專利名稱:一種電子束安全引出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種以工業(yè)電子加速器為輻照源的電子束安全引出裝置，屬于工業(yè)輻照技術(shù)領(lǐng)域：
。
背景技術(shù)：
電子加速器是一種廣泛應(yīng)用于農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)療、環(huán)保等領(lǐng)域的輻照加工裝置。其基本原理是電子槍發(fā)射keV級(jí)低能電子束，經(jīng)加速器將能量提高到MeV級(jí)后輸出，直接照射在加速器電子束引出窗下端通過的被照物，實(shí)現(xiàn)輻照加工的目的。
高能電子束引出時(shí)，通常需要經(jīng)過掃描裝置掃描，使電子束擴(kuò)展形成線性電子束帶后，再通過引出裝置(鈦窗)引出。現(xiàn)有的電子束引出裝置一般由掃描盒及一層鈦膜(厚度一般在幾十微米量級(jí))組成密封系統(tǒng)，內(nèi)部高度真空。由于長期受到電子束的轟擊或是外界原因，鈦膜極易損壞，使得大氣甚至鈦膜熔融蒸氣沖進(jìn)整個(gè)加速器內(nèi)部真空系統(tǒng)，從而給輻照裝置造成毀滅性的破壞。
另外，現(xiàn)有電子束引出裝置中的鈦膜在使用時(shí)，往往憑借肉眼觀察和工作經(jīng)驗(yàn)判斷其是否已出現(xiàn)損壞，存在許多不確定因素，使得加速器本身和日常生產(chǎn)始終存在著潛在威脅和巨大風(fēng)險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
為克服上述現(xiàn)有裝置中存在的問題，本發(fā)明旨在提供一種具有自保護(hù)功能的電子束安全引出裝置。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的
所述的電子束安全引出裝置，包括掃描盒和鈦窗窗體，其特殊之處在于所述鈦窗窗體包括位于上層的第一法蘭盤、位于下層的第二法蘭盤和通過螺絲固定于兩個(gè)法蘭盤之間的窗夾板；第一法蘭盤與窗夾板之間設(shè)有第一鈦膜，第二法蘭盤與窗夾板之間設(shè)有第二鈦膜；掃描盒、第一法蘭盤和第一鈦膜之間密封形成第一真空空間；第一鈦膜、窗夾板和第二鈦膜之間密封形成第二真空空間；第一真空空間和第二真空空間分別連接有真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)；所述鈦窗窗體外壁設(shè)有復(fù)合式散熱系統(tǒng)。
所述大氣層與第二真空空間、第二真空空間與第一真空空間之間具有壓力差；所述第一鈦膜和第二鈦膜的凸面相接觸。
所述復(fù)合式散熱系統(tǒng)包括鑲嵌在鈦窗窗體外壁上的散熱片、安裝在散熱片外部的獨(dú)立可卸除的水冷系統(tǒng)和位于鈦窗窗體下方的風(fēng)冷系統(tǒng)。
本發(fā)明的有益效果是
本發(fā)明針對(duì)傳統(tǒng)電子束引出裝置的不足，設(shè)計(jì)出具有雙層鈦膜及三重壓力梯度的復(fù)合式鈦窗結(jié)構(gòu)，不僅更好地保持了裝置內(nèi)的真空度，而且減輕了鈦膜過大的外界壓力，有利于延長鈦膜使用壽命。同時(shí)，當(dāng)任何一層鈦膜被擊穿或是出現(xiàn)紕漏時(shí)，本發(fā)明均能及時(shí)、 準(zhǔn)確的監(jiān)測(cè)與報(bào)警，便于工作人員檢查與維修，最大程度的保證輻照裝置的安全。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中，1掃描盒，2第一法蘭盤，3第二法蘭盤，4螺絲，5第一鈦膜，6第二鈦膜，7窗夾板。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
參照?qǐng)D1，所述的電子束安全引出裝置，包括掃描盒1和鈦窗窗體，所述鈦窗窗體包括位于上層的第一法蘭盤2、位于下層的第二法蘭盤3和通過螺絲4固定于兩個(gè)法蘭盤之間的窗夾板7，均為高強(qiáng)度不銹鋼材質(zhì)；第一法蘭盤2與窗夾板7之間設(shè)有第一鈦膜5，第二法蘭盤3與窗夾板7之間設(shè)有第二鈦膜6。掃描盒1、第一法蘭盤2和第一鈦膜5之間密封形成第一真空空間；第一鈦膜5、窗夾板7和第二鈦膜6之間密封形成第二真空空間。通過計(jì)算壓力梯度，使大氣層與第一真空空間、第二真空空間與第一真空空間之間具有壓力差， 從而使第一鈦膜5和第二鈦膜6的凸面相接觸。按照上述技術(shù)方案，所述第二真空空間的體積應(yīng)足夠小，以保證第一鈦膜5出現(xiàn)損壞時(shí)，輻照裝置內(nèi)部真空度變化不太大，從而不影響正常的工作。
