流量控制閥的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)一種閥件，特別是指一種整體組成架構(gòu)大幅簡(jiǎn)化，以相對(duì)更為積極、可靠的手段降低污染風(fēng)險(xiǎn)的流量控制閥。
【背景技術(shù)】
[0002]按，一般的光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料為避免遭受異物污染，多數(shù)會(huì)置入于盒體中保存，且為避免上述物料于儲(chǔ)存時(shí)遭氧化或污染，會(huì)再進(jìn)一步于儲(chǔ)存空間內(nèi)充填非氧化性氣體、超潔凈氣體(Xtra Clean Dry Air , XCDA)等惰性氣體，并且最好在一段時(shí)間內(nèi)重復(fù)充填惰性氣體，確保盒體內(nèi)的環(huán)境質(zhì)量。
[0003]已知可將用以儲(chǔ)存光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料的光罩儲(chǔ)存設(shè)備以圖1所示的機(jī)臺(tái)型態(tài)呈現(xiàn)，類似的光罩儲(chǔ)存設(shè)備基本上設(shè)有一供導(dǎo)入惰性氣體的充氣盤21作為承載光罩10的機(jī)械結(jié)構(gòu)體，另設(shè)有一可供與該充氣盤21對(duì)應(yīng)開闔的艙罩22將充氣盤21上的光罩10覆蓋，使由艙罩22及充氣盤21構(gòu)成一供存放光罩10的儲(chǔ)存空間。
[0004]上述充氣盤21且透過高壓管路23與相對(duì)位于遠(yuǎn)程的氣體源頭24連接，使得以經(jīng)由高壓管路23將惰性氣體輸入充氣盤21上方的儲(chǔ)存空間內(nèi)；受限于儲(chǔ)存空間必須盡可能維持在超潔凈的環(huán)境質(zhì)量，傳統(tǒng)的作法是在氣體源頭24的開關(guān)(閥門)開啟后，即讓惰性氣體不斷的輸入儲(chǔ)存空間內(nèi)?？v使在光罩儲(chǔ)存設(shè)備的艙罩22已被開啟的狀態(tài)下，惰性氣體仍不斷經(jīng)由高壓管路23釋出，導(dǎo)致惰性氣體不斷流失，造成極大的浪費(fèi)。
[0005]然而，目前坊間既有習(xí)用的流量控制閥多是利用外部動(dòng)力、電力、磁鐵或彈簧等組件操控或驅(qū)動(dòng)，由于所要整合的組件相對(duì)復(fù)雜繁瑣，不但所有組件的外觀型體較不容易清潔且亦容易累積粉塵；另外，整體流量控制閥所包含的構(gòu)件越多，越容易在動(dòng)作過程中，產(chǎn)生微粒或粉塵等污染源。
[0006]因此，如何提供一種組成架構(gòu)相對(duì)較為簡(jiǎn)單，且在同一機(jī)械結(jié)構(gòu)主體當(dāng)中整合有驅(qū)動(dòng)構(gòu)造的流量控制閥，使得以應(yīng)用在類似需要維持在超潔凈的環(huán)境質(zhì)量的設(shè)備，長(zhǎng)久以來一直是業(yè)界及學(xué)術(shù)界所亟欲解決的課題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型的主要目的，即在提供一種整體組成架構(gòu)大幅簡(jiǎn)化，以相對(duì)更為積極、可靠的手段降低污染風(fēng)險(xiǎn)的流量控制閥。
[0008]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型的解決方案是:
[0009]一種流量控制閥，包括:
[0010]一閥本體，為內(nèi)部形成一容置室的塊狀結(jié)構(gòu)體，該容置室與該閥本體一外側(cè)面相通形成一組裝口，該閥本體的外側(cè)面另設(shè)有一與該容置室相通的進(jìn)氣接口、一與該容置室相通的出氣接口；
[0011]一軸座，固設(shè)于該閥本體的組裝口處，該軸座貫穿一與該容置室相通的軸孔；
[0012]一浮球，以可于該容置室內(nèi)往返位移的方式設(shè)于該容置室內(nèi)，該浮球與該容置室的內(nèi)壁之間形成可供氣體通過的間隙；
[0013]一推桿，以可與該軸座相對(duì)位移的型態(tài)穿設(shè)于該軸座的軸孔處，該推桿的一端且深入該容置室供與該浮球相接抵；
[0014]以及，該進(jìn)氣接口于該容置室相對(duì)于該組裝口的另端與該容置室相通；該出氣接口于可被該浮球遮蔽的位置與該容置室相通，且該出氣接口及該進(jìn)氣接口與該容置室相通的位置中間具有一段可供該浮球進(jìn)入的移動(dòng)行程。
[0015]進(jìn)一步，該推桿相對(duì)伸出該閥本體的尾端設(shè)有一螺牙區(qū)段，另于該螺牙區(qū)段處螺設(shè)有一帽蓋。
[0016]進(jìn)一步，該推桿相對(duì)伸出該閥本體的尾端設(shè)有一螺牙區(qū)段，于該螺牙區(qū)段處螺設(shè)有一帽蓋，以及一供限制該帽蓋轉(zhuǎn)動(dòng)的定位螺帽。
[0017]進(jìn)一步，該流量控制閥于該軸座與該閥本體之間襯設(shè)有至少一氣密墊圈。
[0018]進(jìn)一步，該閥本體于該組裝口的內(nèi)圈設(shè)有內(nèi)螺牙，該軸座的外圍設(shè)有供與該組裝口的內(nèi)螺牙相螺合的外螺牙。
[0019]進(jìn)一步，該閥本體于其設(shè)有組裝口的外側(cè)面設(shè)有多個(gè)裝配孔。
[0020]進(jìn)一步，該閥本體于該進(jìn)氣接口處及該出氣接口處，分別設(shè)有一相對(duì)凸出其外側(cè)面的管接頭。
