專利名稱：在制作印制電路板的過(guò)程中處理金屬包裹層壓板的處理方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在制作印制電路板的過(guò)程中處理金屬包裹層壓板的處理方法和系統(tǒng)，特別涉及這樣的處理方法和系統(tǒng)，用于直接輸送層壓板而不使用任何其它輸送帶的時(shí)候，連續(xù)地處理電介質(zhì)基片上具有金屬箔的金屬包裹層壓板。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的制作印制電路板的金屬層壓板處理處理方法中，通常都是將層壓板分割成分開(kāi)的許多片，然后利用輥式輸送機(jī)之類的東西將這些分開(kāi)的金屬包裹層壓板送進(jìn)處理部分，在這些分開(kāi)的金屬包裹層壓板上面進(jìn)行所需要的處理，例如，在每一片上碾壓上光敏抗腐蝕薄膜，將抗腐蝕薄膜曝光，將抗腐蝕薄膜顯影，并且腐蝕這塊金屬包裹層壓板得到電路圖形，和/或氧化這個(gè)電路圖形在它上面產(chǎn)生鈍化層。然而，一些金屬包裹層壓板在輸進(jìn)輸送機(jī)的時(shí)候有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)彎曲或者彎折，不能對(duì)每一塊上的金屬包裹層壓板進(jìn)行所需要的精確處理，從而降低產(chǎn)出率。將薄到0.04毫米到0.06毫米這樣薄的層壓板或基片用于制作印制電路板的時(shí)候尤其如此。
發(fā)明簡(jiǎn)述本發(fā)明已經(jīng)完全克服了以上問(wèn)題，因此它的主要目的是提供一種獨(dú)一無(wú)二的處理方法和系統(tǒng)，這種處理方法和系統(tǒng)能夠?qū)訅喊暹B續(xù)地直接輸送，對(duì)層壓板進(jìn)行精確的加工處理，從而制作出印制電路板。
本發(fā)明的處理方法利用一卷(11，11’)連續(xù)的金屬層壓板(1)，這個(gè)層壓板在電絕緣基片上有一層金屬箔，并且包括以下步驟展開(kāi)該卷(11，11’)金屬包裹層壓板；將層壓板輸送給處理部分(60；90；110；120；130)，同時(shí)給這個(gè)層壓板施加一個(gè)張力，使它平整地通過(guò)處理部分，對(duì)通過(guò)處理部分的層壓板成功地進(jìn)行處理。這一處理過(guò)程至少包括以下過(guò)程(a)-(d)中的一個(gè)過(guò)程。
(a)在這個(gè)層壓板(1)上碾壓上一層光敏抗腐蝕薄膜(5)。
(b)通過(guò)一個(gè)光掩膜(103)將這層抗腐蝕薄膜(5)曝光，固化抗腐蝕薄膜被選中的部分。
(c)將這個(gè)抗腐蝕薄膜(5)進(jìn)行顯影，去掉抗腐蝕薄膜沒(méi)有固化的部分，然后對(duì)沒(méi)有被固化部分覆蓋的那部分金屬箔進(jìn)行腐蝕，在基片上產(chǎn)生金屬箔構(gòu)成的電路圖形。
(d)對(duì)這個(gè)電路圖形進(jìn)行表面處理，在它上面產(chǎn)生鈍化層。
由于對(duì)層壓板施加了張力，這個(gè)張力使它平整地通過(guò)處理部分，因此能夠?qū)@個(gè)層壓板進(jìn)行成功而精確的加工處理，提高制作印制電路板的效率。
這個(gè)過(guò)程最好利用第一個(gè)退繞機(jī)和第二個(gè)退繞機(jī)(21)，上面分別安裝第一卷和第二卷(11，11’)沒(méi)有完工的層壓板卷(1)，和第一個(gè)卷繞機(jī)和第二個(gè)卷繞機(jī)(42)，它們分別能夠?qū)訅喊寰沓傻谝痪砗偷诙硗旯さ木?41，41’)。首先，未完工的第一卷(11)被展開(kāi)將對(duì)應(yīng)的層壓板輸送給層壓板加工處理部分，然后未完工的第二卷(11’)上面展開(kāi)的層壓板與未完工的第一卷(11)上展開(kāi)下來(lái)的層壓板的尾端連接起來(lái)，從而連續(xù)地將未完工的第二卷(11’)上面的層壓板送入處理部分。未完工的第一卷(11)上面的層壓板在經(jīng)過(guò)處理部分處理以后被卷成已經(jīng)完工的第一卷(41)，然后將未完工的第一卷(11)層壓板與未完工的第二卷(11’)層壓板切斷。在那以后，未完工的第二卷(11’)層壓板在經(jīng)過(guò)處理部分處理以后被卷成已經(jīng)完工的第二卷(41’)。通過(guò)這種方式，多卷(11，11’)未完工的層壓板能夠順序地通過(guò)處理部分，將層壓板卷成相應(yīng)個(gè)數(shù)的完工卷(41，41’)，從而提高這一特定處理方法過(guò)程的效率。
這里的層壓板是雙面層壓板，在相對(duì)的兩面都有金屬箔，能夠同時(shí)接受所需要的處理。這一點(diǎn)對(duì)于在印制電路板上相對(duì)的兩面制作電路圖形，用作多層電路板的內(nèi)層的時(shí)候特別有用。
在層壓板上碾壓抗腐蝕薄膜(5)的時(shí)候，最好是對(duì)至少一塊層壓板(1)和抗腐蝕薄膜(5)加熱，利用壓力將抗腐蝕薄膜碾壓到層壓板上形成一個(gè)完整的結(jié)構(gòu)，然后冷卻這個(gè)層壓板和抗腐蝕薄膜的組合。這樣，抗腐蝕薄膜能夠緊緊地粘在層壓板上，形成抗腐蝕薄膜和層壓板的有機(jī)結(jié)合，能夠確?？煽康剡M(jìn)行電路圖形處理，這一點(diǎn)也是本發(fā)明的另外一個(gè)目的。
本發(fā)明的這一系統(tǒng)包括一個(gè)送料器(10)，用于輸送卷上面的層壓板(1)，還有一個(gè)收集器(40)，用來(lái)收集層壓板，并與送料器一起確定層壓板的輸送路徑。在輸送路徑上的一定距離有一對(duì)進(jìn)料輥，它們與層壓板直接接觸，給層壓板施加一個(gè)張力，利用這個(gè)張力層壓板在這一對(duì)進(jìn)料輥之間平整地展開(kāi)。在這一對(duì)進(jìn)料輥之間提供有一個(gè)處理部分(60；90；110，120；130)，連續(xù)地對(duì)輸送的層壓板進(jìn)行以上處理(a)～(d)中的至少一項(xiàng)處理。這樣就能夠既連續(xù)又精確地對(duì)層壓板進(jìn)行必要的處理，以便制作電路板。
這個(gè)系統(tǒng)最好在處理部分(60)前面有一個(gè)修邊部分(34)，使層壓板的相對(duì)兩個(gè)邊緣光滑，從而使層壓板的兩邊基本上沒(méi)有形成這個(gè)層壓板的基片的樹(shù)脂材料碎片。這可能在使用層壓板卷的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題，當(dāng)層壓板卷成半徑較小的一卷的時(shí)候，或者在工廠中運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中這一卷與一個(gè)物體發(fā)生碰撞的時(shí)候，層壓板有可能受到張力的影響，使層壓板的橫向邊緣斷裂，在它上面留下碎片。如果這些碎片留在層壓板的兩個(gè)橫向邊緣上就會(huì)污染這個(gè)系統(tǒng)的輸送路徑，甚至?xí)廴疽M(jìn)行處理的層壓板的表面，從而降低電路板最終產(chǎn)品的質(zhì)量。而采用修邊部分就能夠去掉有害的碎片，從而提高電路板的質(zhì)量。
此外，這個(gè)系統(tǒng)最好是將送料器(10)安裝在可以移動(dòng)的臺(tái)子(17)上，這個(gè)臺(tái)子能夠在垂直于輸送路徑的方向上移動(dòng)，并且包括一個(gè)邊緣傳感器(30)，它能檢測(cè)層壓板橫向邊緣的位置，提供一個(gè)位置信號(hào)說(shuō)明它的位置。用一個(gè)控制器移動(dòng)這個(gè)可移動(dòng)的臺(tái)子(17)，以便按照上面的位置信號(hào)調(diào)整正在輸送給處理部分的層壓板的橫向邊緣位置。這樣，這個(gè)層壓板總是能夠在輸送路徑上對(duì)準(zhǔn)，以便于進(jìn)行相應(yīng)的處理。
用于將抗腐蝕薄膜碾壓到層壓板上的處理部分可以包括一個(gè)薄膜提供器(7)，它將抗腐蝕薄膜(5)連續(xù)地提供給層壓板(1)，還包括一對(duì)壓輥(64)，用于加熱抗腐蝕薄膜(5)，并且將它緊緊地壓在層壓板上。在輸送路徑上壓輥前面緊靠壓輥負(fù)責(zé)利用熱量和壓力將抗腐蝕薄膜碾壓到層壓板上的是一對(duì)預(yù)熱棍(63)，它們與層壓板直接接觸，用于預(yù)熱層壓板。除此以外，在緊接壓輥(64)后面的輸送路徑上有一個(gè)冷卻裝置(67)，用于冷卻層壓板和碾壓在它上面的抗腐蝕薄膜。預(yù)熱有利于提高抗腐蝕薄膜與層壓板之間的粘接力，而對(duì)抗腐蝕薄膜和層壓板的組合的冷卻則有利于避免抗腐蝕薄膜不利的過(guò)分的化學(xué)反應(yīng)，它會(huì)影響后面的電路圖形處理。這樣，抗腐蝕薄膜能夠很好地粘在層壓板上，形成抗腐蝕薄膜和層壓板的良好結(jié)合，確保電路圖形的處理可靠。另外，可以在輸送路徑上壓輥和冷卻裝置之間安裝一對(duì)后熱輥，與層壓板上的抗腐蝕薄膜直接接觸，對(duì)它進(jìn)行加熱，提高抗腐蝕薄膜與層壓板的粘接程度。
