈（5），用手轉(zhuǎn)動石英坩堝（7），這時(shí)滾輪（3）及旋轉(zhuǎn)盤（2）便隨著旋轉(zhuǎn)，便可檢測到石英坩堝（7）是否存在缺陷。本實(shí)用新型操作簡便，高純潔凈，安全可靠，有效的解決了現(xiàn)有檢測手段中所存在的不足。
【專利說明】一種箱式石英坩堝檢測裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于直拉法硅單晶生產(chǎn)檢測【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種箱式石英坩堝檢測裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]石英坩堝是切克勞斯基法硅單晶生產(chǎn)技術(shù)中必不可少的配件，是承載多晶硅的載體。石英坩堝在使用過程中要承載lOOKg左右的熔硅，同時(shí)還要承受140(Tl60(rC的高溫，受熱時(shí)間長達(dá)50小時(shí)左右。隨著單晶技術(shù)的發(fā)展，石英坩堝直徑越來越大，承載的多晶硅重量越來越重，受熱時(shí)間也越來越長。而一旦在單晶拉制過程中石英坩堝出現(xiàn)質(zhì)量問題，輕者會導(dǎo)致單晶無法正常拉制，嚴(yán)重者硅溶液會從石英坩堝流出，損壞熱場、燒壞單晶爐，甚至有危及人身和財(cái)產(chǎn)安全的可能。
[0003]因此在使用之前必須對石英坩堝做仔細(xì)的檢查，防止把存在裂紋、氣泡、沾污、劃痕等缺陷的石英坩堝應(yīng)用到生產(chǎn)中。傳統(tǒng)的檢查方法是一名或多名操作員工將石英坩堝舉起，對著生產(chǎn)現(xiàn)場日光燈進(jìn)行檢查，發(fā)現(xiàn)有異常時(shí)將石英坩堝放置到工作臺上在手電筒照射下再對異常部位進(jìn)行仔細(xì)檢查。這種檢查方法的缺點(diǎn)是:(1)隨著石英坩堝直徑的不斷變大，員工操作的難度也越來越大，并且存在不安全因素；(2)該方法能較好的檢查石英坩堝內(nèi)壁存在的缺陷，但對于外壁存在的缺陷不易發(fā)現(xiàn)；(3)檢查過程中可能會對坩堝造成污染并且工作效率低。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]鑒于現(xiàn)有石英坩堝檢測技術(shù)中所存在的問題，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種箱式石英坩堝檢測裝置，用以對石英坩堝進(jìn)行檢測，以解決目前檢測技術(shù)中所存在的幾個方面問題，并可以做到操作簡單、高純潔凈、安全高效。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型所采取的具體技術(shù)方案是:一種箱式石英坩堝檢測裝置，主要是由箱體，旋轉(zhuǎn)盤、滾輪、支撐架、檢測燈、軸承、不銹鋼圓柱、防碰撞玻璃、保護(hù)套構(gòu)成；其中，箱體為邊長尺寸1000mm的立方體；在箱體的下底面上中心位置安裝有一個旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤可以箱體下底面的中心位置為圓心旋轉(zhuǎn)；間距為150mm?400mm的兩個滾輪通過支撐架平行安裝固定在旋轉(zhuǎn)盤上，滾輪的兩端套有軸承，兩端軸承之間采用不銹鋼圓柱連接，軸承端部裝有用聚乙烯材料制做的保護(hù)套；在箱體的后立面上設(shè)計(jì)有一個圓形檢測燈，檢測燈前方位置裝有一塊防碰撞玻璃。所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其中旋轉(zhuǎn)盤直徑尺寸為500mm?800mm ;所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其中旋轉(zhuǎn)盤上兩個滾輪的直徑尺寸為50mm?100mm,長度尺寸為300mm?600mm ;所述的一種箱式石英i甘禍檢測裝置，其中滾輪距旋轉(zhuǎn)盤的高度尺寸為100mm?200mm ;所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其中不銹鋼圓柱表面涂有聚乙烯涂層。
[0006]本實(shí)用新型所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，通過旋轉(zhuǎn)盤和滾輪的旋轉(zhuǎn)能夠很方便的檢測到石英坩堝的任何位置，并可將被檢測的石英坩堝部位調(diào)整到最理想的觀察視角，便于觀察。本實(shí)用新型操作簡便，高純潔凈，安全可靠，有效的解決了現(xiàn)有檢查方法所存在的不足。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型圖1的俯視圖；
