具有扇風(fēng)板的拉晶爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】的設(shè)備，名稱是有扇風(fēng)板的拉晶爐，它具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，所述的爐腔內(nèi)具有扇風(fēng)板，扇風(fēng)板是上面具有轉(zhuǎn)軸，下面是平面的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔頂部具有安裝裝置的掛鼻兒，所述的轉(zhuǎn)軸就安裝在掛鼻兒內(nèi)，所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部，這樣的具有扇風(fēng)板的拉晶爐可以使?fàn)t腔內(nèi)部溫度均勻、提高產(chǎn)品質(zhì)量，所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部，具有可以使?fàn)t腔內(nèi)溫度更均勻的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】具有扇風(fēng)板的拉晶爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】的設(shè)備，特別是涉及拉晶爐。

【背景技術(shù)】
[0002]拉晶爐是指半導(dǎo)體原料的分子在高溫下進(jìn)行排列整齊的裝備，拉晶爐具有架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，現(xiàn)有技術(shù)中，爐腔內(nèi)沒有可以使?fàn)t腔內(nèi)熱氣循環(huán)的裝置，致使?fàn)t腔內(nèi)溫度不均勻，影響產(chǎn)品質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種可以使?fàn)t腔內(nèi)部溫度均勻、提高產(chǎn)品質(zhì)量的拉晶爐——具有扇風(fēng)板的拉晶爐。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:具有扇風(fēng)板的拉晶爐，包括架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，其特征是:所述的爐腔內(nèi)具有扇風(fēng)板，扇風(fēng)板是上面具有轉(zhuǎn)軸，下面是平面的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔頂部具有安裝裝置的掛鼻兒，所述的轉(zhuǎn)軸就安裝在掛鼻兒內(nèi)。
[0005]進(jìn)一步地講，所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是:這樣的具有扇風(fēng)板的拉晶爐可以使?fàn)t腔內(nèi)部溫度均勻、提高產(chǎn)品質(zhì)量，所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部，具有可以使?fàn)t腔內(nèi)溫度更均勻的優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]其中:1、架子 2、爐體 3、爐腔 4、扇風(fēng)板。

【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0010]如圖1所示，具有扇風(fēng)板的拉晶爐，包括架子1，架子I上安裝有可搖擺的爐體2，爐體2內(nèi)具有爐腔3，其特征是:所述的爐腔內(nèi)具有扇風(fēng)板4，扇風(fēng)板是上面具有轉(zhuǎn)軸，下面是平面的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔頂部具有安裝裝置的掛鼻兒，所述的轉(zhuǎn)軸就安裝在掛鼻兒內(nèi)。
[0011]這樣，在使用時(shí)，由于爐體是不斷的擺動(dòng)的，扇風(fēng)板也就不斷的扇動(dòng)，增加搖擺爐內(nèi)部熱氣的循環(huán)，具有本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。
[0012]進(jìn)一步地講，所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部，這樣效果更好。
[0013]以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征并不限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實(shí)用新型的專利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.具有扇風(fēng)板的拉晶爐，包括架子，架子上安裝有可搖擺的爐體，爐體內(nèi)具有爐腔，其特征是:所述的爐腔內(nèi)具有扇風(fēng)板，扇風(fēng)板是上面具有轉(zhuǎn)軸，下面是平面的結(jié)構(gòu)，所述的爐腔頂部具有安裝裝置的掛鼻兒，所述的轉(zhuǎn)軸就安裝在掛鼻兒內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征是:所述的扇風(fēng)板是多個(gè)的，多個(gè)扇風(fēng)板排列安裝在爐腔頂部。
【文檔編號(hào)】C30B15/00GK204058652SQ201420537424
【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年9月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月19日
【發(fā)明者】陳磊, 劉栓紅, 趙麗萍, 錢俊有, 張文濤, 蔡水占, 郭晶晶, 張會(huì)超, 陳永平 申請(qǐng)人:河南鴻昌電子有限公司