當(dāng)這個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)曝光部分(90)作為處理部分用來(lái)通過(guò)光掩膜(103)用光對(duì)抗腐蝕薄膜進(jìn)行曝光，固化抗腐蝕薄膜上被選中的部分的時(shí)候，這個(gè)系統(tǒng)包括第一個(gè)和第二個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組(70A，80A)，分別在曝光部分的上下兩側(cè)。第一個(gè)和第二個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組給通過(guò)這個(gè)曝光部分的層壓板施加均勻的張力，同時(shí)讓層壓板在曝光部分的兩端通過(guò)曝光部分的速度不一樣。
這個(gè)曝光部分的配置可以包括一個(gè)框架(101)，用來(lái)放置光掩膜(103)，還包括讓光通過(guò)光掩膜射向抗腐蝕薄膜的光源(104)，以及在輸送路徑上分開(kāi)的一對(duì)提升輥(75)。提升輥(75)橫跨框架，在兩個(gè)提升輥之間將一部分層壓板拉開(kāi)，與光掩膜(103)相鄰，并且受到控制，將層壓板直的部分移向框架內(nèi)的光掩膜或者離開(kāi)它。這樣就可以將層壓板從光掩膜移走，在它們之間給出足夠的空間，以便更換或者清洗光掩膜，同時(shí)能夠使層壓板靠近光掩膜，這個(gè)位置是對(duì)抗腐蝕薄膜進(jìn)行曝光的工作位置。因此能夠很方便地和成功地更換和/或清洗光掩膜。此外，用手工方式讓層壓板首先沿著這個(gè)系統(tǒng)的輸送路徑移動(dòng)的時(shí)候，可以將這個(gè)薄膜和框架移向不工作的位置，也就是離開(kāi)層壓板，從而方便最初設(shè)置層壓板。
送料器最好包括兩個(gè)退繞機(jī)(12)，分別用于將兩卷(11，11’)層壓板展開(kāi)輸送進(jìn)輸送路徑，一卷層壓板是當(dāng)前正在工作的層壓板卷(11)，它上面的層壓板(1)連續(xù)地展開(kāi)進(jìn)入輸送路徑，另外一卷是一個(gè)預(yù)備的層壓板卷(11’)，它上面的層壓板有一個(gè)前端，用于隨后與當(dāng)前正在工作的層壓板卷上面的層壓板的后端連接起來(lái)。這個(gè)送料器還包括一個(gè)接頭臺(tái)(26)，在輸送路徑的前端，用于輕輕地托住層壓板，還包括一個(gè)擋板臺(tái)(29)，用于輕輕地托住預(yù)備卷(11’)上層壓板的前端，還包括一個(gè)主動(dòng)輥(23)，在接頭臺(tái)(26)的后面，用于從層壓板卷拉層壓板。除此以外，這個(gè)系統(tǒng)還包括一個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組(70)，它在主動(dòng)輥(23)的后面緊挨著主動(dòng)輥(23)，以便使松緊調(diào)節(jié)輥組前后的層壓板能夠以不同的速度移動(dòng)。主動(dòng)輥(23)受到控制與層壓板接觸，從而能夠在從當(dāng)前工作的層壓板卷(11)上展開(kāi)的層壓板的后端到達(dá)接頭臺(tái)(26)的時(shí)候，使它停止展開(kāi)通過(guò)松緊調(diào)節(jié)輥組，使得松緊調(diào)節(jié)輥組能夠連續(xù)地將層壓板送往收集器(40)，并使得從當(dāng)前工作的層壓板卷(11)上展開(kāi)的層壓板的后端與預(yù)備卷(11’)上面的層壓板的前端連接起來(lái)。通過(guò)這種方式，從當(dāng)前的層壓板卷(11)展開(kāi)的層壓板能夠成功地與預(yù)備層壓板卷(11’)上的層壓板連接起來(lái)，同時(shí)讓連接起來(lái)的層壓板連續(xù)地通過(guò)處理部分，進(jìn)行連續(xù)的加工處理。
收集器(40)最好包括兩個(gè)卷繞機(jī)(42)，分別用于將層壓板卷在相應(yīng)的軸(43)上。每個(gè)卷繞機(jī)都有這樣的功能，它能夠有選擇地轉(zhuǎn)動(dòng)或停止轉(zhuǎn)動(dòng)軸(43)。緊接著輸送路徑后面有一個(gè)轉(zhuǎn)換臺(tái)(56)，用于輕輕地托住層壓板(1)的頭端以及導(dǎo)向軸(3)的導(dǎo)引層壓板(3)的尾端，將層壓板(1)與導(dǎo)引層壓板(3)連接起來(lái)。以外，收集器(40)還包括一個(gè)擋板臺(tái)(59)，用于輕輕地?fù)踝?dǎo)引層壓板(3)的尾端，還有一個(gè)軋輥(55)，在轉(zhuǎn)換臺(tái)(56)前面的某個(gè)地方將層壓板導(dǎo)入卷繞機(jī)。這個(gè)系統(tǒng)包括一個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組(80)，在軋輥(55)和處理部分(60)之間，以便讓層壓板在松緊調(diào)節(jié)輥組前后以不同的速度移動(dòng)。軋輥(55)與卷繞機(jī)(42)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)層壓板的頭端到達(dá)轉(zhuǎn)換臺(tái)(26)的時(shí)候，使層壓板(1)停止輸送，并且使卷繞機(jī)停止?jié)L動(dòng)，從而使松緊調(diào)節(jié)輥組(80)能夠連續(xù)地接收送往軋輥的層壓板，并且使層壓板能夠與導(dǎo)引層壓板連接。通過(guò)這種方式，連續(xù)地通過(guò)處理部分的層壓板能夠卷繞到不同的輥?zhàn)由先?，從而能夠很容易處理這些輥?zhàn)樱┮院筇幚怼?br> 在一個(gè)最佳實(shí)施例中，這個(gè)系統(tǒng)包括四個(gè)獨(dú)立的子系統(tǒng)，它們是第一個(gè)子系統(tǒng)、第二個(gè)子系統(tǒng)、第三個(gè)子系統(tǒng)和第四個(gè)子系統(tǒng)，每個(gè)子系統(tǒng)都包括送料器、收集器、送料輥和處理部分。第一個(gè)子系統(tǒng)的處理部分是碾壓部分(60)。第二個(gè)子系統(tǒng)的處理部分是曝光部分(90)。第三個(gè)子系統(tǒng)的處理部分是顯影和腐蝕部分(110，120)，用于對(duì)抗腐蝕薄膜顯影，去掉抗腐蝕薄膜沒(méi)有固化的部分，隨后腐蝕沒(méi)有被抗腐蝕薄膜固化部分覆蓋的那一部分金屬箔，在基片上產(chǎn)生金屬箔構(gòu)成的電路圖形。第四個(gè)子系統(tǒng)的處理部分是一個(gè)表面處理部分(130)，用于對(duì)電路圖形進(jìn)行表面處理，在它上面產(chǎn)生一個(gè)鈍化層。
或者這個(gè)系統(tǒng)可以在送料輥之間包括上面四個(gè)連續(xù)的處理部分。
最后利用切割設(shè)備將完工以后有多個(gè)電路圖形的層壓板切割成許多電路板。為了這一目的，層壓板(1)在沿著層壓板的長(zhǎng)度方向上按照規(guī)則的間隔有位置標(biāo)記(161)。這個(gè)切割設(shè)備包括一個(gè)第二送料器(170)，用于沿著第二條輸送路徑從層壓板卷(171)連續(xù)地輸送具有電路圖形(160)的層壓板(1)，還包括一對(duì)第二送料輥(191，213)，它們?cè)诘诙l輸送路徑上，與層壓板直接接觸，以便對(duì)它施加一個(gè)張力，利用這個(gè)張力，層壓板在這一對(duì)第二送料輥之間伸直。這些第二送料輥中的一個(gè)是一個(gè)主動(dòng)輥(213)，它有這樣一個(gè)功能，也就是有選擇地驅(qū)動(dòng)層壓板和停止層壓板的輸送。在第二個(gè)送料輥后面有一個(gè)切割器(212)，用于將層壓板切割成許多電路板(220)。切割設(shè)備還包括一個(gè)位置檢測(cè)器(216)和一個(gè)控制器(200)。位置檢測(cè)器(216)在一對(duì)第二送料輥(191，213)之間，用來(lái)檢測(cè)位置標(biāo)記(161)，并且在檢測(cè)到所述的位置標(biāo)記的時(shí)候給出一個(gè)位置信號(hào)?？刂破?200)與主動(dòng)輥(213)、位置檢測(cè)器(216)和切割器(212)連接，在檢測(cè)到位置信號(hào)的時(shí)候用來(lái)通過(guò)預(yù)先確定的步驟控制層壓板的輸送，在這個(gè)位置停止輸送層壓板，在該位置上啟動(dòng)切割器，從層壓板上切割下來(lái)一塊電路板。這樣就能夠在從輥?zhàn)虞斔蛯訅喊宓臅r(shí)候?qū)訅喊宄晒Χ揖_地切割成多塊電路板。
