專利名稱：通風(fēng)蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械制造領(lǐng)域，尤其涉及一種通風(fēng)蓋。
背景技術(shù)：
在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口 (SMIF)的機(jī)器的內(nèi)部， 一般會(huì)用一風(fēng)扇單元將生產(chǎn)中可能 產(chǎn)生的雜質(zhì)小顆粒抽取出來(lái)，提供一個(gè)良好的生產(chǎn)環(huán)境，被抽取出來(lái)的雜質(zhì)小 顆粒一般都會(huì)落在機(jī)器的底部，然后由工作人員定期的清理，雜質(zhì)小顆粒掉落 的環(huán)境是一個(gè)密封的環(huán)境，由一全封閉的蓋子密封。這樣的設(shè)計(jì)常常會(huì)現(xiàn)出一 些問題，首先，風(fēng)扇單元吹出來(lái)的風(fēng)進(jìn)入一密封的環(huán)境后，會(huì)產(chǎn)生回流，尤其 當(dāng)風(fēng)扇單元吹出來(lái)的風(fēng)稍大時(shí)，回流現(xiàn)象更加的明顯，回流會(huì)向上，抵消風(fēng)扇 單元的吹出的往下的風(fēng)力，從而影響風(fēng)扇單元排出雜質(zhì)小顆粒的效果；其次， 機(jī)臺(tái)內(nèi)部的雜質(zhì)小顆粒主要來(lái)自SMIF晶盒承栽臺(tái)上下運(yùn)作的時(shí)候，承載臺(tái)及晶 盒都會(huì)有一個(gè)開合的動(dòng)作，若晶盒底部或內(nèi)部有雜質(zhì)小顆粒，在一定程度上會(huì) 掉入承載臺(tái)內(nèi)部，在機(jī)器內(nèi)部回流的作用下引起雜質(zhì)小顆粒飛揚(yáng)從而污染到產(chǎn) 品，造成良率的損失。如圖l所示，現(xiàn)用的普通的蓋子12，呈全密封狀，四周 有孔11，用于插進(jìn)螺母將蓋子固定在機(jī)器上，由風(fēng)扇單元從上而下扇風(fēng)以抽取 雜質(zhì)小顆粒，風(fēng)扇單元位于機(jī)臺(tái)上方，運(yùn)作的時(shí)候把外界的空氣過濾(過濾雜 質(zhì)粉塵等)并往機(jī)臺(tái)內(nèi)部送氣(從上往下)，保證機(jī)臺(tái)內(nèi)部在一個(gè)正壓的環(huán)境。 在通常的風(fēng)扇單元提供的風(fēng)速下，經(jīng)測(cè)試，A區(qū)的風(fēng)速為0. 4-0. 45m/s，B區(qū)的風(fēng) 速為0. 36-0. 41m/s， C區(qū)的風(fēng)速為0. 15-0. 17m/s, D區(qū)的風(fēng)速為0. 35-0. 39m/s， 而若是在一個(gè)沒有封閉的環(huán)境，即沒有回流產(chǎn)生的環(huán)境中，風(fēng)扇單元提供的同 樣的風(fēng)速，A區(qū)的測(cè)試風(fēng)速最大可達(dá)到0. 52m/s，大于封閉環(huán)境中最大的0. 45m/s， 由此可見，回流現(xiàn)象是造成各區(qū)風(fēng)速變小的主要因素，而風(fēng)速的變小則會(huì)直接 影響到抽取雜質(zhì)小顆粒的效率。
實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的因封閉環(huán)境而31起回流導(dǎo)致風(fēng)速降低和回流虧1 起雜質(zhì)小顆粒揚(yáng)起可能落到產(chǎn)品上的問題，本實(shí)用新型提供一種能夠改變封閉 環(huán)境的通風(fēng)蓋。
為了實(shí)現(xiàn)上迷目的，本實(shí)用新型提出一種通風(fēng)蓋，包括主體部分；第一 支體部分和第二支體部分，所迷第一支體部分和所述第二支體部分的一側(cè)邊分
別和所述主體部分的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)邊相連，且相連形成的夾角都大于0度。 可選的，所述夾角為90度。
可選的，所述第一支體部分包括第一支撐部分和第一連接部分。
可選的，所述第一支撐部分的一邊和所述主體部分的一側(cè)邊相連，另一邊
和所述第 一連接部分相連。
可選的，所述第一支撐部分為三角形。
可選的，所述第一連接部分上有至少一個(gè)連接孔。
可選的，所述第二支體部分包括第二支撐部分和第二連接部分。
可選的，所述第二支撐部分的一邊和所述主體部分的一側(cè)邊相連，另一邊
和所述第二連接部分相連。
可選的，所述第二支撐部分為三角形。
可選的，所述第二連接部分上有至少一個(gè)連接孔。
