aO 2質(zhì)量％、Al2〇3 27質(zhì)量％;軟化溫度為790°C;熱膨脹系數(shù)為32X1(T7(/K);平均粒徑 (D50)為 2.3 曲1。
[0090] (緩沖層用糊劑的制作） 向97質(zhì)量份的上述感光性糊劑中添加3質(zhì)量份的氧化鐵粉末(平均粒徑(D50)為0.1 wiO 并混煉，從而得到緩沖層用糊劑。
[0091] (巧光體糊劑A的制作） 在80°C下將30質(zhì)量份的有機粘結(jié)劑（乙基纖維素(7cp))加熱溶解在70質(zhì)量份的有機溶 劑(節(jié)醇）中，得到有機溶液2。另外，作為巧光體粉末，準備了平均粒徑(D50)為10皿的硫氧 化禮化Cb化S)。向15質(zhì)量份的有機溶液2中混合70質(zhì)量份的巧光體粉末，從而得到巧光體糊 劑A。
[0092] (巧光體糊劑B的制作） 向15質(zhì)量份的有機溶液2中混合50質(zhì)量份的巧光體粉末，從而得到巧光體糊劑B。
[0093] (透光層糊劑A的制作） 向15質(zhì)量份的有機溶液2中混合5質(zhì)量份的巧光體粉末，從而得到透光層糊劑A。
[0094] (透光層糊劑B的制作） 在80°C下將30質(zhì)量份的有機粘結(jié)劑巧締酸類樹脂"才U3、；/夕乂"KC-7000;共榮社化學 株式會社制）加熱溶解在70質(zhì)量份的有機溶劑(祗品醇）中，從而得到有機溶液3。向所得有 機溶液3的總量中分散20質(zhì)量份的樹脂微粒(平均粒徑(D50)為12WI1的丙締酸類樹脂顆粒； "テ夕求積水化成品工業(yè)株式會社制），從而得到透光層糊劑B。
[00M](透光層C用粉末的制作） 作為巧光體粉末，將CsI: Tl(0.2質(zhì)量％)用布里奇曼法制成結(jié)晶，用乳鉢研碎后，用20化 m開口的過濾器進行過濾，使粒徑統(tǒng)一來獲得透光層C用粉末。
[0096] (實施例1) 在IOOmmX IOOmm的玻璃基板(0A-10;日本電氣硝子株式會社制;熱膨脹系數(shù)為38 X 10 ^(/K)、基板厚度為0.7mm)上，W干燥后的涂布膜厚度達到660WI1的方式用模涂機涂布上述 感光性糊劑后，用IOOC的IR干燥爐干燥4小時，從而形成感光性糊劑涂布膜。隔著具有與期 望間隔壁圖案相應(yīng)的開口部的光掩模(具有縱橫均為間距300WH、線寬20WI1的格子狀開口部 的銘掩膜），在曝光量為800mJ/cm 2的超高壓隸燈下，對所得感光性糊劑涂布膜進行曝光。作 為顯影液，使用35°C的0.5質(zhì)量％乙醇胺水溶液，在1.化g/cm 2的壓力下，對曝光后的感光性 糊劑涂布膜進行420秒鐘的噴淋顯影。進而在浸滲于顯影液的條件下照射240秒鐘的40kHz 超聲波，在1.化g/cm2的壓力下進行噴淋水洗，然后Wioor干燥10分鐘，從而形成格子狀的 感光性糊劑圖案。將所得格子狀的感光性糊劑圖案在空氣中W585°C燒成15分鐘，從而形成 具有表1所示那樣的截面形狀的格子狀間隔壁。
[0097] 使用絲網(wǎng)印刷機(7斗夕口テッ夕公司制造;使用巧光體刮板;絲網(wǎng)模板為#200洲S mesh),在所形成的間隔壁上整面地實屯、印刷上述巧光體糊劑B，用干燥器進行真空處理后， 使用橡膠刮板刮掉從間隔壁溢出的巧光體糊劑。其后，用IOOC的熱風烘箱干燥40分鐘，從 而形成如表1所示厚度的閃爍體層中的第1層。
[0098] 進而，使用絲網(wǎng)印刷機(使用巧光體刮板;絲網(wǎng)模板為#400洲S mesh),在第1層上 整面地實屯、印刷上述透光層糊劑A，用干燥器進行真空處理后，使用橡膠刮板刮掉從間隔壁 溢出的透光層糊劑。其后，用l〇〇°C的熱風烘箱干燥40分鐘，從而形成表1所示厚度的閃爍體 層中的第2層(透光層），得到閃爍體面板1A。
[0099] 將所得閃爍體面板IA置于FPD(化xScan2520; Varian公司制），制作放射線檢測裝 置。從閃爍體面板的基板側(cè)照射管電壓為80k化的X射線，用FTO檢測閃爍體面板IA的發(fā)光量 時，能夠得到充分的發(fā)光量(將該發(fā)光量設(shè)為100)。另外，用圖像再現(xiàn)裝置對此時的實屯、圖 像進行重現(xiàn)，目視觀察所得印刷圖像，評價有無圖像缺陷、串光或線狀噪音，均未觀察到運 些缺陷。其后，從FPD卸下閃爍體面板1A，精密研磨截面，得到透光層的空隙率。將具體的評 價結(jié)果示于表1。