通過(guò)下面對(duì)最佳實(shí)施例的描述，同時(shí)參考附圖，本發(fā)明的這些目的和優(yōu)點(diǎn)、特征以及其它目的和優(yōu)點(diǎn)、特征將會(huì)變得顯而易見(jiàn)。


圖1是說(shuō)明用于本發(fā)明的系統(tǒng)中對(duì)金屬包裹層壓板進(jìn)行碾壓加工處理的單元的一個(gè)框圖；圖2是用于上述單元的送料器的一個(gè)原理圖；圖3是用于上述單元的收集器的一個(gè)原理圖；圖4A～4F按順序說(shuō)明送料器的工作過(guò)程；圖5說(shuō)明金屬包裹層壓板和導(dǎo)引層壓板之間的一個(gè)接頭的平面示圖；圖6是用于以上系統(tǒng)檢測(cè)層壓板橫向邊緣的邊緣檢測(cè)傳感器的剖面圖；圖7到圖10是分別說(shuō)明對(duì)層壓板進(jìn)行各種邊緣處理的剖面圖；圖11～11F說(shuō)明以上單元使用的收集器的工作順序；圖12是說(shuō)明用來(lái)對(duì)金屬包裹層壓板進(jìn)行曝光處理的單元的原理圖；圖13A～13C分別說(shuō)明與曝光處理有關(guān)的操作；圖14說(shuō)明對(duì)金屬包裹層壓板進(jìn)行顯影和腐蝕處理的一個(gè)單元；圖15是對(duì)金屬包裹層壓板進(jìn)行鈍化處理的單元；圖16是按照本發(fā)明的另外一個(gè)實(shí)施方案，連續(xù)地對(duì)金屬包裹層壓板進(jìn)行各種處理的一個(gè)單獨(dú)單元；圖17是用于本發(fā)明的系統(tǒng)的切割裝置；圖18是說(shuō)明有位置標(biāo)記的層壓板的平面圖；及圖19說(shuō)明以上切割裝置的位置調(diào)整操作。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供一種處理方法和系統(tǒng)，用于在制作印制電路板的時(shí)候處理金屬包裹層壓板，特別是制作那些用于多層結(jié)構(gòu)中內(nèi)層的層壓板。層壓板是一種雙面薄板，它具有金屬箔，比方說(shuō)，在電絕緣基片，例如，0.2mm厚度的樹(shù)脂浸制纖維板，相對(duì)兩面的0.04mm厚度的銅皮。浸制樹(shù)脂包括環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、聚苯撐醚樹(shù)脂和聚酰亞胺樹(shù)脂。例如纖維板可以是利用玻璃纖維、芳族聚酰胺纖維和尼龍纖維制作的編織纖維板或者是無(wú)紡纖維板，也可以是牛皮紙或者棉毛紙。
這個(gè)系統(tǒng)主要包括四個(gè)子系統(tǒng)或者單元一碾壓?jiǎn)卧?，也就是用于將光敏抗腐蝕薄膜碾壓到層壓板相對(duì)表面上去；一曝光單元，將抗腐蝕薄膜通過(guò)光掩膜曝光，將薄膜被選中的部分固化；一顯影單元，用于將抗腐蝕薄膜顯影，去掉薄膜沒(méi)有固化的部分，腐蝕沒(méi)有被固化部分覆蓋的金屬箔部分，產(chǎn)生金屬箔構(gòu)成的電路圖形；以及一個(gè)表面處理單元，用于對(duì)這個(gè)電路圖形進(jìn)行表面處理產(chǎn)生鈍化層。
碾壓?jiǎn)卧紫日?qǐng)參考圖1，其中畫出了本發(fā)明一個(gè)最佳實(shí)施例中的一個(gè)碾壓?jiǎn)卧?。以層壓板卷的形式提供層壓?，它有一層保護(hù)紙2，安裝在送料器10上，從那里通過(guò)一個(gè)加工處理部分也就是碾壓部分60送往收集器40，在這個(gè)碾壓部分中，光敏抗腐蝕薄膜5被碾壓到層壓板1的相對(duì)表面上，覆蓋上面的銅皮。抗腐蝕薄膜可以是紫外固化類型的，例如，其能夠從日本獲得的Hitachi-Kasei Kyogo Kabushiki Kaisha，它的商標(biāo)名稱是“photec”。提供的抗腐蝕薄膜5的形式是卷7狀的，在它上面有一個(gè)保護(hù)層6，展開(kāi)后延伸到層壓板1的相對(duì)兩個(gè)表面，同時(shí)將保護(hù)層6從薄膜5卷成相應(yīng)的卷8。
如圖1和圖2所示，送料器10包括一對(duì)退繞機(jī)12，分別安裝在層壓板1的卷11上。每個(gè)退繞機(jī)12都包括層壓板卷11的軸13，以及與它連接的一個(gè)電磁粉末離合器15，并且被用作一個(gè)閘，給從這個(gè)卷退繞的層壓板施加一個(gè)均勻的張力。這些軸有一個(gè)能夠擴(kuò)大的軸套，套在卷軸上，能夠與它分離。從卷11上分離的保護(hù)紙2被收集到紙卷21上。這些部件安裝在一個(gè)臺(tái)子17上，由一個(gè)固定座18移動(dòng)地支撐，從而使這些層壓板卷11能夠在垂直于將層壓板1輸送往碾壓部分的方向的一個(gè)方向上移動(dòng)。一個(gè)層壓板卷11被用作當(dāng)前卷，用于輸送層壓板1，另一卷11’用作預(yù)備卷，用于隨后將另外一個(gè)層壓板1輸送過(guò)去，連接在前一個(gè)層壓板1后面，從而使層壓板連續(xù)不斷地通過(guò)碾壓部分60。經(jīng)過(guò)處理以后，連接起來(lái)的層壓板可以分別繞在收集器40的卷41上，如同下面將討論的一樣。送料器10還包括由一個(gè)馬達(dá)24驅(qū)動(dòng)的主動(dòng)輥23，以受控的方式轉(zhuǎn)動(dòng)，還包括一個(gè)軋輥25，將層壓板1壓向主動(dòng)輥23，將展開(kāi)的層壓板1送往碾壓部分60。從每個(gè)卷11展開(kāi)的層壓板1通過(guò)一個(gè)終端輥19水平地延伸到主動(dòng)輥23上。在終端輥19和主動(dòng)輥23之間是一個(gè)有夾具27、28的接頭臺(tái)26，一個(gè)邊緣傳感器30和一個(gè)修邊機(jī)34，它的功能將在后面討論。在輸送路徑上主動(dòng)輥23和碾壓部分60之間有一個(gè)第一松緊調(diào)節(jié)輥組，第一個(gè)儲(chǔ)料器70，其能在送料器10中斷輸送層壓板1的操作，調(diào)換卷11時(shí)，允許層壓板1不間斷地通過(guò)碾壓部分60。儲(chǔ)料器70包括一對(duì)固定的送料輥71，一個(gè)定滑輪73和一對(duì)動(dòng)滑輪74，由相應(yīng)的軌道支撐，能夠在這個(gè)軌道上垂直移動(dòng)，用于吸收通過(guò)碾壓部分60和通過(guò)送料器10的層壓板輸送速度的速度差。還有，第二個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組或者儲(chǔ)料器80在碾壓部分60和收集器40之間。第二個(gè)儲(chǔ)料器80的結(jié)構(gòu)與第一個(gè)儲(chǔ)料器70的結(jié)構(gòu)相同，包括一對(duì)固定的送料輥81、一個(gè)定滑輪83和一對(duì)動(dòng)滑輪84，它們由相應(yīng)的軌道支撐，能夠在它們上面垂直移動(dòng)。
碾壓部分60在第一個(gè)儲(chǔ)料器70和第二個(gè)儲(chǔ)料器80之間，用來(lái)制作層壓板1，其在送料輥71和81之間平直延伸。碾壓部分60包括一個(gè)清洗輥組61，提供帶粘性的輥?zhàn)?，直接與層壓板1接觸，在抗腐蝕薄膜5被碾壓到層壓板1上之前，用粘性清除層壓板表面上的異物。在清洗輥組后面緊接著清洗輥組61是一對(duì)預(yù)熱輥63，其直接與層壓板1接觸，用來(lái)在碾壓光敏薄膜5之前對(duì)它預(yù)熱。在輸送路徑上預(yù)熱輥63后面是一對(duì)壓輥64和一對(duì)后熱輥65，它們直接與層壓板接觸，由共用的馬達(dá)66驅(qū)動(dòng)，將層壓板1以預(yù)先確定的恒定速度送往第二個(gè)儲(chǔ)料器80。分別從它們的卷7展開(kāi)的抗腐蝕薄膜5到達(dá)壓輥64，在那里它們被壓在層壓板的兩相對(duì)表面上。后熱輥65用來(lái)加熱薄膜5和層壓板1形成的組合，使它們平整，并且使薄膜5緊緊地粘貼在層壓板1上。為了保證平整均勻地粘貼在層壓板1上，可以在與層壓板粘貼之前事先單獨(dú)對(duì)薄膜5進(jìn)行加熱。這樣與薄膜5粘貼在一起的層壓板1通過(guò)冷卻箱67之間的冷卻區(qū)域，在那里充分冷卻，使薄膜5不會(huì)發(fā)生不需要的熱反應(yīng)。否則，薄膜5會(huì)被加熱很長(zhǎng)的時(shí)間，使薄膜5變硬，至少部分地出現(xiàn)硬化部分，在后面的電路圖形形成處理過(guò)程中不能很容易地將它去掉，導(dǎo)致無(wú)法在層壓板1上形成所需要的電路圖形。