可選的，所述主體部分為正方形或長(zhǎng)方形。
本實(shí)用新型通風(fēng)蓋的有益技術(shù)效果為本實(shí)用新型在原有技術(shù)的基礎(chǔ)上給 蓋子增加了支撐部分，使得蓋子的一側(cè)可以通風(fēng)，避免了原先因回流而使得風(fēng) 扇單元的風(fēng)速變慢，而且，很好的控制了因回流而引起雜質(zhì)小顆粒飛揚(yáng)的現(xiàn)象， 保護(hù)了產(chǎn)品不受污染，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量。


圖1為現(xiàn)有4支術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋示意圖的左視圖； 圖4為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋示意圖的主^L圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型的通風(fēng)蓋作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
首先請(qǐng)參考圖2，圖2為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋的結(jié)構(gòu)示意圖，從圖2中可以看 出，本實(shí)用新型包括蓋子的主體部分22，以及第一支體部分和第二支體部分， 所述第一支體部分和所迷第二支體部分的一側(cè)邊分別和所述主體部分22的兩個(gè) 相對(duì)的側(cè)邊相連，且相連形成的夾角都大于0度，因?yàn)橹挥性趭A角大于O度的 情況下，蓋子的一端才能形成通氣的縫隙，當(dāng)然，優(yōu)選的夾角為90度，這樣可 保證在第一支體部分和第二支體部分大小不變的條件下，所產(chǎn)生的縫隙最大。 所述第一支體郜分包括第一支撐部分23和第一連接部分24,所述第一支撐部分 23的一邊和所述主體部分22的一側(cè)邊相連，另一邊和所述第一連接部分24相 連，所述第一支撐部分23為三角形，這樣可以保證蓋子的一端始終處于通風(fēng)的 狀態(tài)，所述第一連接部分24上有至少一個(gè)連接孔21，這是為了在連摔孔21中 插進(jìn)螺母，將蓋子和機(jī)器固定相連，優(yōu)選方式是在第一連接部分24的兩端和中 間分別設(shè)置一個(gè)連接孔21,這樣連接更加的穩(wěn)固；和第一支體部分一樣，所述 第二支體部分也包括第二支撐部分43和第二連接部分44,所述第二支撐部分 43的一邊和所述主體部分22的一側(cè)邊相連，另一邊和所述第二連接部分44相 連，所述第二支撐部分43為三角形，這樣可以保證蓋子的一端始終處于通風(fēng)的 狀態(tài)，而且，第一支撐部分23和第二支撐部分43體積是一樣大的，放置的位 置也相對(duì)應(yīng)，從而使得整個(gè)蓋子的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更強(qiáng)，另外，所述第二連接部分 44上有至少一個(gè)連接孔21,這是為了在連接孔21中插進(jìn)螺母，將蓋子和機(jī)器 固定相連，優(yōu)選方式是在第二連接部分44的兩端和中間分別設(shè)置一個(gè)連接孔21 ， 這樣連接更加的穩(wěn)固。所述的蓋子的主體部分22可以為正方形或者長(zhǎng)方形，尺 寸也是根據(jù)實(shí)際的需要來(lái)確定。
接著，請(qǐng)參考圖3，圖3為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋示意圖的左視圖，從左邊可以 看到第一支撐部分23和主體部分22相連的情況，由于第一支撐部分23和第二 支撐部分43體積是一樣大的，因此，從左邊的視角看去，第二支撐部分43完 全被第一支撐部分23所遮擋。最后，請(qǐng)參考圖4，圖4為本實(shí)用新型通風(fēng)蓋示意圖的主一見圖，也就是從本 實(shí)用新型通風(fēng)蓋的開口沿蓋子主體部分看去，圖中所畫的第一支體部分和第二 支體部分的一側(cè)邊分別和主體部分22的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)邊相連所稱的夾角都是90
度，以及第一連接部分24和第一支撐部分23的夾角與第二連接部分44和第二 支撐部分43的夾角，也都是90度。
