第1疊層體側(cè)。即，優(yōu)選在第1疊層體中形成保護(hù)膜形成膜3之后，在保護(hù)膜形成膜3的 露出面形成第2粘合劑層222。進(jìn)行半切的情況下，優(yōu)選將保護(hù)膜形成膜3及第2粘合劑層222 一起進(jìn)行半切。
[0157] 另外，圖3所示的保護(hù)膜形成用復(fù)合片1B也可以基本上與保護(hù)膜形成用復(fù)合片1同 樣地進(jìn)行制造，但優(yōu)選在將剝離片4剝離之后，在保護(hù)膜形成膜3的與粘合片2相反側(cè)的周緣 部形成夾具用粘合劑層5。
[0158] 6.保護(hù)膜形成用復(fù)合片的使用方法
[0159] 以下，針對(duì)使用本實(shí)施方式的保護(hù)膜形成用復(fù)合片1，作為一例而由作為工件的半 導(dǎo)體晶片制造帶保護(hù)膜的芯片的方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，將保護(hù)膜形成用復(fù)合片1的剝離片4 剝離，使保護(hù)膜形成膜3及粘合片2的粘合劑層22的周緣部露出。
[0160] 然后，如圖4所示，將保護(hù)膜形成膜3貼合于半導(dǎo)體晶片6,并將粘合劑層22的周緣 部貼合于環(huán)狀框7。在將保護(hù)膜形成膜3貼合于半導(dǎo)體晶片6時(shí)，可以根據(jù)需要對(duì)保護(hù)膜形成 膜3進(jìn)行加熱，以使其發(fā)揮出粘合性。
[0161] 接著，使保護(hù)膜形成膜3固化而形成保護(hù)膜。保護(hù)膜形成膜3為熱固性粘接劑的情 況下，將保護(hù)膜形成膜3在給定溫度下加熱適當(dāng)?shù)臅r(shí)間即可。
[0162] 在如上所述地利用固化后的保護(hù)膜形成膜3形成保護(hù)膜之后，對(duì)于該保護(hù)膜，隔著 粘合片2照射激光而進(jìn)行激光打印。保護(hù)膜的激光照射部分發(fā)生顏色變化，并以此狀態(tài)被打 印。作為激光，通?？墒褂貌ㄩL(zhǎng)532nm或1064nm的激光。
[0163] 在本實(shí)施方式的保護(hù)膜形成用復(fù)合片1中，粘合片2在上述波長(zhǎng)的透光率為25~ 85%，由此，粘合片2的激光照射部分的材料會(huì)發(fā)生分解/蒸發(fā)，從而形成貫穿粘合片2的細(xì) 孔。因此，即使因激光打印而從保護(hù)膜產(chǎn)生了氣體，由于可使氣體經(jīng)由該細(xì)孔而脫離，因此 可有效地抑制在粘合片2與保護(hù)膜之間產(chǎn)生氣體積存。由此，形成于保護(hù)膜的打印文字的視 覺(jué)辨認(rèn)性良好，并且，可確保粘合片2與保護(hù)膜的密合性，從而能夠抑制在之后進(jìn)行的切割 工序中芯片從粘合片2上脫落。
[0164] 在上述的激光打印完成之后，按照常規(guī)方法對(duì)半導(dǎo)體晶片6進(jìn)行切割，得到具有經(jīng) 過(guò)了激光打印的保護(hù)膜的芯片(帶保護(hù)膜的芯片）。然后，根據(jù)需要將粘合片2沿平面方向擴(kuò) 張，從粘合片2拾取帶保護(hù)膜的芯片。
[0165] 以上進(jìn)行了說(shuō)明的實(shí)施方式是為了使本發(fā)明易于理解而記載的，其并不是用于限 定本發(fā)明的記載。因此，上述實(shí)施方式中公開(kāi)的各要素也包括在屬于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi) 所作出的一切設(shè)計(jì)變更及等同物。