[0021]進(jìn)一步，該流量控制閥于該閥本體的進(jìn)氣接口處連接一高壓管路，于該高壓管路處設(shè)有一流量計(jì)。本實(shí)用新型的流量控制閥，于使用時(shí)，以推桿伸出閥本體的一端伸入應(yīng)用設(shè)備的操作部件行程的型態(tài)，將閥本體固定于應(yīng)用設(shè)備端的結(jié)構(gòu)主體上，另透過多個(gè)高壓管路分別連接于閥本體的進(jìn)氣接口與氣體源頭之間，以及連接于閥本體的出氣接口與應(yīng)用設(shè)備之間；整個(gè)流量控制閥不需要另外加裝其他控制組件，即可受應(yīng)用設(shè)備端的操作部件推觸而產(chǎn)生氣體是否得以經(jīng)出氣接口流入應(yīng)用設(shè)備的流量控制效果，不但整體流量控制閥的組成架構(gòu)得以大幅簡(jiǎn)化，更能夠以相對(duì)較為積極、可靠的手段降低污染風(fēng)險(xiǎn)。
[0022]本實(shí)用新型所揭露的流量控制閥，不需要另外加裝其他控制組件，即可受應(yīng)用設(shè)備端的操作部件推觸而產(chǎn)生氣體是否得以進(jìn)入應(yīng)用設(shè)備的流量控制效果，不但整體流量控制閥的組成架構(gòu)得以大幅簡(jiǎn)化，尤適合應(yīng)用于如光罩儲(chǔ)存設(shè)備等需要維持在超潔凈環(huán)境質(zhì)量的裝置或設(shè)備，以相對(duì)較為積極、可靠的手段防止所應(yīng)用的裝置或設(shè)備遭受污染。
【附圖說明】
[0023]圖1為一習(xí)用光罩儲(chǔ)存設(shè)備的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型的流量控制閥使用配置參考圖；
[0025]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的流量控制閥結(jié)構(gòu)分解圖；
[0026]圖4為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的流量控制閥于未動(dòng)作狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0027]圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的流量控制閥于動(dòng)作時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0028]圖6為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的流量控制閥于動(dòng)作時(shí)應(yīng)用設(shè)備的供氣狀態(tài)示意圖；
[0029]圖7為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的流量控制閥于未動(dòng)作狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0030]圖8為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的流量控制閥于調(diào)整帽蓋位置后的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0031]圖9為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的流量控制閥于動(dòng)作時(shí)的結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0032]圖10為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的流量控制閥使用配置參考圖。
[0033]【符號(hào)說明】
[0034]先前技術(shù):
[0035]10光罩21充氣盤
[0036]22艙罩23高壓管路
[0037]24氣體源頭
[0038]本實(shí)用新型:
[0039]30流量控制閥31閥本體
[0040]311容置室312組裝口
[0041]313進(jìn)氣接口314出氣接口
[0042]315內(nèi)螺牙316裝配孔
[0043]317管接頭318管接頭
[0044]32軸座321軸孔
[0045]322外螺牙33浮球
[0046]34推桿341螺牙區(qū)段
[0047]35氣密墊圈36帽蓋
[0048]361定位螺帽37高壓管路
[0049]38流量計(jì)。
【具體實(shí)施方式】
[0050]為了進(jìn)一步解釋本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面通過具體實(shí)施例來對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0051]如2圖所示，本實(shí)用新型主要提供一種尤適合應(yīng)用于如光罩儲(chǔ)存設(shè)備等需要維持在超潔凈環(huán)境質(zhì)量的裝置或設(shè)備，以相對(duì)較為積極、可靠的手段防止所應(yīng)用的裝置或設(shè)備遭受污染的流量控制閥30，請(qǐng)同時(shí)配合參照?qǐng)D2至圖4所示，本實(shí)用新型的流量控制閥30，基本上包括:一閥本體31、一軸座32、一浮球33，以及一推桿34 ;其中:
[0052]該閥本體31為內(nèi)部形成一容置室311的塊狀結(jié)構(gòu)體，該容置室311與該閥本體31一外側(cè)面相通形成一組裝口 312，該閥本體31的外側(cè)面另設(shè)有一與該容置室311相通的進(jìn)氣接口 313、一與該容置室311相通的出氣接口 314。
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