如圖1和圖3所示，與送料器10相似的收集器40包括一對(duì)卷繞機(jī)42，分別在它們上面安裝了用來(lái)收集層壓板1層壓板卷41。每個(gè)卷繞機(jī)42都包括一個(gè)軸43，用于在它上面卷繞收集到的層壓板1，還有一個(gè)齒輪電動(dòng)機(jī)46，其與軸43相連，從而能夠有選擇地使軸43滾動(dòng)和停止?jié)L動(dòng)。一個(gè)無(wú)齒輪驅(qū)動(dòng)的電磁粉末離合器45安裝在軸43和馬達(dá)46之間，用于給卷繞在軸上的層壓板施加一個(gè)均勻的張力。這個(gè)軸43有一個(gè)能夠變大的軸套，用來(lái)可分離地支撐卷41。卷繞成卷的時(shí)候，保護(hù)紙2從卷51提供給層壓板1的表面。這些單元安裝在一個(gè)架子47上，其移動(dòng)地支撐到固定基座48，從而使這些軸43能夠在垂直于將層壓板1輸送給收集器40的方向的一個(gè)方向上活動(dòng)。這些軸43被用來(lái)收集從卷11上展開(kāi)，連續(xù)的，也就是連接在一起的層壓板1，形成一個(gè)一個(gè)的卷41，同時(shí)通過(guò)碾壓部分60使連接在一起的層壓板1連續(xù)地與薄膜5碾壓在一起。收集器40中還包括一個(gè)軋輥55，它與層壓板1接觸，將它壓向?qū)б?3，從而有選擇地從碾壓部分60輸送層壓板1或者停止輸送層壓板。通過(guò)軋輥55的層壓板1通過(guò)終端輥49到達(dá)軸43中的一個(gè)，從而收集在當(dāng)前卷41上。在終端輥49和軋輥55之間是一個(gè)有夾具57、58的轉(zhuǎn)換臺(tái)56，用來(lái)將連接在一起的層壓板1切割成原始長(zhǎng)度的層壓板，收集到卷41上，它的詳細(xì)工作過(guò)程將在下面討論。
送料器10的工作過(guò)程下面參考圖4A～4F，詳細(xì)描述如何將層壓板1從單個(gè)卷11展開(kāi)成連接起來(lái)的層壓板1并輸入碾壓部分60。如圖4A所示，當(dāng)一個(gè)適當(dāng)?shù)膫鞲衅鳈z測(cè)到層壓板1的當(dāng)前卷11幾乎要耗盡的時(shí)候，控制器(圖中沒(méi)有給出)給出一個(gè)告警信號(hào)，讓人準(zhǔn)備好將預(yù)備卷11’連接到從當(dāng)前卷11展開(kāi)的層壓板1的尾端。然后控制器通過(guò)降低主動(dòng)輥23的轉(zhuǎn)速，隨后自動(dòng)地或者手動(dòng)地降低層壓板1的輸送速度，逐漸地將層壓板1的尾端送到接頭臺(tái)26上，從圖4B的位置的圖4C的位置可以看出，在這個(gè)過(guò)程中儲(chǔ)料器70的動(dòng)滑輪向上移動(dòng)，讓層壓板1以恒定的速度連續(xù)地通過(guò)碾壓部分60。如圖4C所示，當(dāng)層壓板1的尾端到達(dá)夾具28下面的位置的時(shí)候，主動(dòng)輥23停止，夾具被壓向臺(tái)子26，并貼在它上面的層壓板上。然后，如圖4D所示，預(yù)備卷11’的導(dǎo)引層壓板3被拉上臺(tái)子26，用夾具27壓上臺(tái)子26，把它壓在上面，使導(dǎo)引層壓板3與層壓板1的尾端連接在一起。例如，導(dǎo)引層壓板3是用聚四氟乙烯制造的，將導(dǎo)引層壓板3的傾斜端壓在層壓板1的尾端上，并且將一片4聚對(duì)苯二甲酸乙酯(PET)放在連接頭上，如圖5所示。動(dòng)滑輪74繼續(xù)向上移動(dòng)，讓層壓板1連續(xù)地通過(guò)碾壓部分60，直到它們接上為止。于是，如圖4E所示，夾具27和28被釋放，主動(dòng)輥23繼續(xù)工作，使這樣接合在一起的層壓板1以比通過(guò)碾壓部分60的速度高的速度輸送，給儲(chǔ)料器70提供額外的長(zhǎng)度，讓動(dòng)滑輪74向下移動(dòng)到正常位置。如圖4F所示，一旦動(dòng)滑輪74回到上限傳感器76確定的上限以下的正常位置，主動(dòng)輥23就受到控制將動(dòng)滑輪74移動(dòng)到由下限傳感器77確定的上限和下限之間，使層壓板1以預(yù)先確定的恒定速度通過(guò)碾壓部分60。這一過(guò)程繼續(xù)下去，直到卷11被耗盡。在這個(gè)卷被耗盡的時(shí)候，將一卷新的層壓板1安裝在軸13上，替換空卷11，使層壓板1能夠從所需要個(gè)數(shù)的卷上連續(xù)地輸入碾壓部分。一個(gè)安全極限傳感器78安裝在上限傳感器76上面足夠遠(yuǎn)的一個(gè)位置上，用來(lái)停止整個(gè)單元的工作，以防滑輪74會(huì)到達(dá)安全極限傳感器78，例如，由于在預(yù)先確定的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有接好送料器10上的層壓板。極限傳感器76、77和78連接在一起，給出相應(yīng)的輸出給控制器，從而使控制器能夠改變主動(dòng)輥23、送料器10的馬達(dá)15和收集器40的馬達(dá)45的轉(zhuǎn)動(dòng)速度，以便讓層壓板1以基本上預(yù)先確定的恒定速度通過(guò)碾壓部分60。如圖2所示，送料器10另外包括一對(duì)擋板臺(tái)29，用于擋住從安裝在軸13上新的層壓板1卷展開(kāi)的導(dǎo)引層壓板3的前端，使它準(zhǔn)備好與當(dāng)前正在輸送的層壓板1的后端接合起來(lái)。
收集器40的工作過(guò)程現(xiàn)在參考圖11A～11F，詳細(xì)地描述收集器40將連接在一起的層壓板1收集成預(yù)定長(zhǎng)度的不同的卷41的工作過(guò)程。圖11A說(shuō)明一種正常情況，在那里馬達(dá)45的控制下按照一種方式將層壓板1卷成卷41，這種方式使得第二個(gè)儲(chǔ)料器80的動(dòng)滑輪84在它的上限傳感器86規(guī)定的最高位置附近。當(dāng)位置傳感器54檢測(cè)到層壓板的接頭也就是片子4要到達(dá)轉(zhuǎn)換臺(tái)56的時(shí)候，控制器響應(yīng)并給出一個(gè)告警信號(hào)，說(shuō)明這個(gè)接頭來(lái)了，并且用很大的力量將軋輥55壓向?qū)б?3，并且剎住馬達(dá)45，停止將層壓板送往卷41。在這種情況下，如圖11B所示，儲(chǔ)料器80通過(guò)降低滑輪84的位置開(kāi)始存儲(chǔ)通過(guò)碾壓部分60不停地送過(guò)來(lái)的層壓板1。這樣，如圖11C所示，在接頭的位置切斷層壓板，從收集的卷41延伸過(guò)來(lái)的層壓板1的后端放在擋板臺(tái)59上，準(zhǔn)備好從收集器拿走40。于是，如圖11D所示，從擋板臺(tái)59上將從空卷41’或者軸43上延伸過(guò)來(lái)的導(dǎo)引層壓板3向上拉，通過(guò)終端輥49，到達(dá)轉(zhuǎn)換臺(tái)56上，在那里夾具57和58分別將它與剩余的層壓板1放在一起，與剩余的層壓板1連接在一起。在這個(gè)時(shí)候，軋輥55依舊停止輸送層壓板，使滑輪84向下移動(dòng)，將不間斷地從碾壓部分60送過(guò)來(lái)的層壓板儲(chǔ)存在儲(chǔ)料器80中。在這個(gè)時(shí)候，如圖11E所示，夾具57和58被釋放。很短的一段時(shí)間以后，如圖11F所示，軋輥55被釋放，馬達(dá)46在控制下以相對(duì)較高的速度將層壓板1卷進(jìn)卷41’，直到滑輪84移動(dòng)到上限。在那以后，以較低的速度驅(qū)動(dòng)馬達(dá)46，使它與通過(guò)碾壓部分輸送層壓板的速度同步，從而使滑輪84保持在它的上限附近。這樣，連續(xù)不斷地從多個(gè)層壓板卷11輸送過(guò)來(lái)的層壓板1能夠被收集到對(duì)應(yīng)個(gè)數(shù)的層壓板卷41上，同時(shí)能夠保證連接起來(lái)的層壓板1能夠連續(xù)不斷地在碾壓部分60加工處理。如果這些滑輪84向上移動(dòng)超過(guò)了上限傳感器86所在的位置，控制器就停止將層壓板卷成卷。如果這些滑輪84在圖11B～11E所示的工作過(guò)程中向下移動(dòng)，超過(guò)了下限傳感器87所在的位置，控制器就使整個(gè)單元停止工作，并且停止將層壓板送入碾壓部分60。
送料器10中間的邊緣傳感器是一個(gè)位置傳感器30，它能夠檢測(cè)送往碾壓部分60的層壓板1的橫向邊緣，以便測(cè)量層壓板1在垂直于輸送方向的任何可能的橫向位移。測(cè)量出來(lái)的橫向位移參數(shù)被交給控制器，控制器則橫向移動(dòng)這個(gè)臺(tái)子17適當(dāng)?shù)木嚯x，以便補(bǔ)償這個(gè)橫向位移，從而使層壓板1重新調(diào)整到正確的輸送方向上。如圖6所示，傳感器30包括一對(duì)光發(fā)射元件31和一對(duì)光接收元件32，它們安裝在一個(gè)固定的框架33上，與層壓板1的橫向邊緣相鄰。傳感器30也可以是一個(gè)超聲波傳感器，它能夠指示和接收通過(guò)橫向邊緣的超聲波，也可以是一個(gè)空氣傳感器，能夠噴出和接收通過(guò)橫向邊緣的壓縮空氣。