[0166] 例如，在上述保護(hù)膜形成用復(fù)合片1的粘合片2的粘合劑層22的與基材21相反側(cè)的 周緣部，也可以另外設(shè)置用于粘接環(huán)狀框6等夾具的夾具用粘合劑層。
[0167] 實(shí)施例
[0168] 以下，結(jié)合實(shí)施例等對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更為詳細(xì)的說(shuō)明，但本發(fā)明的范圍并不受這些 實(shí)施例等的限定。
[0169] [實(shí)施例1]
[0170] 在實(shí)施例1中，如下所述地制造了圖1及圖5所示的保護(hù)膜形成用復(fù)合片1。
[0171] (1)包含保護(hù)膜形成膜的第1疊層體的制作
[0172]將以下的成分(a)~(f)混合，并利用甲乙酮進(jìn)行稀釋使得固體成分濃度達(dá)到50質(zhì) 量％，制備了保護(hù)膜形成膜用涂布劑。
[0173] (a)粘合劑聚合物：（甲基）丙烯酸酯共聚物（由丙烯酸丁酯55質(zhì)量份、丙烯酸甲酯 10質(zhì)量份、丙烯酸2-羥基乙酯15質(zhì)量份、及甲基丙烯酸縮水甘油酯20質(zhì)量份共聚而得到的 共聚物，重均分子量:80萬(wàn)）17質(zhì)量份(換算成固體成分，下同）
[0174] (b)熱固性成分:混合環(huán)氧樹(shù)脂(液態(tài)雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂(環(huán)氧當(dāng)量180-200)60質(zhì)量 份、固態(tài)雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂(環(huán)氧當(dāng)量800-900)10質(zhì)量份、及雙環(huán)戊二烯型環(huán)氧樹(shù)脂(環(huán)氧當(dāng) 量274-286) 30質(zhì)量份的混合物）17質(zhì)量份
[0175] (c)固化劑：雙氰胺（旭電化株式會(huì)社制:Adeka Hardener 3636AS)0.3質(zhì)量份、及 2-苯基-4，5-二(羥基甲基)咪唑（四國(guó)化成工業(yè)株式會(huì)社制:CUREZ0L2PHZ) 0.3質(zhì)量份
[0176] (d)著色劑:炭黑(三菱化學(xué)株式會(huì)社制:#MA650，平均粒徑:28nm) 2質(zhì)量份
[0177] (e)硅烷偶聯(lián)劑：γ-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷（信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制： 仙1-403，甲氧基當(dāng)量:12.7臟〇1/^，分子量:236.3)0.4質(zhì)量份
[0178] (f)填料:不規(guī)則形狀二氧化硅填料(平均粒徑:3μπι)63質(zhì)量份
[0179]準(zhǔn)備了在厚度38μπι的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜的一面形成有機(jī)硅類的剝離 劑層而成的第1剝離片(琳得科株式會(huì)社制：SP-PET381031)、和在厚度38μπι的PET膜的一面 形成有機(jī)硅類的剝離劑層而成的第2剝離片(琳得科株式會(huì)社制:SP-PET381130)。
