專(zhuān)利名稱(chēng)：蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種電極，特別是涉及一種蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極。
技術(shù)背景[0002]在電漿蝕刻制程中，上電極位于被蝕刻的玻璃基板上方，必須要有高電漿電阻，為 達(dá)到此目的，現(xiàn)有上電極的制造方式，是對(duì)上電極表面及上電極用于通入蝕刻氣體的氣孔 內(nèi)緣進(jìn)行陽(yáng)極處理，使其產(chǎn)生薄薄的一層陽(yáng)極膜，例如中國(guó)臺(tái)灣申請(qǐng)?zhí)柕?8107375號(hào)專(zhuān)利 案。但是因?yàn)殡姖{蝕刻制程中會(huì)使用氟(F)、氯(Cl)等活性腐蝕氣體，當(dāng)陽(yáng)極膜遭受到上述 腐蝕氣體腐蝕后，會(huì)導(dǎo)致上電極失效，所以須先把腐蝕后的陽(yáng)極膜除去，重新長(zhǎng)出陽(yáng)極膜。[0003]陽(yáng)極膜再生時(shí)，先借腐蝕液以化學(xué)蝕刻方式將舊陽(yáng)極膜除去，然后再重新生成陽(yáng) 極膜，但是此再生方式除了會(huì)導(dǎo)致上電極變薄外，還會(huì)使上電極用于通入蝕刻用氣體的氣 孔產(chǎn)生擴(kuò)孔現(xiàn)象，易造成蝕刻用氣體流量變化，而影響蝕刻制程品質(zhì)，所以對(duì)于氣孔的耐腐 蝕設(shè)計(jì)，確實(shí)有改良的必要。發(fā)明內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置且方便維修使用的 上電極。[0005]本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，包含一個(gè)電極板，及多個(gè)嵌裝固定 于該電極板中的陶瓷管。該電極板包括一個(gè)電極本體，該電極本體底面穿設(shè)有多個(gè)氣孔，陶 瓷管與氣孔連通地分別同軸塞裝固定于氣孔中。[0006]較佳地，前述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，所述陶瓷管分別塞裝固定于氣 孔的下半部中。[0007]較佳地，前述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，所述陶瓷管完全遮蔽氣孔內(nèi)周 緣地分別塞裝固定于氣孔中。[0008]較佳地，前述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，該電極板還包含一個(gè)被覆于電 極本體底面的表面處理層。[0009]本實(shí)用新型的有益效果在于通過(guò)在該電極本體的氣孔中分別塞裝陶瓷管的結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)，可利用陶瓷管具有良好耐腐蝕性，不易被腐蝕產(chǎn)生擴(kuò)孔的特點(diǎn)，使腐蝕性氣體的進(jìn)氣 量可長(zhǎng)時(shí)間維持在預(yù)定范圍內(nèi)，進(jìn)而可將蝕刻品質(zhì)長(zhǎng)期維持在一定水準(zhǔn)以上，并減少上電 極維修頻率。


[0010]圖1是本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極的一實(shí)施例的立體圖；[0011]圖2是該實(shí)施例安裝于一個(gè)反應(yīng)槽體時(shí)的側(cè)視剖視圖；[0012]圖3是類(lèi)似圖2的視圖，說(shuō)明該實(shí)施例的另一種實(shí)施態(tài)樣。
具體實(shí)施方式
[0013]