送料器10中有一個(gè)修邊機(jī)34，通過(guò)在將層壓板送往碾壓部分之前，從形成層壓板1的樹(shù)脂基片的樹(shù)脂材料上去掉所有的碎片，來(lái)平整層壓板1的橫向邊緣。如圖7所示，修邊機(jī)34可以包括一對(duì)激光束發(fā)射器35，它能夠?qū)⒓す馐l(fā)射給層壓板1的橫向邊緣，從而部分地融化樹(shù)脂材料。融化的樹(shù)脂冷卻以后就使橫向邊緣變得非常光滑，從而使它基本上沒(méi)有任何碎片，這些碎片對(duì)于層壓板的進(jìn)一步處理是有害的?；蛘撸鐖D8所示，修邊機(jī)34可以包括一對(duì)遠(yuǎn)紅外加熱器36，它能夠發(fā)出遠(yuǎn)紅外射線，部分地融化橫向邊緣。除此以外，如圖9所示，修邊機(jī)還可以包括一對(duì)砂輪37，它能夠打磨橫向邊緣，使它變得光滑。圖10畫出了另外一個(gè)可以使用的修邊機(jī)34，它包括一對(duì)涂膠機(jī)38，它能夠?qū)?shù)脂涂在層壓板1的橫向邊緣上。樹(shù)脂涂層既可以是能夠熱硬化的樹(shù)脂，也可以是用光硬化的樹(shù)脂，在涂膠機(jī)38的后面利用加熱器或者光源使它硬化，使橫向邊緣具有光滑的表面。
曝光單元參考圖12，其中畫出了本發(fā)明中的曝光單元。這個(gè)單元包括一個(gè)處理部分，也就是曝光部分90，在層壓板1的輸送路徑上，送料器10A和收集器40A之間，它們兩個(gè)的結(jié)構(gòu)和功能都與上面的碾壓?jiǎn)卧褂玫南嗤?。還有，在層壓板1輸送路徑上曝光部分90的前面和后面都放置了與上面的碾壓?jiǎn)卧褂玫木哂邢嗤Y(jié)構(gòu)和功能的第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70A和80A。相同的部件用相同的數(shù)字加上一個(gè)后綴字母“A”表示。曝光部分90包括一個(gè)腔體100，它有一對(duì)上框架和下框架101，每個(gè)框架都有一個(gè)玻璃板102，并在玻璃板上放置光掩膜103。這些框架101與層壓板1兩面有關(guān)的光源104安裝在一起，層壓板1被主動(dòng)輥91拉著通過(guò)這個(gè)箱子100。主動(dòng)輥91由馬達(dá)92驅(qū)動(dòng)著轉(zhuǎn)動(dòng)，并且通過(guò)軋輥93與層壓板1直接接觸。層壓板1上覆蓋著抗腐蝕薄膜，從送料器10A通過(guò)第一個(gè)儲(chǔ)料器70A和清洗輥61A輸送，在固定的導(dǎo)引輥94和一對(duì)提升輥95的牽引下通過(guò)這個(gè)腔體。提升輥95能夠在垂直方向上移動(dòng)，在主動(dòng)輥91和固定的導(dǎo)引輥94之間，使層壓板1以適當(dāng)?shù)膹埩λ降赝ㄟ^(guò)腔體100。
提升輥95受到控制在垂直方向上以步進(jìn)方式在低、中和高位置之間移動(dòng)，在腔體100內(nèi)相對(duì)于攜帶光掩膜103的框架101用于升高和降低層壓板1以便更換光掩膜和清洗框架101。在這一連接中，上面的框架101也受到控制，以步進(jìn)方式在低、中和高位置之間在垂直方向上移動(dòng)，如圖13A～13B所示，同時(shí)下面的框架101保持不動(dòng)。圖13A說(shuō)明一種正常位置，在那里提升輥95和上框架101分別在低位置上，使層壓板1靠近光掩膜103，用于使抗腐蝕薄膜曝光。當(dāng)需要首先讓層壓板1通過(guò)腔體100，清洗上框架101的時(shí)候，或者更換它上面的光掩膜103的時(shí)候，提升輥95和上框架被分別提升到中位置，在層壓板1上面留出足夠的空間，如圖13B所示，以便進(jìn)行必需的操作。另一方面，需要更換下面框架上的光掩膜的時(shí)候，或者需要清洗它的時(shí)候，通過(guò)將提升輥95和上框架101分別升高到高位置，如圖13C所示，其中在下框架101上面留下足夠的空間，就能很容易地做到這一點(diǎn)。
通過(guò)主動(dòng)輥91間歇地輸送層壓板1能夠?qū)垢g薄膜曝光。也就是說(shuō)，主動(dòng)輥91在控制下以步進(jìn)方式輸送層壓板1，并且與光源104鎖定，這樣使輻射到層壓板1的薄膜上的光是靜止不動(dòng)的。這樣，層壓板1通過(guò)一個(gè)預(yù)先確定的步驟輸送過(guò)去，從而對(duì)這個(gè)薄膜上的下一個(gè)區(qū)域曝光。在這里指出，在這個(gè)連接中，與送料器10A和收集器40A的速度相比，主動(dòng)輥91以較高的速度輸送層壓板1，從而能夠利用第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70A和80A補(bǔ)償曝光過(guò)程中的輸送延遲，使得層壓板1能夠連續(xù)地從送料器10A通過(guò)曝光部分90送往收集器40A，同時(shí)使曝光操作在這個(gè)過(guò)程中間歇地進(jìn)行。這樣，在正常操作過(guò)程中，第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70A和80A的動(dòng)滑輪74A和84A能夠在上限和下限之間移動(dòng)，而層壓板則通過(guò)曝光部分90。如果任何一個(gè)動(dòng)滑輪74A和84A超過(guò)了上限或者下限，為了安全起見(jiàn)，整個(gè)單元都要停止工作。這個(gè)上限和下限分別由對(duì)應(yīng)的上限下限傳感器確定。
顯影單元參考圖14，其中畫出了本發(fā)明中的顯影單元。這個(gè)單元包括一個(gè)顯影部分110和一個(gè)腐蝕部分120，其在送料器10B和收集器40B之間的層壓板1輸送路徑上排列在一起，還包括一個(gè)主動(dòng)輥111，其安裝在腐蝕部分120的后面。主動(dòng)輥111由馬達(dá)112提供動(dòng)力，與有關(guān)的軋輥113一起作用，直接給層壓板1一個(gè)驅(qū)動(dòng)力，使層壓板1連續(xù)地通過(guò)110和120部分。送料器10B和收集器40B在結(jié)構(gòu)和功能上與上面使用的碾壓?jiǎn)卧嗤?。此外，與上面的碾壓?jiǎn)卧褂玫哪切┰诮Y(jié)構(gòu)和功能上相同的第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70B和80B分別放在層壓板1輸送路徑上的顯影部分110的前面和腐蝕部分120的后面。相似的部件用相似的數(shù)字加上一個(gè)后綴字母“B”表示。
顯影部分110包括一對(duì)釋放輥114，分別用于從層壓板相對(duì)的兩個(gè)表面曝過(guò)光的薄膜上揭下覆蓋薄膜9，并且將它們收集到相應(yīng)的輥?zhàn)?15上。這樣去掉覆蓋薄膜9的層壓板1繼續(xù)往前通過(guò)顯影箱116，其中有一個(gè)噴嘴117陣列，排列在輸送路徑上，用于噴灑顯影劑，例如將碳酸鈉的水溶劑噴灑到層壓板1上，去掉曝光薄膜上沒(méi)有固化的部分。腐蝕部分120包括一個(gè)腐蝕箱121，其中有一個(gè)噴嘴122陣列，它們沿著輸送路徑排列，用于將腐蝕液體噴撒到層壓板1的相對(duì)兩個(gè)表面上。例如用包括銅離子的鹽酸水溶液制作的腐蝕液體負(fù)責(zé)去掉固化薄膜沒(méi)有覆蓋的那部分金屬箔。箱子121還包括一些噴嘴123，用來(lái)噴灑液體去除劑，去掉層壓板1上剩余的固化了的抗腐蝕薄膜。在這個(gè)單元中，主動(dòng)輥111與第一個(gè)儲(chǔ)料器70B的送料輥71B一起給出一個(gè)適當(dāng)?shù)膹埩Γ箤訅喊迤秸赝ㄟ^(guò)110和120部分。
表面處理單元參考圖15，其中畫出了本發(fā)明中的一個(gè)表面處理單元。這個(gè)單元用來(lái)給層壓板上的電路圖形進(jìn)行最佳的表面處理，以便使得到的電路板能夠很好地用于多層印制電路板中的內(nèi)層。這個(gè)單元包括一個(gè)表面處理部分130，排列在送料器10C和收集器40C之間層壓板1的輸送路徑上，還有一個(gè)主動(dòng)輥131放置在這個(gè)部分130的后面。這個(gè)主動(dòng)輥131由馬達(dá)132提供動(dòng)力，與有關(guān)的軋輥133一起為層壓板1直接提供一個(gè)驅(qū)動(dòng)力，使層壓板平整連續(xù)地通過(guò)這個(gè)部分130。送料器10C和收集器40C在結(jié)構(gòu)和功能上與上面的碾壓?jiǎn)卧褂玫哪切┫嗤＿€有，與上面的碾壓?jiǎn)卧墓δ芎徒Y(jié)構(gòu)相同的第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70C和80C分別在部分130前面和后面層壓板1的輸送路徑上。相同的部件用相同的數(shù)字加一個(gè)字母后綴“C”表示。
