1.一種加鎵的AZO高密度旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于：
包括由外至內(nèi)依次設(shè)置的靶管、銦層和剛性芯桿；
其中，靶管為高密度加鎵的AZO陶瓷燒結(jié)旋轉(zhuǎn)圓柱靶管，靶管通過銦層澆鑄粘接在剛性芯桿上；
所述靶管成分為氧化鋅ZnO、氧化鋁Al2O3和氧化鎵Ga2O3，其厚度為5-15mm；
所述銦層為純銦，所述剛性芯桿為金屬芯桿。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AZO高密度旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于：所述剛性芯桿為鈦管或不銹鋼管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AZO高密度旋轉(zhuǎn)靶材，其特征在于：所述靶管的密度為5.60-5.65g/cm3，并且，其相對(duì)密度不小于98％。