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。[0014]如圖1、2所示，本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極3的一實(shí)施例，適用于 安裝蓋設(shè)在一個(gè)反應(yīng)槽體901上，而位于一個(gè)下電極902正上方，并用于連通安裝在一個(gè)供 應(yīng)腐蝕性氣體的氣體輸入設(shè)備800，可將蝕刻玻璃(圖未示)的腐蝕性氣體導(dǎo)入反應(yīng)槽體 901內(nèi)，該腐蝕性氣體為氟(F)、氯(Cl)…等氣體。[0015]該上電極3包含一個(gè)多孔狀的電極板31，及多個(gè)嵌穿安裝固定于該電極板31中的 中空管狀的陶瓷管32。該電極板31具有一個(gè)平板狀的電極本體311，及一個(gè)被覆固定于該 電極本體311底面的表面處理層313，電極本體311底面穿設(shè)有多個(gè)往上延伸貫穿的氣孔 312。[0016]該表面處理層313由具有耐腐蝕特性的金屬氧化物制成，例如陽(yáng)極膜，或者是陶 瓷粉粒熔射構(gòu)成的氧化鋁材質(zhì)的陶瓷熔射層。由于表面處理層313為一般構(gòu)件，且類(lèi)型眾 多，不再詳述，且實(shí)施時(shí)不以上述種類(lèi)為限。[0017]陶瓷管32與氣孔312連通地分別同軸塞裝固定于氣孔312中，并分別沿氣孔312 長(zhǎng)度方向延伸，而完全遮蔽氣孔312內(nèi)周緣。[0018]當(dāng)將本實(shí)用新型上電極3安裝蓋設(shè)于反應(yīng)槽體901，并用于導(dǎo)入蝕刻用的腐蝕性 氣體時(shí)，將腐蝕性氣體經(jīng)陶瓷管32而導(dǎo)引入反應(yīng)槽體901內(nèi)部，進(jìn)行玻璃蝕刻制程。此時(shí)， 由于陶瓷管32具有很好的耐腐蝕性，不易被通過(guò)的腐蝕性氣體腐蝕，所以除了可利用陶瓷 管32遮蔽保護(hù)氣孔312內(nèi)周緣，而有效避免氣孔312孔緣被腐蝕產(chǎn)生擴(kuò)孔現(xiàn)象，進(jìn)而延長(zhǎng) 電極本體311的使用壽命外，也可借陶瓷管32 口徑可長(zhǎng)時(shí)間維持在適當(dāng)大小范圍內(nèi)的特 點(diǎn)，使注入反應(yīng)槽體901中的腐蝕性氣體的注入量，可長(zhǎng)時(shí)間維持在預(yù)定范圍內(nèi)，可改善一 般上電極因氣孔擴(kuò)孔，造成腐蝕性氣體注入量改變，進(jìn)而造成蝕刻制程變化的現(xiàn)象。[0019]當(dāng)陶瓷管32使用一段時(shí)間后，被逐漸腐蝕至口徑過(guò)大或出現(xiàn)受損跡象時(shí)，便可進(jìn) 行陶瓷管32的拆換，由于氣孔312內(nèi)周緣一直受到陶瓷管32的遮蔽保護(hù)，所以不會(huì)有腐蝕 擴(kuò)孔現(xiàn)象，所以可直接將受損的陶瓷管32拆離氣孔312后，再重新于氣孔312中塞裝固定 相同管徑的陶瓷管32，且可只拆換受損的陶瓷管32，不需將整個(gè)電極本體311與所有陶瓷 管32 —起換掉，該電極本體311可一再重復(fù)使用，相當(dāng)方便且環(huán)保。再加上該陶瓷材質(zhì)的 陶瓷管32的耐腐蝕性會(huì)明顯優(yōu)于一般陽(yáng)極膜，所以可相對(duì)延長(zhǎng)該上電極3的使用壽命，而 相對(duì)減少上電極3的維修拆換頻率。[0020]當(dāng)該表面處理層313也被蝕刻用腐蝕性氣體侵蝕至一定程度后，可將該表面處理 層313剝除，再重新被覆上一層新的表面處理層313，或者是直接對(duì)受損的表面處理層313 進(jìn)行修補(bǔ)，使該表面處理層313恢復(fù)原有耐腐蝕功能。但是實(shí)施時(shí)，該表面處理層313并非必要。