這個(gè)表面處理部分包括一個(gè)軟腐蝕部分141、第一個(gè)沖洗部分142、一個(gè)酸洗部分143、第二個(gè)沖洗部分144、一個(gè)氧化部分145、第三個(gè)沖洗部分146、一個(gè)還原部分147、第四個(gè)沖洗部分148和一個(gè)干燥部分149，它們按照這個(gè)順序排列在輸送路徑上。軟腐蝕部分141用來(lái)利用例如硫酸和過(guò)氧化物的水溶液對(duì)層壓板1上的電路圖形進(jìn)行表面粗拋光。得到的電路圖形上的粗糙表面能夠提高電路圖形與多層電路板中相鄰層的粘附力。接下來(lái)讓層壓板1通過(guò)第一沖洗部分142，在那里用水沖洗，并去掉軟腐蝕過(guò)程中帶來(lái)的雜質(zhì)。然后，在酸洗部分143中對(duì)層壓板1進(jìn)行處理，利用例如硫酸去掉剩下的雜質(zhì)。在酸洗過(guò)程中它們出現(xiàn)的雜質(zhì)被隨后在第二個(gè)沖洗部分144中用大量的水沖洗掉。隨后將層壓板1送進(jìn)氧化部分145，在那里用酸性的水溶液對(duì)它進(jìn)行處理，例如用亞氯酸鈉或者氫氧化鈉進(jìn)行處理，在電路圖形上面形成氧化銅鈍化層。對(duì)這個(gè)鈍化層進(jìn)行控制，使它具有最佳的厚度，并且保持它的粗糙表面，以便提高在多層電路板中與相鄰層的附著強(qiáng)度。然后，在第三個(gè)沖洗部分146沖洗層壓板1，去掉雜質(zhì)，然后送至還原部分147，在那里用適當(dāng)?shù)倪€原劑對(duì)鈍化層的表面進(jìn)行還原，例如，利用二甲胺硼烷對(duì)它進(jìn)行還原，使它具有耐酸特性并且改善粘附特性。利用這一還原處理，電路圖形不會(huì)受到制造多層電路板的過(guò)程中使用的電鍍液體影響，從而避免所謂的“暈滲現(xiàn)象(haloing)”，否則它會(huì)因?yàn)殡婂円后w中包含的酸溶解鈍化層而出現(xiàn)在電路圖形中，或者在電路圖形的過(guò)孔周圍。然后，在第四個(gè)沖洗部分148中沖洗掉層壓板1上的雜質(zhì)，在干燥部分149中干燥，最后收集到收集器40C中去。層壓板1以恒定的速度或者變化的速度通過(guò)部分130，而第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70C和80C則允許通過(guò)130部分和通過(guò)送料器10C或者收集器40C之間可能出現(xiàn)的速度差。在這個(gè)單元中，主動(dòng)輥131與第一個(gè)儲(chǔ)料器71C的送料輥71C一起，施加一個(gè)適當(dāng)?shù)膹埩?，使層壓?平整地通過(guò)表面處理部分130。
上述的表面處理部分130可以利用羧酸和銅離子的水溶液對(duì)電路圖形的表面進(jìn)行粗化表面處理，就像公開(kāi)號(hào)為第10-335815號(hào)的日本專利所說(shuō)明的一樣。也可以利用包括硫酸、過(guò)氧化氫和銅離子的水溶液進(jìn)行處理，就像公開(kāi)號(hào)為11-21517的日本專利申請(qǐng)所公開(kāi)的一樣。
參考圖16，其中給出了本發(fā)明另外一個(gè)實(shí)施例的一個(gè)系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)包括上面的四個(gè)單元，它們排列在送料器10D和收集器40D之間的一個(gè)單一的輸送路徑上，送料器10D和收集器40D在結(jié)構(gòu)和功能上與上面的碾壓?jiǎn)卧惺褂玫哪切┒枷嗨?。這四個(gè)單元，也就是碾壓部分60D、曝光部分90D、顯影部分110D和表面處理部分130D，分別用它們中間的儲(chǔ)料器150隔離開(kāi)。與碾壓?jiǎn)卧惺褂玫哪切┙Y(jié)構(gòu)和功能都相同的第一個(gè)和第二個(gè)儲(chǔ)料器70D和80D也放在同樣的位置，也就是送料器10D后面緊挨著儲(chǔ)料器，以及收集器40D前面緊挨著收集器。與第一個(gè)和第二個(gè)存貯器一樣，每個(gè)中間的儲(chǔ)料器150都包括一對(duì)固定送料輥151，一個(gè)定滑輪153和一對(duì)動(dòng)滑輪154，它們由相應(yīng)的軌道支撐，從而能夠沿著軌道垂直移動(dòng)，吸收相鄰單元之間層壓板1輸送速度之間的差別。相同的部件用相同的數(shù)字加一個(gè)字母后綴“D”表示。
圖17畫出了一個(gè)切割裝置，它與以上系統(tǒng)一起用來(lái)將層壓板1切割成許多單一的具有電路圖形的電路板。這些電路板被用作前面提到的多層電路板的內(nèi)層。如圖18所示，層壓板1上還有多處位置標(biāo)記161，它們?cè)谛纬呻娐穲D形160的同時(shí)在層壓板1上的一個(gè)表面上形成，它的方式使得一對(duì)標(biāo)記161與每個(gè)電路圖形160在橫向上并列。這樣形成的具有標(biāo)記的層壓板1以卷171的形式提供，在層壓板1上有一層保護(hù)紙2，安裝在送料器170上。當(dāng)層壓板1從輥?zhàn)?71上展開(kāi)的時(shí)候，保護(hù)紙被收集成紙卷181。送料器170包括一個(gè)臺(tái)子177，它相對(duì)于固定基座能夠在垂直于輸送層壓板的方向上移動(dòng)。在這個(gè)臺(tái)子177上安裝有一個(gè)扭力矩馬達(dá)175，用來(lái)連接并轉(zhuǎn)動(dòng)輥?zhàn)?71的軸173，通過(guò)一個(gè)電磁粉末離合器，在受控的情況下卷起層壓板1或者停止展開(kāi)層壓板1。從輥?zhàn)?71上展開(kāi)的層壓板1通過(guò)一個(gè)終端輥179，水平地延伸到一個(gè)儲(chǔ)料器190那里，并且通過(guò)一個(gè)主動(dòng)輥183，輸送給儲(chǔ)料器190。這個(gè)主動(dòng)輥183由一個(gè)馬達(dá)184提供動(dòng)力，并通過(guò)軋輥185與層壓板1直接接觸。儲(chǔ)料器190包括一對(duì)固定送料輥191和一個(gè)動(dòng)滑輪194，這個(gè)動(dòng)滑輪能夠沿著垂直軌道在垂直方向上移動(dòng)，調(diào)整儲(chǔ)存在儲(chǔ)料器190中的層壓板1的長(zhǎng)度。
有一個(gè)邊緣傳感器186安裝在終端輥179和主動(dòng)輥183之間，用來(lái)檢測(cè)正在從輥?zhàn)?71展開(kāi)的層壓板可能出現(xiàn)的橫向位移。檢測(cè)到的橫向位移總是由一個(gè)控制器200監(jiān)視，它會(huì)對(duì)應(yīng)調(diào)整臺(tái)子177的橫向位置，以便使層壓板1在輸送通過(guò)儲(chǔ)料器190的層壓板1的方向上與切割臺(tái)210對(duì)齊。
切割臺(tái)210安裝在一個(gè)固定支座211上，有一個(gè)切割器212，用來(lái)將層壓板1切割成許多電路板220。利用一個(gè)主動(dòng)輥213將層壓板1拉到切割臺(tái)210上，這個(gè)主動(dòng)輥213由馬達(dá)214驅(qū)動(dòng)，并通過(guò)有關(guān)的軋輥215保持與層壓板1直接接觸。一個(gè)照相機(jī)216安裝在主動(dòng)輥213的前面，用來(lái)監(jiān)視位置標(biāo)記161，以便將層壓板1推進(jìn)預(yù)先確定的一個(gè)步長(zhǎng)，使它進(jìn)入一個(gè)精確的位置，切割成電路板220，與此同時(shí)使這個(gè)層壓板1與輸送方向保持精確對(duì)齊。這是通過(guò)控制器200來(lái)做到的，它控制主動(dòng)輥213，將層壓板1按照預(yù)先確定的長(zhǎng)度一步一步地送過(guò)去，每次位置標(biāo)記都被照相機(jī)檢測(cè)到，以便在預(yù)先確定的位置切割層壓板，也就是在電路圖形之間進(jìn)行切割。
