流量控制閥的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型有關一種閥件，特別是指一種整體組成架構大幅簡化，以相對更為積極、可靠的手段降低污染風險的流量控制閥。
【背景技術】
[0002]一般的光罩、或晶圓片等半導體物料為避免遭受異物污染，多數(shù)會置入于盒體中保存，且為避免上述物料于儲存時遭氧化或污染，會再進一步于儲存空間內充填非氧化性氣體、超潔凈氣體(Xtra Clean Dry Air, XCDA)等惰性氣體，并且最好在一段時間內重復充填惰性氣體，確保盒體內的環(huán)境質量。
[0003]已知可將用以儲存光罩、或晶圓片等半導體物料的光罩儲存設備以圖1所示的機臺型態(tài)呈現(xiàn)，類似的光罩儲存設備基本上設有一供導入惰性氣體的充氣盤21作為承載光罩10的機械結構體，另設有一可與該充氣盤21對應開闔的艙罩22將充氣盤21上的光罩10覆蓋，由艙罩22及充氣盤21構成供存放光罩10的儲存空間。
[0004]上述充氣盤21且透過高壓管路23與相對位于遠程的氣體源頭24連接，使得以經(jīng)由高壓管路23將惰性氣體輸入充氣盤21上方的儲存空間內；受限于儲存空間必須盡可能維持在超潔凈的環(huán)境質量，傳統(tǒng)的作法是在氣體源頭24的開關(閥門)開啟后，即讓惰性氣體不斷的輸入儲存空間內?？v使在光罩儲存設備的艙罩22已被開啟的狀態(tài)下，惰性氣體仍不斷經(jīng)由高壓管路23釋出，導致惰性氣體不斷流失，造成極大的浪費。
[0005]然而，目前坊間既有習用的流量控制閥多是利用外部動力、電力、磁鐵或彈簧等組件操控或驅動，由于所要整合的組件相對復雜繁瑣，不但所有組件的外觀型體較不容易清潔且亦容易累積粉塵；另外，整體流量控制閥所包含的構件越多，越容易在動作過程中，產(chǎn)生微?；蚍蹓m等污染源。
[0006]因此，如何提供一種組成架構相對較為簡單，且在同一機械結構主體當中整合有驅動構造的流量控制閥，而得以應用在類似需要維持超潔凈環(huán)境質量的設備，長久以來一直是產(chǎn)業(yè)界及學術界所亟欲解決的課題。
【實用新型內容】
[0007]本實用新型的主要目的，即在提供一種整體組成架構大幅簡化，以相對更為積極、可靠的手段降低污染風險的流量控制閥。
[0008]本實用新型的流量控制閥，基本上包括:一閥本體，為內部形成一容置室的塊狀結構體，該容置室與該閥本體一外側面相通形成一組裝口，該閥本體的外側面另設有一與該容置室相通的進氣接口、一與該容置室相通的出氣接口；一軸座，固設于該閥本體的組裝口處，該軸座設有一與該容置室相通的軸孔；一導流體，固設于該閥本體的容置室內部將該出氣接口遮蔽的位置，該導流體設有一與該軸孔相對應的第一導氣孔，以及一連接該第一導氣孔與該出氣接口之間的第二導氣孔；一推桿，以可與該軸座相對軸向位移的型態(tài)穿設于該軸座的軸孔及該導流體的第一導氣孔處，該推桿供于該導流體往復軸向的區(qū)段外徑小于該第一導氣孔的孔徑，該推桿相對伸出該導流體的尾端且設有一可供將第一導氣孔遮蔽的塞件。
[0009]本實用新型的流量控制閥，于使用時，以推桿伸出閥本體的一端伸入應用設備的操作部件行程的型態(tài)，將閥本體固定于應用設備端的結構主體上，另透過高壓管路連接于閥本體的進氣接口與氣體源頭之間，以及連接于閥本體的出氣接口與應用設備之間；整個流量控制閥不需要另外加裝其他控制組件，即可受應用設備端的操作部件推觸而產(chǎn)生氣體是否得以經(jīng)出氣接口流入應用設備的流量控制效果，不但整體流量控制閥的組成架構得以大幅簡化，更能夠以相對較為積極、可靠的手段降低污染風險。
