一種氧化銦錫薄膜的處理工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，其特征在于，所述工藝方法如下：將氧化銦錫薄膜放入盛有異丙醇的燒杯中浸泡15分鐘；浸泡完后，放入超聲機(jī)中超聲5分鐘；取出氧化銦錫薄膜，將其放入20%濃度的磷酸溶液中浸泡15分鐘；取出氧化銦錫薄膜，用去離子水沖洗。本發(fā)明方法能夠使氧化銦錫薄膜的表面電阻基本保持不變，但表面更加平整，透光率不變，更加適宜用作OLEDs的基底；經(jīng)過(guò)濃度為20%磷酸處理后的器件，其發(fā)光效率更高。
【專利說(shuō)明】一種氧化銦錫薄膜的處理工藝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在氧化銦錫薄膜的生產(chǎn)過(guò)程中，不可避免的會(huì)在氧化銦錫薄膜的表面產(chǎn)生有機(jī)污染物，這些有機(jī)污染物很難處理，因此會(huì)影響著氧化銦錫薄膜的表面空穴及表面功函數(shù)，影響著氧化銦錫薄膜的質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種氧化銦錫薄膜的處理工藝。
[0004]本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，其特征在于，所述工藝方法如下:
[0005](I)將氧化銦錫薄膜放入盛有異丙醇的燒杯中浸泡15分鐘；
[0006](2)浸泡完后，放入超聲機(jī)中超聲5分鐘；
[0007](3)取出氧化銦錫薄膜，將其放入20%濃度的磷酸溶液中浸泡15分鐘；
[0008](4)取出氧化銦錫薄膜，用去離子水沖洗。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明方法能夠使氧化銦錫薄膜的表面電阻基本保持不變，但表面更加平整，透光率不變，更加適宜用作OLEDs的基底；經(jīng)過(guò)濃度為20%磷酸處理后的器件，其發(fā)光效率更高。
【具體實(shí)施方式】
[0010]以下對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0011]一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，其特征在于，所述工藝方法如下:
[0012](I)將氧化銦錫薄膜放入盛有異丙醇的燒杯中浸泡15分鐘；
[0013](2)浸泡完后，放入超聲機(jī)中超聲5分鐘；
[0014](3)取出氧化銦錫薄膜，將其放入20%濃度的磷酸溶液中浸泡15分鐘；
[0015](4)取出氧化銦錫薄膜，用去離子水沖洗。
[0016]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種氧化銦錫薄膜的處理工藝，其特征在于，所述工藝方法如下:(1)將氧化銦錫薄膜放入盛有異丙醇的燒杯中浸泡15分鐘；(2)浸泡完后，放入超聲機(jī)中超聲5分鐘；(3)取出氧化銦錫薄膜，將其放入20%濃度的磷酸溶液中浸泡15分鐘；(4)取出氧化銦錫薄膜，用去離子水沖洗。
【文檔編號(hào)】B08B3/08GK103801532SQ201210461967
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月15日
【發(fā)明者】張恒 申請(qǐng)人:張恒