如果輸送給切割臺(tái)210的層壓板1相對(duì)于正確的輸送方向FX有一個(gè)角度偏差θ，如圖19所示，這個(gè)偏差會(huì)被照相機(jī)216檢測(cè)到，該照相機(jī)的視線范圍217以X軸和Y軸為中心。也就是說(shuō)，當(dāng)層壓板1發(fā)生角度偏差θ的時(shí)候，在視線范圍217中捕獲的標(biāo)記161會(huì)說(shuō)明它與X軸和Y軸有一個(gè)偏差ΔX和/或ΔY。這樣的偏置代表層壓板1的角度偏差。在獲得的ΔX和ΔY的基礎(chǔ)之上，控制器200產(chǎn)生一個(gè)補(bǔ)償信號(hào)，用于在將層壓板1切割成電路板220之前消除這個(gè)誤差。在這個(gè)連接中，主動(dòng)輥213、馬達(dá)214和軋輥215構(gòu)成的一組安裝在層壓板1的每個(gè)側(cè)面，從而使控制器200能夠根據(jù)補(bǔ)償信號(hào)改變相應(yīng)主動(dòng)輥213的輸送量，消除角度偏差，將層壓板精確地定位在臺(tái)子210上。正常情況下，除了對(duì)層壓板1的角度偏差進(jìn)行補(bǔ)償?shù)木_位置調(diào)整以外，主動(dòng)輥230在受到控制的情況下以高于送料器170的輸送速度的速度將層壓板1一步一步地拉向切割位置，以便與儲(chǔ)料器190一起補(bǔ)償速度偏差，以便將層壓板1連續(xù)地輸送給送料器170。
從層壓板1上切割下來(lái)的電路板220用一個(gè)水平軌道241支撐的往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)件240接連地運(yùn)輸?shù)酱娣排_(tái)230上。這個(gè)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)件240在受到控制的情況之下與切割器212同步地往復(fù)運(yùn)動(dòng)，用一個(gè)鉤子242抓住電路板220的尾端，將電路板220放到臺(tái)子230上。這個(gè)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)件240還有一個(gè)吸頭243，它能夠從一個(gè)臺(tái)子232上拾起一張保護(hù)紙221，將這張紙221放在電路板220之間。
雖然這里給出的實(shí)施例說(shuō)明了送料器170具有一個(gè)輥?zhàn)?71，但是這個(gè)送料器170還可以有預(yù)備的一卷層壓板，用于將預(yù)備的層壓板卷與從當(dāng)前卷展開(kāi)的層壓板連接起來(lái)，就像前面參考實(shí)施例所描述的一樣，從而能夠?qū)Χ鄠€(gè)層壓板卷連續(xù)地進(jìn)行切割。
權(quán)利要求
1.一種在制作印制電路板的過(guò)程中用于處理金屬包裹層壓板的處理方法，所述的處理方法包括以下步驟提供一卷連續(xù)的金屬包裹層壓板，其在電絕緣的基片上面有一層金屬箔；展開(kāi)所述的卷，將所述金屬包裹層壓板輸送給處理部分，同時(shí)給予所述的層壓板一個(gè)張力，使其伸展開(kāi)平整地通過(guò)所述處理部分；對(duì)通過(guò)所述處理部分的所述層壓板進(jìn)行連續(xù)處理，所述處理至少是以下一組處理中選擇出來(lái)的一個(gè)特定處理a)將一層光敏抗腐蝕薄膜碾壓到所述層壓板上；b)通過(guò)一個(gè)光掩膜將所述光敏抗腐蝕薄膜在光下曝光，用于固化所述抗腐蝕薄膜被選中的部分；c)對(duì)所述光敏抗腐蝕薄膜進(jìn)行顯影，去掉所述薄膜沒(méi)有固化的部分，隨后對(duì)所述薄膜的固化部分沒(méi)有覆蓋的所述金屬箔部分進(jìn)行腐蝕，在所述基片上產(chǎn)生所述金屬箔構(gòu)成的一個(gè)電路圖形；d)對(duì)所述電路圖形進(jìn)行表面處理，以在其上面產(chǎn)生一個(gè)鈍化層。
2.如權(quán)利要求1所述的的處理方法，其中所述的處理方法采用第一個(gè)和第二個(gè)退繞機(jī)，分別裝著第一卷和第二卷沒(méi)有完工的層壓板，第一個(gè)和第二個(gè)卷繞機(jī)能夠分別將層壓板卷繞成第一個(gè)和第二個(gè)已經(jīng)完工的卷，所述的處理方法還包括以下步驟將沒(méi)有完工的所述第一卷展開(kāi)，以使對(duì)應(yīng)的層壓板通過(guò)所述處理部分輸送過(guò)去，通過(guò)所述處理部分，隨后將沒(méi)有完工的所述第二卷層壓板與沒(méi)有完工的所述第一卷層壓板上未卷繞的層壓板的尾端連接起來(lái)，以便將未完工的所述第二卷層壓板連續(xù)地送往所述處理部分；和在經(jīng)過(guò)了所述處理部分以后，將所述的未完工的第一卷的層壓板卷繞成所述已經(jīng)完工的第一卷，隨后將所述的未完工的第二卷的層壓板與所述的未完工的第一卷的層壓板切割開(kāi)；和在通過(guò)了所述處理部分以后，將未完工的所述第二卷的層壓板卷繞成所述的已經(jīng)完工的第二卷。
3.如權(quán)利要求1所述的處理方法，其中所述金屬包裹層壓板是一種雙面層壓板，在它的兩相對(duì)面具有所述的金屬箔，用于接受制作所述印制電路板的過(guò)程中的特定處理。
4.如權(quán)利要求1所述的處理方法，其中所述特定處理是將一個(gè)光敏抗腐蝕薄膜碾壓到所述金屬包裹層壓板上；所述處理方法還包括以下步驟在將所述抗腐蝕薄膜碾壓到所述層壓板之前，加熱所述層壓板和所述光敏抗腐蝕薄膜中的至少一個(gè)；和冷卻層壓板和抗腐蝕薄膜的組合。
5.一種用于在制作印制電路板的過(guò)程中處理金屬包裹層壓板的系統(tǒng)，所述的系統(tǒng)包括一個(gè)送料器，用于從一卷金屬包裹層壓板連續(xù)的輸送金屬包裹層壓板；一個(gè)收集器，用于收集所述層壓板，所述收集器與所述送料器一起在它們之間確定所述層壓板的一條輸送路徑；一對(duì)送料輥，其間隔的位于所述輸送路徑上，與所述層壓板直接接觸，給出一個(gè)張力，利用這個(gè)張力，所述層壓板在所述的送料輥對(duì)之間伸展平整；和一個(gè)處理部分，在所述送料輥對(duì)之間，用于對(duì)輸送的所述層壓板進(jìn)行連續(xù)的所需處理，所述處理部分至少進(jìn)行從以下一組處理中選擇出來(lái)的一個(gè)特定處理a)將一光敏抗腐蝕薄膜碾壓到所述層壓板上；b)通過(guò)一個(gè)光掩膜讓所述抗腐蝕薄膜在光底下進(jìn)行曝光，用于固化所述抗腐蝕薄膜中被選中的部分；c)對(duì)所述抗腐蝕薄膜進(jìn)行顯影，去掉所述薄膜沒(méi)有固化的部分，隨后腐蝕所述薄膜的固化部分沒(méi)有覆蓋的那一部分金屬箔，在所述基片上產(chǎn)生所述金屬箔構(gòu)成的一個(gè)圖形；d)對(duì)所述電路圖形進(jìn)行表面處理，在其上面產(chǎn)生一個(gè)鈍化層。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，還包括一個(gè)修邊部分，其在所述處理部分的前面，用于對(duì)所述層壓板相對(duì)的橫向邊緣進(jìn)行拋光，以便使所述橫向邊緣基本上沒(méi)有構(gòu)成所述層壓板基片的任何樹(shù)脂材料的碎片。
7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，還包括一個(gè)邊緣傳感器，其能檢測(cè)所述層壓板橫向邊緣的位置，并且提供一個(gè)位置信號(hào)說(shuō)明所述位置，所述送料器安裝在一個(gè)可以移動(dòng)的臺(tái)子上，其能夠在垂直于所述輸送路徑的方向上移動(dòng)，一個(gè)控制器用來(lái)移動(dòng)能夠移動(dòng)的所述臺(tái)子，以便按照所述位置信號(hào)調(diào)整送往所述處理部分的所述層壓板的橫向位置。
8.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述處理部分是一個(gè)碾壓部分，負(fù)責(zé)碾壓光敏抗腐蝕薄膜到所述層壓板上，所述碾壓部分包括一個(gè)薄膜提供器，連續(xù)地將所述抗腐蝕薄膜提供給所述層壓板；一對(duì)壓輥，用于加熱所述抗腐蝕薄膜，并且將它緊緊地壓在所述層壓板上；一對(duì)預(yù)熱輥，其在所述輸送路徑上，在所述壓輥之前并緊挨所述壓輥，與所述層壓板直接接觸，用于預(yù)熱所述層壓板；和冷卻裝置，在所述輸送路徑上，在所述壓輥后面緊挨壓輥，用于冷卻所述層壓板和重迭在所述層壓板上的抗腐蝕薄膜。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中一對(duì)后熱輥在所述輸送路徑上，在所述軋輥和所述冷卻裝置之間，與所述層壓板上的所述抗腐蝕薄膜直接接觸并對(duì)它進(jìn)行加熱。
10.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述處理部分包括一個(gè)曝光部分，用于通過(guò)光掩膜在光底下對(duì)所述光敏抗腐蝕薄膜進(jìn)行曝光，固化所述抗腐蝕薄膜被選中的部分，所述的系統(tǒng)還包括第一個(gè)和第二個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組，分別位于所述曝光部分前后，與所述曝光部分緊挨著，以便對(duì)通過(guò)所述曝光部分的層壓板施加一個(gè)均勻的張力，同時(shí)讓所述層壓板在所述曝光部分的前面和后面以不同的速度通過(guò)所述曝光部分。