[0010]進一步的，所述閥本體于其設有組裝口的外側面設有多個裝配孔。
[0011]進一步的，所述推桿相對伸出該閥本體的尾端設有一螺牙區(qū)段，另于該螺牙區(qū)段處螺設有一帽蓋。
[0012]進一步的，所述流量控制閥于該軸座與該推桿之間襯設有至少一氣密墊圈。
[0013]進一步的，所述閥本體于該組裝口的內圈設有內螺牙，該軸座的外圍設有供與該組裝口的內螺牙相螺合的外螺牙。
[0014]進一步的，所述閥本體于該進氣接口處及該出氣接口處，分別設有一相對凸出其外側面的管接頭。
[0015]進一步的，所述流量控制閥于該軸座與該推桿之間襯設有至少一氣密墊圈；該推桿相對伸出該閥本體的尾端設有一螺牙區(qū)段，另于該螺牙區(qū)段處螺設有一帽蓋；以及，該閥本體于其設有組裝口的外側面設有多個裝配孔，于該進氣接口處及該出氣接口處，分別設有一相對凸出其外側面的管接頭。
[0016]本實用新型所揭露的流量控制閥，由于不需要另外加裝其他控制組件，即可受應用設備端的操作部件推觸而產(chǎn)生氣體是否得以進入應用設備的流量控制效果，不但整體流量控制閥的組成架構得以大幅簡化，尤適合應用于如光罩儲存設備等需要維持在超潔凈環(huán)境質量的裝置或設備，以相對較為積極、可靠的手段防止所應用的裝置或設備遭受污染。
【附圖說明】
[0017]圖1為一習用光罩儲存設備的結構不意圖；
[0018]圖2為本實用新型的流量控制閥使用配置參考圖；
[0019]圖3為本實用新型第一實施例的流量控制閥結構分解圖；
[0020]圖4為本實用新型第一實施例的流量控制閥于未作動狀態(tài)下的結構剖視圖；
[0021]圖5為本實用新型第一實施例的流量控制閥于作動時應用設備的供氣狀態(tài)示意圖；
[0022]圖6為本實用新型第一實施例的流量控制閥于作動時的結構剖視圖；
[0023]圖7為本實用新型另一實施例的流量控制閥結構剖視圖。
[0024]【符號說明】
[0025]10光罩21充氣盤
[0026]22艙罩23高壓管路
[0027]24氣體源頭30流量控制閥
[0028]31閥本體311容置室
[0029]312組裝口313進氣接口
[0030]314出氣接口315內螺牙
[0031]316裝配孔317管接頭
[0032]318管接頭32軸座
[0033]321軸孔322外螺牙
[0034]33導流體331第一導氣孔
[0035]332第二導氣孔34推桿
[0036]341塞件342螺牙區(qū)段
[0037]35氣密墊圈36帽蓋。
【具體實施方式】
[0038]為了進一步解釋本實用新型的技術方案，下面通過具體實施例來對本實用新型進行詳細闡述。
[0039]如圖2所示，本實用新型主要提供一種尤適合應用于如光罩儲存設備等需要維持在超潔凈環(huán)境質量的裝置或設備，以相對較為積極、可靠的手段防止所應用的裝置或設備遭受污染的流量控制閥30，請同時配合參照圖2至圖4所示，本實用新型的流量控制閥30，基本上包括:一閥本體31、一軸座32、一導流體33，以及一推桿34 ;其中:
[0040]該閥本體31為內部形成一容置室311的塊狀結構體，該容置室311與該閥本體31一外側面相通形成一組裝口 312，該閥本體31的外側面另設有一與該容置室311相通的進氣接口 313、一與該容置室311相通的出氣接口 314。
[0041]該軸座32固設于該閥本體31的組裝口 312處，該軸座32設有一與該容置室311相通的軸孔321 ;于實施時，整體流量控制閥30可于該軸座32與該推桿34之間襯設有至少一氣密墊圈35，以增加軸座32與閥本體31的密合效果；