采用本實(shí)用新型的通風(fēng)蓋的設(shè)計(jì)后，在風(fēng)扇單元提供的風(fēng)速不變的前提下， 測(cè)量圖2中蓋子主體部分的四個(gè)區(qū)域的風(fēng)速，得到的結(jié)果分別是A區(qū)的風(fēng)速為 0. 5-0. 52m/s,B區(qū)的風(fēng)速為0. 29-0. 46m/s， C區(qū)的風(fēng)速為0. 21-0. 24m/s， D區(qū)的 風(fēng)速為0. 41-0. 44m/s，最大風(fēng)速都明顯的超過了現(xiàn)有技術(shù)中各區(qū)域的最大風(fēng)速 (可參考背景技術(shù))，尤其是A區(qū)，更加接近排風(fēng)口的風(fēng)速，提高的百分比最大， 從而使得風(fēng)扇單元的工作效率大大的提高，而且，顆粒小雜質(zhì)不再隨意的飛揚(yáng) 進(jìn)工作區(qū)域，產(chǎn)品被污染的情況也得到了很大的緩解，提高了產(chǎn)品生產(chǎn)的合格 率。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。 本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范 圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求 書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種通風(fēng)蓋，其特征在于包括主體部分；第一支體部分和第二支體部分，所述第一支體部分和所述第二支體部分的一側(cè)邊分別和所述主體部分的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)邊相連，且相連形成的夾角都大于0度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述夾角為90度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第一支體部分包括第一支撐部分和第一連接部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第一支撐部分的一邊 和所述主體部分的一側(cè)邊相連，另 一邊和所述第一連接部分相連。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第一支撐部分為三 角形。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第一連接部分上有 至少一個(gè)連接孔。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第二支體部分包括 第二支撐部分和第二連接部分。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種通風(fēng)蓋，其特征在于所述第二支撐部分的一 邊和所述主體部分的一側(cè)邊相連，另 一邊和所述第二連接部分相連。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種通風(fēng)蓋 角形。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種通風(fēng)蓋 至少一個(gè)連接孔。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種通風(fēng)蓋 或長(zhǎng)方形。，其特征在于所述第二支撐部分為三 ，其特征在于所述第二連接部分上有 ,其特征在于所述主體部分為正方形
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種通風(fēng)蓋，包括主體部分，第一支體部分和第二支體部分，所述第一支體部分和所述第二支體部分的一側(cè)邊分別和所述主體部分的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)邊相連，且相連形成的夾角都大于0度，本實(shí)用新型提供了一個(gè)通氣的環(huán)境，避免了原先因回流而使得風(fēng)扇單元的風(fēng)速變慢，而且避免了產(chǎn)品因回流引起雜質(zhì)小顆粒飛揚(yáng)而被污染的情況，保證了產(chǎn)品的合格率。
文檔編號(hào)B08B15/04GK201363845SQ20082015835
公開日2009年12月16日 申請(qǐng)日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者木建秀, 潘卿峰 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司