[0021]在本實(shí)施例中，陶瓷管32長(zhǎng)度設(shè)計(jì)為可完全遮蔽氣孔312的內(nèi)周緣，但是實(shí)施時(shí)， 陶瓷管32不以完全遮蔽氣孔312內(nèi)周緣為必要，也可采用如圖3所示的長(zhǎng)度設(shè)計(jì)，也就是， 陶瓷管32的長(zhǎng)度短于氣孔312的延伸長(zhǎng)度，且陶瓷管32分別安裝固定于氣孔312鄰近該 反應(yīng)槽體901的下半部中，而只遮蔽氣孔312下半部?jī)?nèi)周緣。通過(guò)此設(shè)計(jì)，同樣可利用陶瓷 管32的耐腐蝕性，使陶瓷管32 口徑長(zhǎng)時(shí)間維持在適當(dāng)范圍內(nèi)，相對(duì)使得腐蝕性氣體的注入 量可長(zhǎng)時(shí)間維持在預(yù)定范圍內(nèi)，就算氣孔312未被陶瓷管32遮蔽的上半部有被腐蝕產(chǎn)生擴(kuò)孔現(xiàn)象，也不會(huì)影響到經(jīng)陶瓷管32注入的腐蝕性氣體的量。[0022] 綜上所述，通過(guò)在該電極本體311的氣孔312中分別塞裝固定陶瓷管32的結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)，可利用陶瓷管32具有良好耐腐蝕性，不易被腐蝕產(chǎn)生擴(kuò)孔的特點(diǎn)，有效遮蔽保護(hù)電極 本體311的氣孔312內(nèi)周緣，并使腐蝕性氣體的進(jìn)氣量維持在預(yù)定范圍內(nèi)，進(jìn)而可將蝕刻品 質(zhì)長(zhǎng)期維持在一定水準(zhǔn)以上，并可相對(duì)延長(zhǎng)上電極3的使用壽命，減少維修拆換頻率。而陶 瓷管32的拆換，也相當(dāng)簡(jiǎn)單，完全不需使用到任何化學(xué)蝕刻手段，所以不會(huì)對(duì)電極本體311 的結(jié)構(gòu)產(chǎn)生影響，該電極本體311可一再重復(fù)使用，相對(duì)較為環(huán)保，并可降低設(shè)備成本，相 當(dāng)方便實(shí)用。
權(quán)利要求1.一種蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，包含一個(gè)電極板，該電極板包括一個(gè)底面穿 設(shè)有多個(gè)氣孔的電極本體，其特征在于該上電極還包含多個(gè)與氣孔連通地分別同軸塞裝 固定于氣孔中的陶瓷管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，其特征在于陶瓷管塞裝 固定于氣孔的下半部中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，其特征在于陶瓷管完全 遮蔽氣孔內(nèi)周緣地塞裝固定于氣孔中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，其特征在于該電 極板還包括一個(gè)被覆于電極本體底面的表面處理層。
專(zhuān)利摘要一種蝕刻設(shè)備的反應(yīng)槽裝置的上電極，包含一個(gè)電極板，及多個(gè)嵌裝固定于電極板中的陶瓷管。該電極板包括一個(gè)電極本體，該電極本體底面穿設(shè)有多個(gè)氣孔，陶瓷管與氣孔連通地分別同軸塞裝固定于氣孔中。通過(guò)在該電極本體的氣孔中分別塞裝陶瓷管的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可利用陶瓷管具有良好耐腐蝕性，不易被腐蝕產(chǎn)生擴(kuò)孔的特點(diǎn)，使腐蝕性氣體的進(jìn)氣量維持在預(yù)定范圍內(nèi)，進(jìn)而可將蝕刻品質(zhì)長(zhǎng)期維持在一定水準(zhǔn)以上，并減少上電極維修頻率。
文檔編號(hào)C03C15/00GK201817398SQ20102056963
公開(kāi)日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者周峙丞, 張國(guó)欽 申請(qǐng)人:漢泰科技股份有限公司