[0180] 首先，利用刮刀式涂布機(jī)在第1剝離片的剝離面上涂布前面所述的保護(hù)膜形成膜 用涂布劑并進(jìn)行干燥、使得最終得到的保護(hù)膜形成膜的厚度達(dá)到25μπι，形成了保護(hù)膜形成 膜。然后，將第2剝離片的剝離面與保護(hù)膜形成膜疊合并使兩者貼合，得到了由第1剝離片 (圖1中的剝離片4)、保護(hù)膜形成膜(圖1中的保護(hù)膜形成膜3)(厚度:25μπι)及第2剝離片構(gòu)成 的疊層體。該疊層體為長(zhǎng)條狀，經(jīng)卷取而得到卷繞體。
[0181] 將上述得到的長(zhǎng)條的疊層體的卷繞體裁切為寬度方向300mm(圖5中以W1表示）。接 著，對(duì)于上述疊層體，以從第2剝離片側(cè)切割第2剝離片及保護(hù)膜形成膜的方式連續(xù)地對(duì)該 疊層體的寬度方向中央部實(shí)施圓形(直徑cU: 220mm;圖5中的符號(hào)301)的半切。然后，將相對(duì) 于經(jīng)半切而形成的圓形而言存在于外側(cè)的第2剝離片及保護(hù)膜形成膜除去。由此，得到了在 第1剝離片的剝離面上疊層有圓形的保護(hù)膜形成膜、并在其上疊層有圓形的第2剝離片的第 1疊層體。
[0182] (2)包含粘合片的第2疊層體的制作
[0183]將以下的成分(g)及(h)混合，并利用甲乙酮進(jìn)行稀釋使得固體成分濃度達(dá)到30質(zhì) 量％，制備了粘合劑層用涂布劑。
[0184] (g)粘合主劑：（甲基）丙烯酸酯共聚物（由丙烯酸丁酯40質(zhì)量份、丙烯酸2-乙基己 酯55質(zhì)量份、及丙烯酸2-羥基乙酯5質(zhì)量份共聚而得到的共聚物，重均分子量:60萬(wàn)）100質(zhì) 量份
[0185] (h)交聯(lián)劑：芳香族系多異氰酸酯化合物（三井化學(xué)株式會(huì)社制，Takenate D1 10N) 10質(zhì)量份
[0186] 準(zhǔn)備了在厚度38μπι的PET膜的一面形成有機(jī)硅類的剝離劑層而成的剝離片（琳得 科株式會(huì)社制：SP-PET381031)、和作為基材的對(duì)藍(lán)色聚氯乙烯膜(Okamoto株式會(huì)社制，厚 度:80μπι)的一面實(shí)施電暈處理而成的材料。
[0187] 首先，利用刮刀式涂布機(jī)在剝離片的剝離面上涂布前面所述的粘合劑層用涂布劑 并進(jìn)行干燥、使得最終得到的粘合劑層的厚度達(dá)到?〇μπι，形成了粘合劑層。然后，將上述基 材的電暈處理面與粘合劑層疊合并使兩者貼合，得到了由包含基材（圖1中的基材21)及粘 合劑層(圖1中的粘合劑層22)(厚度:10μπι)的粘合片（圖1中的粘合片1)和剝離片構(gòu)成的第2 疊層體。該疊層體為長(zhǎng)條狀，在經(jīng)卷取而得到卷繞體之后，裁切為寬度方向300mm(圖5中以 wi表不）。
[0188] (3)保護(hù)膜形成用復(fù)合片的制作
[0189] 從上述（1)中得到的第1疊層體將圓形的第2剝離片剝離，使圓形的保護(hù)膜形成膜 露出。另一方面，從上述(2)中得到的第2疊層體將剝離片剝離，使粘合劑層露出。以使上述 保護(hù)膜形成膜與上述粘合劑層接觸的方式將第1疊層體和第2疊層體貼合，得到了由包含基 材及粘合劑層的粘合片、保護(hù)膜形成膜及第1剝離片疊層而成的第3疊層體。
[0190] 接著，對(duì)于第3疊層體，以從上述基材側(cè)切割粘合片(基材及粘合劑層)的方式實(shí)施 半切。具體而言，如圖5所示，在形成比上述圓形的保護(hù)膜形成膜(直徑d1:220mm)大的同心 圓的圓形(直徑d2:270mm;圖5中的符號(hào)201)(圓形的粘合片）的同時(shí)，形成了相對(duì)于該圓形 朝向外側(cè)具有20mm間隔（圖5中以w2表示）的圓弧（圖5中的符號(hào)202)。另外，在相鄰的圓形彼 此間形成與第3疊層體的寬度方向端部平行的2條直線（圖5中的符號(hào)203)，并利用該直線而 將相鄰的上述圓弧連結(jié)。