在第一法蘭盤2外壁一側(cè)的正中間位置設(shè)有第一真空空間與真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)連接的接口，與此位置對(duì)應(yīng)的窗夾板外壁上設(shè)有第二真空空間與真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)連接的接口 ；使得所述第一真空空間和第二真空空間均與真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)連接，以便能夠及時(shí)監(jiān)測(cè)內(nèi)部真空度的變化，判斷鈦膜是否損壞。
所述鈦窗窗體外壁設(shè)有復(fù)合式散熱系統(tǒng)，包括鑲嵌在鈦窗窗體外壁的散熱片，散熱片上設(shè)有與接口連通的聯(lián)通孔。散熱片外部裝有獨(dú)立可卸除的水冷系統(tǒng)，由卡套卡在鈦窗窗體上并由卡套螺絲進(jìn)行固定；鈦窗窗體下方設(shè)有風(fēng)冷系統(tǒng)，采用鼓風(fēng)機(jī)沿著掃描方向風(fēng)冷，由于兩層鈦膜的凸面相接觸，第一鈦膜5的熱量通過第二鈦膜6傳遞出來，從而達(dá)到風(fēng)冷的效果。
權(quán)利要求
1.一種電子束安全引出裝置，包括掃描盒(1)和鈦窗窗體，其特征在于所述鈦窗窗體包括位于上層的第一法蘭盤( 、位于下層的第二法蘭盤C3)和通過螺絲(4)固定于兩個(gè)法蘭盤之間的窗夾板(7)；第一法蘭盤( 與窗夾板(7)之間設(shè)有第一鈦膜(5)，第二法蘭盤 (3)與窗夾板(7)之間設(shè)有第二鈦膜(6)；掃描盒(1)、第一法蘭盤( 和第一鈦膜(5)之間密封形成第一真空空間；第一鈦膜(5)、窗夾板(7)和第二鈦膜(6)之間密封形成第二真空空間；第一真空空間和第二真空空間分別連接有真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)；所述鈦窗窗體外壁設(shè)有復(fù)合式散熱系統(tǒng)；大氣層與第二真空空間、第二真空空間與第一真空空間之間具有壓力差；所述第一鈦膜( 和第二鈦膜(6)的凸面相接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的電子束安全引出裝置，其特征在于所述復(fù)合式散熱系統(tǒng)包括鑲嵌在鈦窗窗體外壁上的散熱片、安裝在散熱片外部的獨(dú)立可卸除的水冷系統(tǒng)和位于鈦窗窗體下方的風(fēng)冷系統(tǒng)。
專利摘要
本發(fā)明涉及一種電子束安全引出裝置，包括掃描盒和鈦窗窗體，所述鈦窗窗體包括位于上層的第一法蘭盤、位于下層的第二法蘭盤和通過螺絲固定于兩個(gè)法蘭盤之間的窗夾板；第一法蘭盤與窗夾板之間設(shè)有第一鈦膜，第二法蘭盤與窗夾板之間設(shè)有第二鈦膜；掃描盒、第一法蘭盤和第一鈦膜之間密封形成第一真空空間；第一鈦膜、窗夾板和第二鈦膜之間密封形成第二真空空間；第一真空空間和第二真空空間分別連接有真空監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)；所述鈦窗窗體外壁設(shè)有復(fù)合式散熱系統(tǒng)。本發(fā)明不僅更好地保持了裝置內(nèi)的真空度，而且減輕了鈦膜過大的外界壓力，有利于延長鈦膜使用壽命。同時(shí)，能夠及時(shí)準(zhǔn)確的發(fā)現(xiàn)鈦膜出現(xiàn)的問題，便于工作人員檢查與維修，以保證輻照裝置的安全。
文檔編號(hào)G21K5/04GKCN101562060SQ200910015362
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2009年5月27日
發(fā)明者侯志強(qiáng), 張巖松, 沈松, 王劍鋼, 田小建, 趙旭東, 郭志峰 申請(qǐng)人:山東藍(lán)孚電子加速器技術(shù)有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan專利引用 (3), 非專利引用 (8),