1.一種微小電子元件測試分光設(shè)備,包括機架(1)、設(shè)置在機架(1)上的上料模塊(2)、設(shè)置在上料模塊(2)后的轉(zhuǎn)盤模塊(3)、對轉(zhuǎn)盤模塊(3)上的電子元件進行測試的測試模塊(4),以及落料模塊(5),其特征在于,
轉(zhuǎn)盤模塊(3)包括數(shù)個側(cè)吸附式吸嘴(30),側(cè)吸附式吸嘴(30)包括吸嘴本體(302)和用于放置被檢測元件的吸嘴托板(303),所述吸嘴本體(302)設(shè)置在所述吸嘴托板(303)的上表面,且所述吸嘴托板(303)部分伸出于所述吸嘴本體(302)的前端,所述吸嘴本體(302)內(nèi)設(shè)有用于與氣源相接的氣體通道(321),所述氣體通道(321)的被測元件接觸端(3210)所在的平面與吸嘴托板(303)相垂直,所述吸嘴托板(303)的至少與被檢測元件接觸的部位是由透光材料制成的;
測試模塊(4)包括兩兩垂直的X軸驅(qū)動單元、Y軸驅(qū)動單元和Z軸驅(qū)動單元(41),以及設(shè)在Z軸驅(qū)動單元上的探針檢測組件(40),所述探針檢測組件(40)包括探針固定件(402)、數(shù)根探針(401),以及供探針固定件(402)移動的滑軌(403),數(shù)根所述探針(401)的下端面在同一水平面上且與待測試樣品上的銅箔點相吻合;所述Z軸驅(qū)動單元(41)工作時,帶動探針(401)沿滑軌(403)移動從而接觸或者遠離待測試樣品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:在氣體通道的端口(3211)的一側(cè)設(shè)有用于限定被測元件的位置的擋塊(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述吸嘴本體(302)通過第一螺釘(71)固定在所述吸嘴托板(303)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述吸嘴托板(303)包括底板(3031)、墊圈(3033)和用于與被檢測元件接觸的接觸板(3032),所述底板(3031)上設(shè)有與所述接觸板(3032)相吻合的容置部(310),所述接觸板(3032)通過所述墊圈(3033)設(shè)置在所述容置部(310)內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述接觸板(3032)是由透光材料制成的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述底板(3031)是由陶瓷材料制成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述底板(3031)和接觸板(3032)上分別設(shè)有銷孔,所述接觸板(3032)通過插銷固定在所述底板(3031)的容置部(310)內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的微小電子元件測試分光設(shè)備,其特征在于:所述Z軸驅(qū)動單元(41)包括伺服電機(411)和與伺服電機(411)的輸出軸連接的凸輪結(jié)構(gòu)(412),所述凸輪結(jié)構(gòu)(412)在伺服電機(411)的驅(qū)動下帶動探針(401)沿滑軌(403)移動。