[0191] 然后，將上述圓形的粘合片與上述圓弧之間的部分、以及被上述2條直線夾入的部 分除去，得到了圖1及圖5所示的保護(hù)膜形成用復(fù)合片。
[0192] [實(shí)施例2]
[0193]除使用了淺黑色聚氯乙稀膜(Okamoto公司制，厚度:50μπι)作為基材以外，與實(shí)施 例1同樣地制造了保護(hù)膜形成用復(fù)合片。
[0194][實(shí)施例3]
[0195]除使用了藍(lán)色PET/聚乙稀復(fù)合膜(Asia Aluminum公司制，厚度：100μπι)作為基材 以外，與實(shí)施例1同樣地制造了保護(hù)膜形成用復(fù)合片。
[0196] [實(shí)施例4]
[0197] 在實(shí)施例4中，如下所述地制造了圖2及圖5所示的保護(hù)膜形成用復(fù)合片1Α。
[0198] (1)包含保護(hù)膜形成膜的第1疊層體的制作
[0199] 將以下的成分（i)及(j)混合，并利用甲乙酮進(jìn)行稀釋使得固體成分濃度達(dá)到50質(zhì) 量％，制備了第2粘合劑層用涂布劑。
[0200] (i)粘合主劑:能量線固化型丙烯酸類共聚物(使由丙烯酸2-乙基己酯80質(zhì)量份及 丙烯酸2-羥基乙酯20質(zhì)量份共聚而成的共聚物與2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯21.4質(zhì) 量份(使得相對(duì)于丙烯酸2-羥基乙酯的羥基，2-甲基丙烯酰氧基乙基異氰酸酯的異氰酸酯 基為80摩爾％的量)反應(yīng)而得到的共聚物，重均分子量:60萬(wàn)）100質(zhì)量份
[0201] (j)交聯(lián)劑:芳香族系多異氰酸酯化合物(T0Y0CHEM公司制，BHS8515) 0.5質(zhì)量份
[0202] 與實(shí)施例1同樣地在第1剝離片的剝離面上形成了保護(hù)膜形成膜。另一方面，利用 刮刀式涂布機(jī)在第2剝離片的剝離面上涂布前面所述的第2粘合劑層用涂布劑并進(jìn)行干燥、 使得最終得到的第2粘合劑層的厚度達(dá)到ΙΟμπι，形成了第2粘合劑層。然后，將上述保護(hù)膜形 成膜與第2粘合劑層貼合，得到了由第1剝離片（圖2中的剝離片4)、保護(hù)膜形成膜（圖2中的 保護(hù)膜形成膜3)(厚度:25μπι)、第2粘合劑層（圖2中的第2粘合劑層222)(厚度：10μπι)及第2 剝離片構(gòu)成的疊層體。
[0203] 接著，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行裁切而實(shí)施半切，得到了在第1剝離片的剝離面上疊 層有圓形的保護(hù)膜形成膜、其上疊層有圓形的第2粘合劑層、并在其上疊層有圓形的第2剝 離片的疊層體。
[0204] 然后，對(duì)于上述疊層體的第2粘合劑層，從第2剝離片側(cè)照射紫外線（照度：140mW/cm2，光量:5lOmJ/cm2)，使第2粘合劑層固化，將其作為第1疊層體。
[0205] (2)包含粘合片的一部分的第2疊層體的制作
[0206]與實(shí)施例1同樣地在剝離片的剝離面上形成第1粘合劑層、并將基材疊層，然后進(jìn) 行裁切，由此得到了由基材（圖2中的基材21)、第1粘合劑層（圖2中的粘合劑層221)(厚度： 1〇μπι)及剝離片構(gòu)成的第2疊層體。
[0207] (3)保護(hù)膜形成用復(fù)合片的制作
[0208]從上述（1)中得到的第1疊層體將圓形的第2剝離片剝離，使第2粘合劑層露出。另 一方面，從上述⑵中得到的第2疊層體將剝離片剝離，使第1粘合劑層露出。以使上