[0009]圖3為本實(shí)用新型中滾輪的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖中:1、箱體；2、旋轉(zhuǎn)盤；3、滾輪；4、支撐架；5、檢測燈；6、防碰撞玻璃；7、石英坩堝；8、軸承；9、聚乙烯涂層；10、不銹鋼圓柱；11、保護(hù)套。

【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】如下:
[0012]如圖1、圖2、圖3所示，本實(shí)用新型所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置主要是由箱體1、旋轉(zhuǎn)盤2、滾輪3、支撐架4、檢測燈5、防碰撞玻璃6、軸承8、不銹鋼圓柱10、保護(hù)套11構(gòu)成；其中，箱體1是邊長尺寸為1000_的立方體，箱體1的前面設(shè)有一個可以開關(guān)的門，防止灰塵及其它雜質(zhì)污染；在箱體1的下底面上安裝有一個旋轉(zhuǎn)盤2，旋轉(zhuǎn)盤2的直徑尺寸為500mm?800mm，旋轉(zhuǎn)盤2可以箱體1下底面的中心位置為圓心旋轉(zhuǎn)；相互間距為150mm?400mm的兩個滾輪3通過支撐架4平行安裝固定在旋轉(zhuǎn)盤2上，滾輪3的直徑尺寸為50mm?100mm，長度尺寸為300mm?600mm ;滾輪3的兩端裝有軸承8，兩端軸承8之間采用不銹鋼圓柱10連接；在不銹鋼圓柱10表面上涂有聚乙烯涂料，軸承8端部裝有聚乙烯材料制作的保護(hù)套11，這樣既能防止石英坩堝7直接與金屬接觸，又能起到防撞擊作用。滾輪3距旋轉(zhuǎn)盤2之間的高度尺寸為100mm?200mm。在箱體1的后立面上設(shè)有一個圓形檢測燈5，在檢測燈5前面20mm?50mm的位置上裝有一塊防碰撞玻璃6，避免石英坩堝7在放置或旋轉(zhuǎn)過程中碰撞檢測燈5。本實(shí)用新型在使用時(shí)，打開箱體1的門及檢測燈5，將石英坩堝7放置在兩個滾輪3之上，根據(jù)檢測需要用手動轉(zhuǎn)動石英坩堝7，這時(shí)滾輪3及旋轉(zhuǎn)盤2隨著旋轉(zhuǎn)，對著檢測燈5便可觀察檢測到石英坩堝7是否存在裂紋、氣泡、沾污、劃痕等缺陷。
【權(quán)利要求】
1.一種箱式石英坩堝檢測裝置，其特征是:所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，由箱體(I)、旋轉(zhuǎn)盤(2)、滾輪(3)、支撐架(4)、檢測燈(5)、防碰撞玻璃(6)、軸承(8)、不銹鋼圓柱(10)、保護(hù)套(11)構(gòu)成；其中，箱體(I)是邊長尺寸為100mm的立方體，在箱體(I)的下底面上中間位置裝有一個旋轉(zhuǎn)盤(2);間距尺寸為150mm?400mm的兩個滾輪(3)通過支撐架(4)平行安裝固定在旋轉(zhuǎn)盤(2)上；滾輪(3)的兩端裝有軸承(8)，兩端的軸承(8)之間采用不銹鋼圓柱(10)連接，軸承(8)端部裝有保護(hù)套(11);在箱體(I)的后立面上設(shè)置有一個圓形檢測燈(5)，檢測燈(5)的前方位置裝有一塊防碰撞玻璃(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其特征是:旋轉(zhuǎn)盤(2)的直徑尺寸為 500_ ?800mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其特征是:旋轉(zhuǎn)盤(2)上兩個滾輪(3 )的直徑尺寸為50_?100mm,長度尺寸為300_?600_。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其特征是:滾輪(3)距離旋轉(zhuǎn)盤(2)的高度尺寸為10mm?200mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種箱式石英坩堝檢測裝置，其特征是:不銹鋼圓柱(10)表面涂有聚乙烯涂層。
【文檔編號】C30B15/26GK204151453SQ201420491663
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月29日
【發(fā)明者】王新 申請人:洛陽單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司