11.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述處理部分包括一個(gè)曝光部分，用于通過(guò)光掩膜在光底下對(duì)所述光敏抗腐蝕薄膜進(jìn)行曝光，固化所述抗腐蝕薄膜被選中的部分，所述曝光部分包括支撐光掩膜的一個(gè)框架；一個(gè)光源，讓所述光通過(guò)所述光掩膜照向所述抗腐蝕薄膜；和一對(duì)提升輥，間隔放置在所述輸送路徑上，通過(guò)所述框架，在所述提升輥之間將所述層壓板的一部分拉開(kāi)，與所述光掩膜相鄰，所述提升輥在受到控制的情況之下將所述部分的層壓板移向所述框架中的所述光掩膜以及從它移開(kāi)。
12.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，所述送料器包括兩個(gè)退繞機(jī)，分別將不同卷的金屬包裹層壓板退繞展開(kāi)送入所述輸送路徑，所述卷的其中一卷是當(dāng)前卷，其上面的層壓板連續(xù)地展開(kāi)到所述輸送路徑上去，而另外一卷是預(yù)備卷，其上面的層壓板有一個(gè)前端，用于隨后與所述當(dāng)前卷的層壓板的后端連接；一個(gè)接頭臺(tái)，與所述輸送路徑的前端相鄰，所述的接頭臺(tái)能夠輕輕地托住所述層壓板；一個(gè)擋板臺(tái)，用于輕輕地托住預(yù)備卷中層壓板的前端，和一個(gè)主動(dòng)輥，與所述接頭臺(tái)后面的層壓板連接，用于將所述層壓板從所述卷拉出；所述的系統(tǒng)還包括一個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組，它在所述主動(dòng)輥后面，與主動(dòng)輥緊緊地挨著，以便讓所述層壓板在所述松緊調(diào)節(jié)輥組前后以不同的速度輸送；所述主動(dòng)輥能夠與所述層壓板連接，以便當(dāng)所述當(dāng)前卷展開(kāi)出來(lái)的所述層壓板的后端到達(dá)接頭臺(tái)的時(shí)候，停止退繞，并且將它送往所述松緊調(diào)節(jié)輥組，從而使所述松緊調(diào)節(jié)輥組連續(xù)地將層壓板輸送給所述收集器，并且使得從當(dāng)前卷退繞出來(lái)的層壓板的后端能夠與從所述預(yù)備卷退繞出來(lái)的層壓板的前端連接在一起。
13.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述收集器包括兩個(gè)卷繞機(jī)，分別用于將所述層壓板卷繞在對(duì)應(yīng)的軸上，所述卷繞機(jī)的每個(gè)都有這樣的功能，也就是有選擇地轉(zhuǎn)動(dòng)和停止所述軸的轉(zhuǎn)動(dòng)；一個(gè)轉(zhuǎn)換臺(tái)，鄰接在所述輸送路徑后面，所述轉(zhuǎn)換臺(tái)輕輕地托住所述層壓板的導(dǎo)引端，以及導(dǎo)向所述軸的導(dǎo)引層壓板的尾端，用于將所述層壓板與所述導(dǎo)引層壓板連接；一個(gè)擋板臺(tái)，用于輕輕地?fù)踝∷鰧?dǎo)引層壓板的一端；和一個(gè)軋輥，在所述轉(zhuǎn)換臺(tái)前面的某個(gè)點(diǎn)上，與正在輸送往卷繞機(jī)的所述層壓板連接；所述系統(tǒng)還包括一個(gè)松緊調(diào)節(jié)輥組，其在所述軋輥和所述處理部分之間，以便讓所述層壓板在所述松緊調(diào)節(jié)輥組前后以不同的速度輸送；所述軋輥與所述卷繞機(jī)互相鎖住，與所述層壓板連接，以當(dāng)所述層壓板的前端到達(dá)轉(zhuǎn)換臺(tái)的時(shí)候，停止輸送所述層壓板，并且停止所述卷繞機(jī)，從而讓所述松緊調(diào)節(jié)輥組連續(xù)地接收送往所述軋輥的層壓板，并且讓所述層壓板與所述導(dǎo)引層壓板連接。
14.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)包括四個(gè)獨(dú)立的子系統(tǒng)，其包括第一個(gè)子系統(tǒng)、第二個(gè)子系統(tǒng)、第三個(gè)子系統(tǒng)和第四個(gè)子系統(tǒng)，每個(gè)子系統(tǒng)都包括所述送料器、所述收集器、所述送料輥和所述處理部分；所述的第一個(gè)子系統(tǒng)包括所述處理部分，其是一個(gè)碾壓部分，用于將光敏抗腐蝕薄膜碾壓到所述金屬層壓板上；所述的第二個(gè)子系統(tǒng)包括所述處理部分，其是一個(gè)曝光部分，用于通過(guò)所述光掩膜在光底下讓所述抗腐蝕薄膜曝光，固化所述薄膜中被選中的部分；所述的第三個(gè)子系統(tǒng)包括所述處理部分，其是一個(gè)顯影和腐蝕部分，用于對(duì)所述抗腐蝕薄膜進(jìn)行顯影，去掉所述薄膜沒(méi)有固化的部分，隨后腐蝕沒(méi)有被所述薄膜的固化部分覆蓋的那部分金屬箔，在所述基片上產(chǎn)生所述金屬箔構(gòu)成的一個(gè)電路圖形；所述的第四個(gè)子系統(tǒng)包括有所述處理部分，其是一個(gè)表面處理部分，用于對(duì)所述電路圖形進(jìn)行表面處理，在它上面產(chǎn)生一個(gè)鈍化層。
15.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述處理部分包括四個(gè)連續(xù)的處理部分，其排列在所述送料器和收集器之間，所述的四個(gè)連續(xù)的處理部分包括一個(gè)碾壓部分，用于將光敏抗腐蝕薄膜碾壓到所述金屬包裹層壓板上；一個(gè)曝光部分，用于通過(guò)光掩膜在光底下讓所述抗腐蝕薄膜曝光，以固化所述抗腐蝕薄膜中被選中的部分；一個(gè)顯影和腐蝕部分，用于對(duì)所述抗腐蝕薄膜進(jìn)行顯影，去掉所述抗腐蝕薄膜沒(méi)有固化的部分，隨后腐蝕所述抗腐蝕薄膜的固化部分沒(méi)有覆蓋的那一部分金屬箔，在所述基片上產(chǎn)生所述金屬箔構(gòu)成的一個(gè)電路圖形；和一個(gè)表面處理部分，用于對(duì)所述電路圖形進(jìn)行表面處理，在它上面產(chǎn)生一個(gè)鈍化層。
16.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中所述金屬包裹層壓板提供有一些位置標(biāo)記，其沿著所述層壓板的長(zhǎng)度方向以一規(guī)則的間隔分布，所述系統(tǒng)還包括一個(gè)切割裝置，該切割裝置包括一第二個(gè)送料器，用于從所述層壓板的一卷沿著第二條輸送路徑連續(xù)地輸送形成了所述電路圖形的所述層壓板；一對(duì)第二送料輥，間隔放置在所述第二輸送路徑上，與所述層壓板直接接觸，以便給它一個(gè)張力，利用這個(gè)張力，所述層壓板在所述第二送料輥對(duì)之間平整地展開(kāi)，第二送料輥之一是一個(gè)主動(dòng)輥，其能夠有選擇地驅(qū)動(dòng)所述層壓板和停止所述層壓板的移動(dòng)；一個(gè)切割機(jī)，其在所述第二個(gè)送料輥的后面，用于將所述層壓板切割成分別形成了所述電路圖形的許多電路板；一個(gè)位置檢測(cè)器，其在所述第二送料輥對(duì)之間，用于檢測(cè)所述位置標(biāo)記，并且在檢測(cè)到所述位置標(biāo)記的時(shí)候給出一個(gè)位置信號(hào)；一個(gè)控制器，與所述主動(dòng)輥、所述位置檢測(cè)器和所述切割器連接，用于在檢測(cè)到所述位置信號(hào)的時(shí)候控制將所述層壓板輸送預(yù)先確定的一段長(zhǎng)度，并且在這個(gè)位置停止輸送所述層壓板，在這里切割機(jī)啟動(dòng)，從所述層壓板切割下一塊電路板。
全文摘要
一種銅包裹層壓板卷,其展開(kāi)并且直線地延伸通過(guò)送料輥,其連續(xù)地經(jīng)過(guò)下列用于制造印制電路板的(a)至(d)步驟中的一個(gè)或多個(gè)處理步驟;(a)將光致抗蝕劑沉淀在壓板上;(b)通過(guò)一個(gè)光掩膜有選擇性地使光致抗蝕劑曝光并使其硬化;(c)對(duì)該光致抗蝕劑進(jìn)行顯影,去掉未硬化的部分,隨后腐蝕暴露的金屬箔,形成電路圖形;及(d)在電路圖形上形成一保護(hù)層。
文檔編號(hào)H05K3/06GK1339244SQ99816528
公開(kāi)日2002年3月6日 申請(qǐng)日期1999年11月18日 優(yōu)先權(quán)日1999年3月26日
發(fā)明者福本恭文, 北川修次, 河野啓太, 大口哲哉, 石黑宏幸, 北村武士 申請(qǐng)人:松下電工株式會(huì)社