[0100] (實施例2) 分別將光掩模的線寬變更為lOwn，將曝光量變更為1400mJ/cm2,除此之外，利用與實施 例1相同的方法得到閃爍體面板2A。針對所得閃爍體面板2A，與實施例1同樣地制作放射線 檢測裝置并評價時，得到了超過實施例1的充分發(fā)光量，也未觀察到圖像缺陷、串光或線狀 噪音。其后，與實施例1同樣操作，得到透光層的空隙率。將具體的評價結(jié)果示于表1。
[0101] (實施例3) 分別將干燥后的感光性糊劑涂布膜的厚度變更為800WI1，將噴淋顯影時間變更為600秒 鐘，將透光層糊劑變更為透光層糊劑B，除此之外，利用與實施例2相同的方法得到閃爍體面 板3A。針對所得閃爍體面板3A，與實施例1同樣地制作放射線檢測裝置并評價時，得到了超 過實施例2的充分發(fā)光量，也未觀察到圖像缺陷、串光或線狀噪音。其后，與實施例1同樣操 作，得到透光層的空隙率。將具體的評價結(jié)果示于表1。
[0102] (實施例4) 至閃爍體層的第1層為止，均與實施例1同樣地實施。在第2層(透光層)的形成中，將透 光層C用粉末填充至巧光體的開口部分，使用加壓機WlOOMPa的壓力壓實該粉末，得到閃爍 體面板4A。針對所得閃爍體面板4A，與實施例1同樣地制作放射線檢測裝置并評價時，得到 了超過實施例1的充分發(fā)光量，也未觀察到圖像缺陷、串光或線狀噪音。其后，與實施例1同 樣操作，得到透光層的空隙率。將具體的評價結(jié)果示于表1。
[0103] (比較例1) 將第1層的巧光體糊劑變更成巧光體糊劑A，進而未形成第2層，除此之外，利用與實施 例1相同的方法得到閃爍體面板1B。針對所得閃爍體面板1B，與實施例1同樣地制作放射線 檢測裝置并評價時，未觀察到圖像缺陷、串光或線狀噪音，但發(fā)光量低于實施例1。將具體的 評價結(jié)果示于表1。
[0104] (比較例2) 將干燥后的感光性糊劑涂布膜的厚度變更成800WH，除此之外，利用與比較例1相同的 方法得到閃爍體面板2B。針對所得閃爍體面板2B，與實施例1同樣地制作放射線檢測裝置并 評價時，未觀察到圖像缺陷、串光或線狀噪音，但發(fā)光量與比較例1相比進一步降低。將具體 的評價結(jié)果示于表1。
[〇1〇引【附圖說明】 1放射線檢測裝置 2閃爍體面板 3輸出基板 4基板 5緩沖層 6間隔壁 7(a)、7(b)閃爍體層 8隔膜層 9光電轉(zhuǎn)換層 10輸出層 11基板 12電源部。
【主權(quán)項】
1. 閃爍體面板，其包含： 基板、 形成在該基板上的間隔壁、以及 填充在被該間隔壁劃分開的單元內(nèi)的閃爍體層，所述閃爍體層含有熒光體， 所述閃爍體層由含有不同濃度熒光體的多個層構(gòu)成。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的閃爍體面板，其中，形成所述閃爍體層的多個層之中，至少一 層為透光層。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的閃爍體面板，其中，所述透光層的空隙率為20%以下。4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項所述的閃爍體面板，其中，所述間隔壁為格子狀。5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的閃爍體面板，其中，所述間隔壁以玻璃作為主要成 分。6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的閃爍體面板，其中，所述間隔壁的截面為錐形。7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的閃爍體面板，其中，所述間隔壁的頂部寬度Wt為80 μπι以下。
【專利摘要】本發(fā)明為閃爍體面板，其包含基板、形成在該基板上的間隔壁、填充在被該間隔壁劃分開的單元內(nèi)的閃爍體層，所述閃爍體層含有熒光體，上述閃爍體層由熒光體的含有濃度不同的多個層構(gòu)成。本發(fā)明提供閃爍體面板，其通過形成間隔壁而提高圖像的清晰度，且能夠獲得充分的發(fā)光量。
【IPC分類】G21K4/00, A61B6/00, G01T1/20
【公開號】CN105723468
【申請?zhí)枴緾N201480063567
【發(fā)明人】藤原秀行, 內(nèi)田哲夫, 木下英樹, 秋本旭
【申請人】東麗株式會社
【公開日】2016年6月29日
【申請日】2014年11月11日
【公告號】WO2015076150A1